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Betrieb
Druckbereich von 10
p [hPa]
10
–1
8
6
4
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
8
6
4
2
10
–4
8
6
4
2
10
–5
8
6
4
2
10
–6
10
Abb. 9:
Kalibrierfaktoren
Im Druckbereich < 10
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
Wasserstoff (H
Helium (He)
Neon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xenon (Xe)
Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte.
Tab. 7:
Kalibrierfaktor in ein Totaldruck-Mess- und Steuergerät eingeben
► Geben Sie den Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwertes ein.
26/52
-6
bis 0,1 hPa
–6
10
–5
4 6
8
4 6 8
2
2
Druckbereich von 10
-5
hPa ist die Anzeige linear.
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
)
2
Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10
Ar
Air
N
2
O
2
CO
He
10
–4
10
–3
4 6
8
2
2
-6
bis 0,1 hPa
-5
10
–2
10
–1
4 6
8
4 6
8
2
p
[hPa]
eff
Kalibrierfaktor (C)
)
1,0
2
2,4
5,9
4,1
0,8
0,5
0,4
hPa
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