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Betrieb
Gasart
Neon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xenon (Xe)
Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte.
Tab. 7:
6.4 Zündverzögerung
Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung. Diese Zündverzögerung
nimmt mit tieferen Drücken zu und dauert bei sauberen, entgasten Geräten typischerweise:
● 10
● 10
● 5 × 10
Die Zündung ist ein statistischer Prozess, den bereits geringe Ablagerungen auf den inneren Oberflä-
chen stark beeinflussen. Solange der Kaltkathoden-Messkreis nicht gezündet hat, gibt der Signalaus-
gang den reinen Pirani-Messwert wieder (Anzeige "Pirani-Underrange" bei Drücken p < 5 × 10
Der Identifikationsausgang signalisiert reinen Pirani-Betrieb.
6.5 Verschmutzung
Die Verschmutzung des Transmitters ist abhängig
● vom Druck im Rezipienten
● von der Art der Prozessmedien
● von eventuell vorhandenen oder neu entstehenden Verunreinigungen und ihrem Partialdruck
● von der Betriebsdauer
Dauernder Betrieb im Bereich zwischen 10
kurzen Standzeiten und Wartungsintervallen führen. Bei dauernd tiefen Drücken (p < 1 × 10
Standzeiten > 1 Jahr bis zur Reinigung erreichbar.
Eine Verschmutzung des Transmitters führt im Allgemeinen zu Abweichungen der Messwerte:
● Im Bereich der hohen Drücke (1 × 10
● Im Bereich der tiefen Drücke (< 1 × 10
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Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10
-5
hPa ca. 1 Sekunde
-7
hPa ca. 20 Sekunden
-9
hPa ca. 2 Minuten
Einschalten bei einem Druck p < 3 × 10
Falls Sie den Transmitter bei einem Druck p < 3 × 10
ter nicht erkennen, ob das Kaltkathodensystem gezündet hat. Der Transmitter zeigt "Pirani-
Underrange" an.
Transmitter in Betrieb halten
Wenn Sie den angeflanschten Transmitter unabhängig vom Druckbereich dauernd in Be-
trieb halten, ist dadurch die Zündverzögerungszeit des Kaltkathoden-Messkreises immer
vernachlässigbar (< 1 s), und thermische Stabilisierungseffekte sind minimiert.
Gewährleistung
Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind,
sowie Verschleißteile (z. B. Zündhilfe), fallen nicht unter die Gewährleistung.
(z. B. Dämpfe, Prozesspartikel, etc.)
(Verschmutzung des Pirani-Elements). Neuabgleich des Pirani-Messsystems ist erforderlich.
zeige (Verschmutzung des Kaltkathodensystems). Bei starker Verschmutzung treten auch Instabi-
litäten auf (Ablösen von Schichten in der Messkammer). Dies kann zu einem Kurzschluss führen.
Bei Verschmutzung durch isolierende Schichten ist sogar ein völliges Verlöschen der Gasentla-
dung möglich (Anzeige: "Underrange").
-5
hPa
-9
hPa
-9
hPa einschalten, kann der Transmit-
-4
hPa und 10
-2
hPa kann zu starker Verschmutzung und zu
-3
hPa bis 0,1 hPa) ergibt sich eine zu hohe Druckanzeige
-3
hPa) ergibt sich im Allgemeinen eine zu tiefe Druckan-
Kalibrierfaktor (C)
4,1
0,8
0,5
0,4
-4
hPa).
-6
hPa) sind
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