Wide-Range-Messröhre (Wrg); Fehler-/Diagnoseüberwachung Bei Aigx-Messröhren; Setup-Optionen Für Eine Wrg-Messröhre - Edwards Tic Instrument Controller D397-01 Betriebsanleitung

D397-01-882 Issue E
AIGX-Messröhren verfügen über eine eingebaute Fehlerüberwachungsfunktion. (Siehe
Tabelle 22 - Fehler-/Diagnoseüberwachung bei AIGX-Messröhren
Diagnosemeldungen
Over Range
Over Pressure
Emission Error
Under Range
Initialising
4.8.9 Wide-Range-Messröhre (WRG)
Hinweis: Eine ausführliche Spezifikation und Anweisungen zum Einsatz von Messröhren der Baureihe WRG sind der
Anleitung (D147-01-885) zu entnehmen.
Eine WRG ist eine kombinierte Pirani- und Penning-Messröhre in einer einzigen kompakten Einheit. Die WRG-
Messröhre misst Drücke von Atmosphärendruck bis 1 x 10
verfügt über einen logarithmischen/linearen Ausgang im Bereich von 2 - 10 V Gleichstrom. Der Pirani-Teil der
Messröhre misst von Atmosphärendruck bis 1 x 10
-9 -3
1 x 10 mbar (7,5 x 10 bis 7,5 x 10
-2
Drücken zwischen 1 x 10
Eine WRG-Messröhre hat zusätzlich zu den gezeigten noch weitere Menüoptionen. (Siehe „Optionen des Standard-
Setups (alle Messgeräte)"
Menüoption
Calibrate
Seite 32
Beschreibung
(Messröhren-Ausgang >9,800 V)
Zeigt an, dass an der Messröhre ein Defekt vorliegt und dass das
Elektronikmodul ersetzt werden sollte.
(Messröhren-Ausgang = 9,700 V)
Zeigt an, dass sich die Messröhre automatisch abgeschaltet hat, weil der Druck
-2
über 6,6 x 10 mbar (5 x 10
Verringern Sie den Druck und aktivieren Sie die Messröhre wieder.
(Messröhren-Ausgang = 9,500 V)
Zeigt an, dass entweder der Heizfaden gebrochen ist (Umschaltung) oder dass
die Messröhre bei einem zu hohen Druck aktiviert wurde – Druck verringern und
erneut aktivieren.
Die Stromversorgung liegt außerhalb der Spezifikation – überprüfen Sie die
Kabel (Länge und Querschnitt).
(Messröhren-Ausgang <0,025 V)
Zeigt an, dass entweder die interne Sicherung der Messröhre durchgebrannt ist
oder dass ein Defekt an der Messröhre vorliegt. Die Sicherung sollte wie in der
AIGX-Anleitung beschrieben ausgetauscht werden; wenn der Fehler weiter
besteht, sollte das Elektronikmodul ausgetauscht werden.
Zeigt an, dass die Messröhre einen Emissionsstrom aufbaut. Dies dauert etwa 5
Sekunden.
-3
mbar (7,5 x 10
-10
Torr) misst. Der Ausgang von beiden Sensoren wird zur Bestimmung von
-3
und 1 x 10 mbar (7,5 x 10
Abschnitt 4.8.1.) (Siehe Tabelle 23
Tabelle 23 - Setup-Optionen für eine WRG-Messröhre
Beschreibung
Ermöglicht dem Anwender die Durchführung von Atmosphärendruck- und
Vakuumeinstellung auf der WRG-Messröhre.
Schließen Sie die WRG-Messröhre an den Controller an, und betreiben Sie sie
mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck.
Gehen Sie mit „Scroll" zu „Calibrate" und drücken Sie anschließend „Select".
„Command Sent" erscheint 1 Sekunde lang, um die Ausführung der Anweisung zu
bestätigen.
Die WRG führt jedes Mal, wenn sie unter 1 x 10
automatisch die Vakuumeinstellung für die Pirani-Messröhre durch.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
-2
Torr) angestiegen ist.
-9 -10
mbar (7,5 x 10 Torr). Die WRG ist gasabhängig und
-3
Torr), während der Penning-Teil von 1 x 10
-3 -4
und 7,5 x 10 Torr) verwendet.
und Abbildung 22).
-4
mbar (7,5 x 10
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Tabelle 22).
-2
-5
Torr) gepumpt wird,
bis