Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz
Általános információ 173
Felhasznált jelképek
Tárolás
176
Előkészítés telepítésre 177
Telepítés
178
Használat
181
A TPS-mini bekapcsolása és használata 182
A TPS-mini kikapcsolása
Vészleállítás 183
Karbantartás
184
Tisztítás
184
Megsemmisítés 185
Az eredeti utasítás fordítása
TPS-mini User Manual
175
183
172
171/318