Agilent Technologies TPS-mini 9699180 Bedienungshandbuch Seite 155

Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 156
Yleisiä tietoja 157
Käytetyt symbolit 159
Varastointi 160
Valmistelut asennusta varten
Asennus 162
Käyttö 165
TPS-mini :n käynnistys ja käyttö 166
TPS-mini: n pysäyttäminen 167
Hätäpysäytys 167
Huolto 168
Puhdistus 168
Hävittäminen 169
Alkuperäisen ohjeiden käännös
TPS-mini User Manual
161
155/318