Instruksjon Manual
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 140
Generell informasjon 141
Symboler i bruk
Lagring
144
Klargjøre til installasjon
Installasjon
146
Bruk 149
Starte og bruke TPS-mini
Stoppe TPS-mini
Nødstopp
151
Vedlikehold
152
Rengjøring
152
Eliminering
153
Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen
TPS-mini User Manual
143
145
150
151
139/318