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FISCHER MMS Inspection DFT Betriebsanleitung Seite 105

Messgeräte zur schichtdickenmessung
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und Präzision zu betrachten und in nachfolgender Darstellung schematisch
dargestellt.
Richtigkeit (Trueness)
Übereinstimmung zwischen wahrem
Wert und dem Mittelwert der Messergeb-
nisse, die unter praktischen Gegeben-
heiten unablässig gewonnen werden
Schematische Darstellung der Begriffe Genauigkeit, Richtigkeit und Präzision
Histogramm
Grafische Darstellung, die die Anzahl aller Messwerte in bestimmten Messgrö-
ßenbereiche (Klassen) darstellt. Die Klassenbreiten (Breite der Rechtecke) sind
immer gleich und werden für den eingestellten Grenzwertbereich (Toleranz-
breite) automatisch berechnet. Die Aussagefähigkeit statistischer Ergebnisse
hängt unter anderem von der Kurvenform im Histogramm ab. Eine Abweichung
von der Normalverteilung weist eventuell auf systematische Einflüsse bei der
Messung hin. Die Darstellung bezieht sich auf den gesamten Batch.
Kalibrierfolie
siehe unter Kalibrierstandard
Kalibrierstandard
Unbeschichtetes Referenzteil dessen Werkstoff die gleiche Beschaffen-
heit des Prüfteilgrundwerkstoffs aufweist. Notwendig für den Abgleich
auf den Grundwerkstoff (Zero = Nullpunkt).
Folie mit einer bestimmten Dicke, gekennzeichnet durch den Nennwert,
die beim Kalibriervorgang eine Schichtdicke simuliert. Pro Kalibrierfo-
liendicke erfolgt ein Abgleich auf den entsprechenden Schichtdickenwert.
Kalibrierstandard, beschichtetes Referenzteil dessen Grund- und
Schichtwerkstoffe die gleichen Beschaffenheiten des beschichteten Prüf-
teils aufweisen und dessen Schichtdicke mit einem möglichst genauen
Messverfahren bestimmt wurde (Nennwert des Kalibrierstandards).
®
MMS
Inspection DFT Start
Genauigkeit (Accuracy)
Übereinstimmung zwischen den ein-
zelnen Messergebnissen bei genau
festgelegten Versuchsbedingungen
Wiederholpräzision
(Repeatability)
Präzision (Precision)
Vergleichspräzision
(Reproducibility)
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