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Prüfteil
Beschichtetes Teil/Fläche beliebiger Form und Größe, dessen Schicht-
dicke gemessen werden soll
Große Fläche mit mehreren Messstellen
Referenzteil
siehe unter Kalibrierstandard
Richtigkeit
Die Richtigkeit eines Messergebnisses bestimmt man durch Vergleich des Mit-
telwertes x einer Messreihe an einem Referenzteil (einer Vergleichsprobe) mit
dem als richtig anerkannten Nennwert des Referenzteils. Die Richtigkeit wird
repräsentiert durch die Differenz zwischen dem Mittelwert und dem Nennwert
(x – Nennwert). Richtig ist das Messergebnis, wenn die Differenz x – Nennwert
nahe Null beträgt.
Eine große Differenz kann in einer schlechten Kalibrierung begründet sein (feh-
lerhafte Eingabe des Nennwertes, falsche Beschriftung der Kalibrierfolie, fal-
sches Aufsetzen der Sonde auf die Oberfläche). Solche systematischen Abwei-
chungen führen dazu, dass verschiedene Anwender, z.B. Lieferant und Abneh-
mer, unterschiedliche Ergebnisse an den gleichen Messobjekten ermitteln.
Beachten Sie bitte, dass wir ausdrücklich von der Richtigkeit als einer Eigen-
schaft der Messwerte sprechen. Viele glauben aber, dass die Richtigkeit eine Ei-
genschaft des Gerätes sei! Laienhaft ausgedrückt wird das in der Frage nach
der "Genauigkeit des Gerätes". Richtigkeit ist aber sehr abhängig von der Ein-
stellung (z.B. der Kalibrierung) und Überwachung des Gerätes. Diese hängen je-
doch von der Kompetenz und Zuverlässigkeit des Anwenders ab. Weil das so
ist, kann der Hersteller eines Gerätes auch keine Garantie für die Richtigkeit der
mit diesem Gerät gemessen Werte abgeben oder gar einen Aufkleber für die
Richtigkeit der Messwerte am Gerät anbringen. Jedes Messergebnis ist so rich-
tig oder falsch, wie es der Anwender zulässt. Richtigkeit kann deshalb auch
kein Kriterium für die Qualität eines Gerätes sein, höchstens ein Hinweis auf
seine Stabilität (Richtigkeit während längerfristigen Betriebs des Gerätes ohne
zwischenzeitlich notwendige Korrekturmaßnahmen).
Variationskoeffizient V [%]
Prozentuale Streuung einer Messreihe, d. h. Standardabweichung bezogen auf
den Mittelwert. V [%] ist eine charakteristische Prozesskonstante. Eine plötzli-
che Änderung von V [%] weist auf eine Änderung der Prozessbedingungen hin.
Vergleichsbedingungen
siehe unter Vergleichspräzision
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MMS
Inspection DFT Start
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