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FISCHER MMS Inspection DFT Betriebsanleitung Seite 107

Messgeräte zur schichtdickenmessung
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Messunsicherheit
Angabe auf dem Kalibrierstandard. Der vermutlich "wahre" Wert (μ) der Mess-
größe liegt mit einer bestimmten Wahrscheinlichkeit (k=2: 95 %) in einem Inter-
vall um den gemessenen Mittelwert (Nennwert) einer Messreihe. Die Grenzen
dieses Intervalls haben den Abstand der Messunsicherheit U vom Mittelwert
(Nennwert): Nennwert - U ≤ μ ≤ Nennwert + U.
Messwert
Vom Messgerät gemessener oder ermittelter Anzeigenwert.
Zu jedem Messwert und Blockabschluss wird automatisch das Datum und die
Uhrzeit gespeichert.
Nennwert
Wert einer Messgröße zur Bezeichnung oder Identifizierung eines
Kalibrierstandard, z. B. die Dickenangabe einer Kalibrierfolie.
Der Nennwert wird mit einem geeigneten Messverfahren, präzisen Messgerä-
ten (die mit rückführbaren Kalibrierstandards kalibriert wurden) und bei defi-
nierten Umgebungsbedingungen bestimmt. Der Nennwert entspricht dem Mit-
telwert einer Messreihe und wird immer mit einer Messunsicherheit angegeben.
Offset
Der Messwert wird um den definierten Offset-Wert korrigiert. Angezeigt wird
der tatsächlich gemessene Wert abzüglich des Offset-Wertes.
Anwendungsbeispiel: Schichtdickenmessung auf einem 2-Schichtsystem mit
bekannter Zwischenschichtdicke, die als "Offsetwert" eingegeben wird. Ange-
zeigt wird dann nur die Dicke der Deckschicht.
Präzision
Präzision ist im Gegensatz zur Richtigkeit eine Geräteeigenschaft. Sie lässt sich
sehr leicht charakterisieren, z.B. durch wiederholte Messungen auf einem Prüf-
teil (dessen richtiger Messgrößenwert nicht einmal bekannt sein muss) an ein
und derselben Stelle unter Wiederholbedingungen. Der Mittelwert ergibt den
gesuchten Messwert, die Standardabweichung der Messreihe ist ein Maß für die
Präzision des Gerätes. Wenn das Messsystem (Messgerät und Sonde) dann
noch richtig kalibriert ist, ist der Mittelwert der Messreihe auch richtig
(Richtigkeit) und stimmt mit dem wahren Wert innerhalb der Messunsicherheit
überein.
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MMS
Inspection DFT Start

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