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Druckbereich > 10
-4
hPa (reiner Pirani-Betrieb)
1E3
p [hPa]
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-4
1E-4
Abb. 9:
Messkurve bei reinem Pirani-Betrieb und bei Verwendung der Korrekturfaktoren
Gasart
Stickstoff (N
)
2
Luft
Wasserstoff (H
)
2
Helium (He)
Argon (Ar)
Kohlenstoffdioxid (CO
)
2
Tetrafluormethan (CF
, R14)
4
Tab. 12:
Korrekturfaktoren für den reinen Pirani-Betrieb
Druckbereich < 10
-3
-3
Im Druckbereich < 10
hPa ist die Anzeige linear.
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
Gasart
Helium (He)
Wasserstoff (H
)
2
Argon (Ar)
Kohlenstoffdioxid (CO
)
2
Propan (C
H
)
3
8
Neon (Ne)
1E-3
1E-2
1E-1
1E0
1E1
1E2
p
eff
Korrekturfaktor (C)
1,0
1,0
0,58
1,02
1,59
0,89
0,95
Korrekturfaktor (C)
5,93
2,39
0,80
0,74
0,32
3,50
Betrieb
H2
He
N2
Ar
Kr
1E3
[hPa]
29/54
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