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Wartung
Abb. 11:
HV-Abgleich durchführen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Evakuieren Sie das Vakuumsystem auf p < 10
3. Warten Sie mindestens 2 Minuten.
4. Drücken Sie den Taster "ADJ" kurz mit einem Taststift.
5. Wiederholen Sie den Abgleich, wenn der Transmitter am Messsignalausgang nicht den Druck
ATM-Abgleich durchführen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Betreiben Sie den Transmitter mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck.
3. Drücken Sie den Taster "ADJ" kurz mit einem Taststift.
4. Wiederholen Sie den Abgleich, wenn der Transmitter am Messsignalausgang nicht den Druck
8.2 Transmitter zerlegen
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Benötigte Werkzeuge
● Innensechskantschlüssel, SW 2
● Zange für Sicherungsring
● Pinzette
32/52
ATM
HV
Transmitter abgleichen
– Der Pirani-Sensor gleicht auf 1 × 10
-5
< 1 × 10
hPa ausgibt.
– Der Abgleich war in diesem Fall nicht erfolgreich.
– Der Pirani-Sensor gleicht auf 1000 hPa (Standard) ab. Der Abgeich dauert ca. 5 Sekunden.
1000 hPa ausgibt.
– Der Abgleich war in diesem Fall nicht erfolgreich.
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
-5
hPa.
-5
hPa (Standard) ab. Der Abgeich dauert ca. 5 Sekunden.
HINWEIS
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