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p [hPa]
4
2
10
–3
8
6
4
2
10
–4
8
6
4
2
10
–5
8
6
4
2
10
–6
8
6
4
2
10
–7
10
–7
2
10
–6
2
4 6
Abb. 11:
Angezeigter Druck IKR
Kalibrierfaktoren
Im Druckbereich < 10
-5
hPa ist die Anzeige linear.
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
Wasserstoff (H
)
2
Helium (He)
Neon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xenon (Xe)
Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte.
Tab. 12:
Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10
Kalibrierfaktor in ein Totaldruck-Mess- und Steuergerät eingeben
► Geben Sie den Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwertes ein.
Xe Kr
10
–5
2
10
–4
2
4 6
4 6
Air
O
2
CO
Ar
N
H
Ne He
2
2
10
–3
2
10
–2
4
6
4 6
p
[hPa]
eff
Kalibrierfaktor (C)
)
1,0
2
2,4
5,9
4,1
0,8
0,5
0,4
-5
hPa PKR und IKR
Betrieb
29/60
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