Tab. 11: Kalibrierfaktoren Für Den Druckbereich; Abb. 9: Angezeigter Druck - Pfeiffer Vacuum RPT 200 Betriebsanleitung

p [hPa]
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-3 1E-2
Abb. 9:
Im Druckbereich < 1 hPa ist die Anzeige linear.
Gasart
Stickstoff (N
Luft
Wasserstoff (H
Helium (He)
Argon (Ar)
Kohlenstoffdioxid (CO
Tab. 11:
1E-1 1E0
Angezeigter Druck
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
)
2
)
2
)
2
Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 1 hPa
H 2
N 2
Ar
1E1 1E2
p [hPa]
eff
Kalibrierfaktor (C)
1,0
1,0
0,58
1,02
1,59
0,89
Betrieb
1E3
29/48