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Effektiven Druck Mit Kalibrierfaktoren Ermitteln; Abb. 6: Gasartabhängigkeit - Pfeiffer Vacuum PCR 280 Betriebsanleitung

Pirani/kapazitiv-transmitter
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Betrieb
Messsignal und Druck umrechnen
Gültigkeitsbereich: 5 × 10
► Beachten Sie die Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck.
► Rechnen Sie das Messsignal in den Druck um:
► Rechnen Sie den Druck in das Messsignal um:
6.2 Effektiven Druck mit Kalibrierfaktoren ermitteln
p [hPa]
4
2
10
3
8
6
4
2
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
8
6
4
2
–4
10
10
–4
Abb. 6:
A Pirani-Sensor
B Mischbereich
C Kapazitiver Membran-Sensor
22/44
-5
hPa < p < 1500 hPa
(U - c)
p = 10
U = c + log
p
10
10
–3
10
–2
2
4 6
2
4 6
2
4 6
Gasartabhängigkeit
A
B
1
2
3
10
–1
10
0
10
1
2
4 6
2
4 6
2
1
Luft, Sauerstoff (O
2
Helium (He)
3
Argon (Ar)
C
10
2
10
3
4 6
2
4 6
2
p
[hPa]
eff
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
)
2

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