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Betrieb
Bestellnummer lesen [P:388]
► Lesen Sie die Bestellnummer über Parameter [P:388].
8.1 Umschaltbereiche wählen
Der Transmitter bietet die Möglichkeit, den Umschaltbereich zwischen Pirani- und Kaltkathoden-Sensor
an die Anwendung anzupassen. Damit lässt sich verhindern, dass
● bei einer Druckregelung der Sollwert im Umschaltbereich liegt
● im Fall von Beschichtungsanwendungen, die Kaltkathode eingeschaltet ist und durch den Eigen-
trans_LO
Cold cathode
5 × 10
switch
Cold cathode
5 × 10
Abb. 8:
Vorgehen
► Wählen Sie den Umschaltbereich gemäß der Betriebsanleitung des Anzeige- und Steuergeräts.
► Setzen Sie Parameter [P:049] auf "0" (switch) für eine Direktumschaltung bei 1 × 10
► Setzen Sie Parameter [P:049] auf "1" (trans_LO) für einen kontinuierlichen Übergang zwischen
8.2 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln
Das Messsignal ist gasartabhängig.
28/54
sputtereffekt frühzeitig verschmutzt
-9
hPa
-9
hPa
Umschaltbereiche wählen
Pirani- und Kaltkathoden-Druckmessung.
Pirani
1000 hPa
Pirani
1000 hPa
-3
hPa.
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