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6 Betrieb
Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung an der Antriebselektronik ist der angeschlossene Sensor
betriebsbereit.
Der gemessene Druck im Pirani-Bereich ist gasartabhängig.
Empfehlungen
► Beachten Sie eine Stabilisierungszeit von mindestens 5 bis 10 Minuten.
► Beachten Sie die Beziehung zwischen Messsignal und Druck.
6.1 Messsignal auswerten
Voraussetzungen
Bediengerät
DCU
HPU 001
Tab. 5:
Firmware-Versionen überprüfen
► Fragen Sie die Firmware-Version der Antriebselektronik über Parameter [P:312] der Antriebs-
► Fragen Sie die Firmware-Version des Anzeige- und Bediengerätes über Parameter [P:351] des
6.2 Effektiven Druck mit Kalibrierfaktoren ermitteln
Das Messsignal des Drucksensors ist im Pirani-Bereich gasartabhängig. Der voreingestellte Korrektur-
faktor = 1 gilt für Stickstoff (N
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
Wasserstoff (H
Kohlenstoffdioxid (CO
Wasserdampf
Helium (He)
Neon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte.
2)
Signalauswertung über Ausgabeschnittstellen
Für den Betrieb der angeschlossenen Zubehörgeräte an einer Pfeiffer Vacuum Vakuum-
pumpe dienen die Ausgabeschnittstellen der Antriebselektronik mit dem zugrunde liegen-
den Pfeiffer Vacuum Protokoll und dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz.
Beachten Sie die gültige Betriebsanleitung der verwendeten Antriebselektronik.
RS-485 Parameter
Datentyp "u_expo_new"
Benötigte Firmware-Versionen
elektronik (TC) ab
Anzeige- und Bediengerätes (DCU oder HPU) ab
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
), Sauerstoff (O
2
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
)
2
)
2
bis Firmware-Version 010300 nur Lesezugriff
Firmware-Version (oder höher)
020300
2)
010300
), trockene Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO).
2
)
2
Betrieb
Kalibrierfaktor (C)
1,0
0,5
0,9
0,5
0,8
1,4
1,7
2,4
17/32
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