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Tab. 7: Umrechnungstabelle; Gültigkeitsbereich; Effektiven Druck Mit Korrekturfaktoren Ermitteln - Pfeiffer Vacuum IKR 251 Betriebsanleitung

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Betrieb
Messsignal (U)
[V]
< 0,5
0,5 – 1,8
1,8
2,5
3,5
4,5
5,5
6,5
7,5
8,5
8,5 – 10,5
Tab. 7:
Messsignal und Druck umrechnen
Gültigkeitsbereich
● 2 × 10
● 1,5 × 10
● 2 × 10
► Beachten Sie die Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck.
► Rechnen Sie das Messsignal in den Druck um:
► Rechnen Sie den Druck in das Messsignal um:
6.2 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln
Das Messsignal ist gasartabhängig. Die Kennlinien gelten für Stickstoff (N
Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO).
24/48
Druck (p)
[hPa]
Sensorfehler (sensor error)
Messbereichsunterschreitung (underrange)
2,0 × 10
1,0 × 10
1,0 × 10
1,0 × 10
1,0 × 10
1,0 × 10
1,0 × 10
1,0 × 10
Messbereichsüberschreitung (overrange)
Umrechnungstabelle
-9
hPa < p < 1 × 10
-2
-9
Torr < p < 7,5 × 10
-7
Pa < p < 1 Pa
p = 10
(U-c)
U = c + log
p
10
[Torr]
-9
1,5 × 10
-8
7,5 × 10
-7
7,5 × 10
-6
7,5 × 10
-5
7,5 × 10
-4
7,5 × 10
-3
7,5 × 10
-2
7,5 × 10
hPa
-3
Torr
[Pa]
-9
-7
2,0 × 10
-9
-6
1,0 × 10
-8
1,0 × 10
-5
-7
1,0 × 10
-4
-6
1,0 × 10
-3
-5
1,0 × 10
-2
-4
0,1
-3
1,0
), Sauerstoff (O
2
2
), trockene

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