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Ikr-Transmitter Warten; Transmitter Zerlegen; Abb. 13: Pkr-Transmitter Abgleichen - Pfeiffer Vacuum PKR 36X Betriebsanleitung

Pirani/kaltkathoden-transmitter; kaltkathoden-transmitter
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Abb. 13:
HV-Abgleich durchführen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Evakuieren Sie das Vakuumsystem auf p < 10
3. Warten Sie mindestens 2 Minuten.
4. Drücken Sie den Taster "ADJ" kurz mit einem Taststift.
5. Wiederholen Sie den Abgleich, wenn der Transmitter am Messsignalausgang nicht den Druck
ATM-Abgleich durchführen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Betreiben Sie den Transmitter mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck.
3. Drücken Sie den Taster "ADJ" kurz mit einem Taststift.
4. Wiederholen Sie den Abgleich, wenn der Transmitter am Messsignalausgang nicht den Druck
8.2 IKR-Transmitter warten
Pfeiffer Vacuum hat den Transmitter im Werk auf Standardwerte abgeglichen. Der Transmitter ist war-
tungsfrei.
Defekte Komponenten ersetzen
► Ersetzen Sie nur die Ionisationskammer und die Zündhilfe oder die komplette Messkammer (Er-
► Ersetzen Sie bei starker Verschmutzung oder Defekt die komplette Messkammer.
8.3 Transmitter zerlegen
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke etc.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
ATM
HV
PKR-Transmitter abgleichen
– Der Pirani-Sensor gleicht auf 1 × 10
< 1 × 10
-5
hPa ausgibt.
– Der Abgleich war in diesem Fall nicht erfolgreich.
– Der Pirani-Sensor gleicht auf 1000 hPa (Standard) ab. Der Abgeich dauert ca. 5 Sekunden.
1000 hPa ausgibt.
– Der Abgleich war in diesem Fall nicht erfolgreich.
satzsensor), wenn das Gerät defekt ist.
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
-5
hPa.
-5
hPa (Standard) ab. Der Abgeich dauert ca. 5 Sekunden.
HINWEIS
Wartung
35/60

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Diese Anleitung auch für:

Ikr 36x

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