Edwards 18B4B Betriebsanleitung

Vapour-booster-pumpen

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B06510882

Issue D

Betriebsanleitung

Vapour-Booster-Pumpen 18B4B

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Seite 1 B06510882 Issue D Betriebsanleitung Vapour-Booster-Pumpen 18B4B Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
3.12.2 Allgemeine Beschreibung des Befüllungsverfahrens ...............28 3.12.3 Befüllungsverfahren zur Einstellung des Füllstandswächters ............29 3.13 Anschluss des optionalen Treibmittel-Tiefstandswächters (sofern installiert) ........ 30 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 Rücksendung von Ausrüstung oder Komponenten an den Kundendienst ........53 Ersatzteile ....................... 54 Zubehör ........................54 Index ....................57 Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen. Seite ii © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5 Verwendete Materialien ....................9 Pumpen-Artikelnummern ....................10 Checkliste der einzelnen Artikel ..................16 Wartungsplan ......................38 Fehlersuche ......................49 Zubehör 18B4B ......................54 Ersatzteile Pumpe 18B4B ....................54 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 6: Weiterführende Literatur
Warenzeichen ® Fomblin ist ein eingetragenes Warenzeichen von Solvey Solexis ® Apiezon ist ein eingetragenes Warenzeichen von M & I Materials, UK Seite iv © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7: Einleitung
Teile- und Seriennummer; Name und Adresse des Herstellers etc. Beschreibung Pumpen vom Typ 18B4B sind hochleistungsfähige Vapour-Booster-Pumpen mit einer Saugleistung von bis zu 4000 l s Die Pumpen sind belastbar, zuverlässig und bewahren selbst bei relativ hohen Vorvakuum-druckwerten ihre hohe Leistungsfähigkeit.
Seite 8: Aufbau
B06510882 Issue D Aufbau Abbildung 1 zeigt eine Teilschnittansicht der Pumpe 18B4B. Die Pumpe besteht aus: Einer vertikalen oberen Konusbaugruppe (45) mit den drei Stufen der Diffusionspumpe (42, 6 und 5).  Einer horizontalen seitlichen Konusbau-gruppe (14).  Einem Siedegefäß (33) im Pumpenfuß.
Seite 9: Überhitzungsschutz
Ihre Pumpe ist am Treibmittelentleerungsanschluss ggf. mit einem optionalen Temperaturfühler Pt100 (Abbildung Ziffer 30) ausgestattet. Sofern installiert, wird über diesen Temperaturfühler die Temperatur des Pumpen-treibmittels gemessen. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 10: Betrieb In Feuchter Umgebung
Das vorliegende Handbuch geht auf diese Empfehlungen nicht weiter ein. Für weiterführende Informationen über den Betrieb der Pumpe in feuchter Umgebung können Sie bei Ihrem Händler bzw. bei Edwards unsere Applikationsschrift P40050000 anfordern. Abbildung 1 - Teilschnittansicht der Pumpe 18B4B Legende 1.
Seite 13: Technische Daten
Treibmittelverlust bei 1 x 10 mbar, 10 Pa 10 g h Aufwärmzeit bis zum maximalen Durchsatz 60 min Abkühlzeit (auf ca. 100 °C) 120 min © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 14: Mechanische Daten
Abbildung 3 Kühlwasseranschlüsse " BSP-Innengewinde (mit " NPT- Außengewindeadaptern) Angaben zum Pumpentreibmittel Hinweis: Ein Material-Sicherheitsdatenblatt von Edwards für das unten genannte Treibmittel kann angefordert werden. Tabelle 4 – Angaben zum Pumpentreibmittel Empfohlenes Treibmittel Edwards 201 oder AP201 Treibmittelmenge Nennwerte 10 l...
Seite 15: Elektrische Daten
Tabelle 7 – Verwendete Materialien Pumpengehäuse Vernickelter / lackierter Weichstahl Abdeckungen Anodisiertes Aluminium Kühlschlangen der Wasserkühlung Hochwärmeleitendes Kupfer O-Ringe für Einlass und Vorvakuum Fluorelastomer © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 16: Pumpen-Artikelnummern
B06523220 B06533220 240 V B06513240 B06523240 B06533240 380 V B06513380 B06523380 B06533380 440 V B06513440 B06523440 B06533440 480 V B06513480 B06523480 B06533480 Seite 10 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17: Typische Leistungskurven
Abbildung 2 – Typische Leistungskurven 1. Saugleistung (l s ) vs. Einlassdruck (mbar/Pa) für Stickstoff 2. Durchsatz (mbar l s ) vs. Einlassdruck (mbar/Pa) für Stickstoff © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 18 12 Bohrungen Ø 25,4 auf 431,8 Lochkreisdurchmesser (ANSI-Einlass) 8 Bohrungen Ø 11 auf 387,4 Lochkreisdurchmesser (EHVI-Einlass). ØA ØB ANSI 482,6 228,6 EHVI Seite 12 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 21: Installation
Tragen Sie dafür Sorge, dass die in der Pumpe bewegten Produkte für die in der Pumpe verwendeten  Materialien verträglich sind (vgl. Abschnitt 2.7). Beraten Sie sich bitte mit Edwards, wenn Sie Fragen zur Verträglichkeit haben. Zum Reinigen der O-Ringe keine Lösemittel verwenden. ...
Seite 22: Aufstellung Der Pumpe
Die Pumpe muss so aufgestellt werden, dass sich der Einlassflansch während des Betriebs an der Oberseite befindet und horizontal ausgerichtet ist. Wird die Pumpe freistehend montiert, so ist die Vorvakuumleitung der Pumpe zur Stabilisierung abzustützen. Seite 16 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Installation In Einem Vakuumsystem
7. Lösen Sie die Pumpe von der Hebevorrichtung. 8. Fixieren Sie die alle drei Montagefüße der Pumpe durch geeignete Schrauben mithilfe der Befestigungsbohrungen (Abbildung 3, Ziffer 13). © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 24: Vakuum-Anschlüsse
Die Pumpe wurde vor der Lieferung mit dem Treibmittel Edwards 201 getestet. Die Innenflächen der Pumpe  sind daher mit einem dünnen Film des Treibmittels Edwards 201 überzogen. Vor Anschluss der Pumpe an Ihr Vakuumsystem müssen die Pumpenflansche mit Azeton oder einer anderen geeigneten Reinigungslösung gereinigt werden.
Seite 25: Anschluss Des Pumpenauslasses
Die Austrittstemperatur darf maximal 35 °C betragen.  Der errechnete Kühlwasserdurchflusswert darf keinesfalls unterschritten werden. Wir empfehlen, den  Wasserdurchfluss mindestens 20 % über diesem Mindestwert einzustellen. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 26: Pumpentreibmittel-Entleerungsanschluss (Optional)
Bei Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung ist ein geeigneter Trennschalter mit Überstrom-auslöser vorzusehen. Es ist ein für den Gesamtleistungsbedarf des Heizelements geeignetes Kabel zu verwenden (vgl. Abschnitt 2.6). Seite 20 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 27: Anschluss Der Pumpe An Die Energieversorgung
3. Die Erdungs- (Masse-) Drähte an den Abdeckungen von Klemmenblock (4) und Elektrikbox (1) müssen mit beiden Erdungs- (Masse-) Punkten im Boden der Elektrikbox ordnungsgemäß verschraubt sein. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 28: Leitungsanschlüsse Des Heizelements
B06510882 Issue D Abbildung 4 – Leitungsanschlüsse des Heizelements Abbildung 5 – Klemmenblock A. Oberkante Seite 22 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 29: Blockklemmen Für Sternschaltungen
B06510882 Issue D Abbildung 6 – Blockklemmen für Sternschaltungen Abbildung 7 – Schaltschema Sternschaltungen Abbildung 8 – Blockklemmen für Dreieckschaltungen © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 30: Schaltschema Dreieckschaltungen
B06510882 Issue D Abbildung 9 – Schaltschema Dreieckschaltungen Seite 24 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 31: Empfohlener Regelkreis
7. Elektroenergieversorgung des 2. Überstromauslöser Steuersystems 3. Schaltschütz 8. Ausschalter 4. Lastfreier Trennschalter 9. Schaltschützspule 5. Schmelzsicherungen 10. Einschalter 6. Stromversorgung 11. Anschluss Thermoschutzschalter © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 32: Anschluss Der Thermoschutzschalter
Schnappschalter zurückgesetzt werden. Die Betriebstemperatur der Thermoschutzschalter der Kühlung ist werkseitig für den Gebrauch des Pumpentreibmittels Edwards 201 eingestellt. Falls Sie ein anderes Treibmittel verwenden möchten, wenden Sie sich bitte an Ihren Lieferanten oder lassen Sie sich von Edwards beraten.
Seite 33: Anschluss Des Optionalen Temperaturfühler Pt100 (Sofern Installiert)
B06510882 Issue D Anschluss des optionalen Temperaturfühler Pt100 (sofern installiert) Wenn Sie die Pumpe 18B4B mit dem optionalen Temperaturfühler Pt100 bestellt haben, so wird der Temperaturfühler werkseitig wie in Abbildung 1, Ziffer 30, installiert. Schließen Sie den Temperaturfühler gemäß den mitgelieferten Herstellerhinweisen an Ihre Steuer- oder Anzeigegeräte an.
Seite 34: Empfohlene Pumpentreibmittel
Verwenden Sie das für die Anwendung am besten geeignete Treibmittel. Die Pumpe wird mit dem Pumpentreibmittel Edwards 201 getestet und enthält bei Auslieferung Spuren dieses Treibmittels. (Für den Einsatz mit einem anderen Treibmittel bestellte Pumpen werden mit dem jeweiligen Treibmittel geprüft.) Sie müssen die Pumpe stets mit ein und demselben Treibmittel befüllen.
Seite 35: Befüllungsverfahren Zur Einstellung Des Füllstandswächters
1. Befüllen Sie die Pumpe bis zum untersten Strich des Messstabs (21) mit Treibmittel: gehen Sie dabei wie in Abschnitt 3.12.2 beschrieben vor. 2. Lösen Sie ggf. die Montagehülse des Füllstands-wächter-Fühlers mit dem Sechskantschlüssel. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 36: Anschluss Des Optionalen Treibmittel-Tiefstandswächters (Sofern Installiert)
Schließen Sie die Ausgänge der Treibmittel-Tiefstandswächter gemäß den mitgelieferten Herstellerhinweisen an Ihre Steuer- oder Anzeigegeräte an. Die elektrischen Anschlussdaten werden in Abschnitt 2.6 genannt. Seite 30 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 37: Betrieb
Pumpen Sie keine Gase, die bei den Betriebsdrücken der Pumpe 18B4B entflammbar sind. Andernfalls besteht Explosions- bzw. Brandgefahr. Sollten Sie sich bezüglich Eignung der Pumpe 18B4B für die Arbeit mit bestimmten Gasen nicht sicher sein, so wenden Sie sich bitte an Edwards. WARNUNG Die Pumpe darf bei gestörtem Kühlwasserdurchfluss in den Kühlschlangen nicht betrieben werden.
Seite 38: Anlauf
Herstellung von Grobvakuum In einem großen Vakuumsystem kann die Herstellung von Grobvakuum erhebliche Zeit in Anspruch nehmen; in diesem Fall macht sich zur Unterstützung der Pumpe 18B4B bei der Herstellung des Grobvakuums u. U. die Installation einer Haltepumpe und eines Halteventils erforderlich.
Seite 39: Einstellen Des Siedegefäß-Thermoschutzschalters (Sofern Erforderlich)
(sofern erforderlich) Hinweis: Der Thermoschutzschalter muss eingestellt werden, wenn die Pumpe 18B4B vollständig mit Treibmittel befüllt ist, die Betriebstemperatur erreicht hat und sich im Vakuumzustand befindet. Anderenfalls ist ein Ansprechen des Schalters bei der erforderlichen Temperatur nicht garantiert, und die Pumpe überhitzt sich unter Umständen.
Seite 40: Belüften Ihres Vakuumsystems
Sie die Vorvakuumpumpe nicht aus, sofern keine Luft in die Boosterpumpe eingelassen wird, oder es wird Öl aus der Vorvakuumpumpe in die Vorvakuumleitung gezogen. 5. Lassen Sie die Pumpe 18B4B abkühlen, bis das Siedegefäß eine Temperatur von 100 °C oder weniger erreicht hat; trennen Sie anschließend die Kühlwasserversorgung von der Pumpe.
Seite 41: Typisches Pumpsystem
2. Lufteinlassventil der Pumpe 8. Kondensatfalle 3. Grobvakuumventil 9. Ventil der Vorvakuumpumpe 4. Hochvakuum-Baffle-Ventil 10. Halteventil 5. Hochvakuum-Messzelle 11. Haltepumpe 6. Arbeitskammer 12. Vorvakuumpumpe © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 43: Wartung
Beachten Sie die nachstehenden Sicherheitshinweise und die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen. Anderenfalls kann es zu Verletzungen von Personen und Anlageschäden kommen. Die Wartung der Pumpe 18B4B muss von einem in geeigneter Weise geschulten und beaufsichtigten Techniker  durchgeführt werden. Stellen Sie sicher, dass dem Installationstechniker die Sicherheitsmaß-nahmen vertraut sind, die mit dem ...
Seite 44: Wartungsplan
5. Kontrollieren Sie den O-Ring des Messstabs. O-Ring bei sichtbarer Beschädigung oder nach Überhitzung erneuern. 6. Setzen Sie den Messstab wieder ein und ziehen Sie die "-Überwurfmutter fest. Seite 38 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 45: Überprüfung (Und Erforderlichenfalls Ablassen) Des Pumpentreibmittels
Hebevorrichtung. Anderenfalls können Sie sich Verletzungen zuziehen oder die Pumpe beschädigen. Das Gewicht der Pumpe und ihrer Teile / Baugruppen kann Abschnitt 2.3 entnommen werden. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 46 Siedegefäßbaugruppe befestigt ist; entfernen Sie dann das Dampfrohr und die Dichtung der Düse (39). 16. Lösen Sie die M6-Befestigungsschraube und heben Sie die Baffle-Baugruppe (18) aus dem Vorvakuumkondensator. Seite 40 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 47: Reinigung Der Hauptkomponenten Der Pumpe
3. Entfernen Sie die Dichtung der Reinigungsöffnung und entsorgen Sie diese: siehe Abschnitt 6.2. 4. Stellen Sie ein geeignetes Auffanggefäß unter den Treibmittelentleerungsanschluss (29) und lassen Sie die gesamte Reinigungslösung ab. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 41 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 48: Wiederzusammenbau Der Pumpe
9. Setzen Sie die Zugstange (35) wieder ein, montieren Sie das Dampfrohr der zweiten Stufe (6) und das obere Dampfrohr (5) ein, schrauben Sie dann den Düsenhut der oberen Düse (47) auf die Zugstange auf. Seite 42 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 49: Vorbereiten Der Pumpe Für Den Betrieb
12. Der Abstand (48) zwischen der Unterkante des Schutzrings und der Unterkante des Düsenhuts der oberen Düse (34) muss korrekt eingestellt werden: Bei Verwendung des Treibmittels Edwards 201 muss der Spalt 1,6 mm betragen.  Falls Sie andere Flüssigkeitstypen verwenden möchten, wenden Sie sich bitte an Ihren Händler oder lassen ...
Seite 50: Reinigung Des Strahlungsschildes
7. Trennen Sie die Pumpe ggf. vom Vakuumsystem und bewegen Sie die Pumpe an den Ort, wo der Austausch der Heizelemente stattfinden soll: Gehen Sie hierzu vor Abschnitt 5.6.2 in Schritt 7 und 8 beschrieben. Seite 44 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 51: Kennzeichnen Und Entfernen Sie Das Defekte Heizelement
11. Entfernen Sie vorsichtig das defekte Heizelement (9) und die Trägerplatte (6): ziehen Sie die Drähte des Heizelements durch die Öffnungen des Strahlungsschilds (5). 12. Entfernen Sie das defekte Heizelement (9) von der Trägerplatte (6): © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 52: Austausch Eines Heizelements
13. Mutter und Unterlegscheibe 19. Erdungs- (Masse-) Band 7. Heizungsmuffe 14. Halbmutter und 20. Aussparungen (in 8. Befestigungsbolzen Unterlegscheibe Spannplatten) Heizelement 21. Erdungs- (Masse-) Schraube Seite 46 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 53: Montieren Und Verschrauben Sie Das Heizelement
Schritt 1 und 2 beschrieben. 7. Siehe Abbildung 1. Schließen Sie ggf. die Thermoschutzschalterdrähte wieder an den Thermoschutzschalter der Kühlung (9) an. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 47 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 54: Überprüfung Der Spannplatte Und Der Haltemuttern Des Heizelements
Liste von Störungen und deren möglichen Ursachen zusammengestellt. Lässt sich ein Problem damit nicht beseitigen, nehmen Sie Kontakt mit Ihrem Händler oder Ihrem nächst gelegenen Edwards-Servicecenter auf. Seite 48 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 55 Der Schutzring ist falsch montiert / eingestellt. Der Kühlwasserstrom ist behindert. Die Kühlwassertemperatur ist zu hoch. Die Pumpe ist aufgrund hoher Gaslast oder hohem Vorvakuumdruck zum Stillstand gekommen. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 49 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 57: Lagerung Und Entsorgung
Ggf. vorhandene Zersetzungsprodukte nach Erwärmung des Pumpentreibmittels auf eine über dem  Zersetzungspunkt liegende Temperatur. Durch gefährliche Prozesschemikalien kontaminierte Bauteile oder kontaminiertes Pumpentreibmittel.  © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 51 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 59: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Werkspezifikationen. Anlagen und Geräte, an denen Kundendienst-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Kundendienst oder Reparatur Ihrer Anlage bereitstellen.
Seite 60: Ersatzteile
B04605078 Thermoschutzschalter Kühlung B02302000 Thermoschutzschalter des Siedegefäßes B06401113 Dieser Flanschadapter ist zur Montage des Baffle- und Trennventils P12R12A an die Pumpe 18B4B erforderlich und wird nur für Pumpen mit EHVI-Flanschen angeboten. Tabelle 13 – Ersatzteile Pumpe 18B4B Ersatzteil Bestellnummer Pumpentreibmittel Edwards 201 (20 l) H02601055 Ersatzteilsätze 18B4B...
Seite 61 H02106208 O-Ring 2" Vorvakuumverbindung (EHVI) H02106159 Ersatz-Heizelemente werden zusammen mit Crimpanschlüssen, Klemmen, Drähten und Keramik-Isolierperlen angeboten. † Wie auf dem Heizelement angegeben. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 55 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 63: Index
Temperaturanzeiger ........3 Fehlersuche ..........48 Thermoschutzschalter der Kühlung .....3 Freistehende Installation ....... 17 Thermoschutzschalter des Siedegefäßes ....3 Funktionsprinzip ...........2 Tiefstandswächter ......... 3 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 57 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 64 Vorsicht .............1 Warnung .............1 Wartung ........... 37 Wartungsplan ..........38 Wiederzusammenbau der Pumpe ..... 42 Zerlegung der Pumpe ........39 Zubehör ........... 54 Seite 58 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 65: Eu-Konformitätserklärung
Burgess Hill Lutín , 78349 West Sussex Tschechische Republik RH15 9TW T: +42(0) 580 582 728 Vereinigtes Königreich documentation@edwardsvacuum.com Das nachstehend aufgeführte Produkt • Boosterpumpe 18B4B B065-10-XXX B065-20-XXX B065-30-XXX • • B065-11-XXX B065-21-XXX B065-31-XXX • B065-12-XXX B065-22-XXX B065-32-XXX B065-13-XXX B065-23-XXX B065-33-XXX •...
Seite 66 ZUSÄTZLICHE ANGABEN ZU RECHTSVORSCHRIFTEN UND KONFORMITÄT EMV (EU, UK): Klasse A/B Industriegeräte Dieses Produkt fällt nicht in den Geltungsbereich: Es hat keine aktive Elektronik und ist aufgrund seiner Beschaffenheit unkritisch. RoHS (EU, UK): Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmeregelungen Anhang III: 6(c) Kupferlegierung mit einem Massenanteil von höchstens 4 % Blei •...
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Edwards 18B4B Betriebsanleitung

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Technische Daten

Installation

4 Betrieb

5 Wartung

6 Lagerung und Entsorgung

7 Service, Ersatzteile und Zubehör

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