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6.12 Auf Werkseinstellungen zurücksetzen
UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)
1
MS
10
V8
9
p2
V2a
8
Abb. 13: Die wichtigsten Komponenten des Vakuumdiagramms in UL3000 Fab-Geräten
1 Massenspektrometer
2 Internes Prüfleck
3 Einlassflansch
4 Einlass-Druckmessstelle
5 V1 ... V10: Magnetventile zur
Steuerung der Gasflüsse
Sie können das Gerät auf die Werkseinstellungen zurücksetzen.
Verlust von Einstellungen und Messdaten
Nach einem Rücksetzen auf Werkseinstellungen befinden sich im Speicher des
Geräts nur die Werkseinstellungen des Herstellers. Die Software des Geräts wird
durch das Rücksetzen auf Werkseinstellungen nicht zurückgesetzt.
ü
Supervisor-Rechte
1
> Einrichten > Allgemein > Zurücksetzen
2
Treffen Sie Ihre Wahl:
ð Wenn Sie alle Einstellungen zurücksetzen möchten, drücken Sie die
Schaltfläche "Einstellungen zurücksetzen".
ð Wenn Sie alle aufgezeichneten Messdaten und Benutzerkonten löschen
wollen, drücken Sie die Schaltfläche "Daten löschen".
2
TL
V7
V4c
V4b
V4a
V2b
V9
p4
V10
7
6 Schnüffelleitung
7 Druckmessstelle zur Flussüberwachung
8 Vorpumpe
9 Vorvakuum-Druckmessstelle
10 Turbomolekularpumpe
Betrieb | 6
3
p1
V3
V1
V5
6
93 / 148
4
5
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