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Beschreibung; Funktion; Betriebsarten; Betriebsart "Vakuum - INFICON UL3000 Fab Originalbetriebsanleitung

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4 | Beschreibung

4 Beschreibung

4.1 Funktion

4.2 Betriebsarten

4.2.1 Betriebsart "Vakuum"

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Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks in
Prüfobjekten. Das Gerät ist für die Dichtheitsprüfung nach der Vakuummethode und
der Schnüffelmethode geeignet. Es verwendet die ULTRATEST
Technologie.
• Bei der Vakuummethode wird das Prüfobjekt evakuiert und von außen mit Helium
oder Formiergas beaufschlagt. Dazu ist es erforderlich, eine Vakuumverbindung
zwischen dem Gerät und dem Prüfobjekt herzustellen.
• Bei der Schnüffelmethode wird im Prüfobjekt ein Überdruck mit Helium oder
Formiergas erzeugt. Das Prüfobjekt wird dann von außen mit einer
Schnüffelleitung abgesucht.
Auf der Oberseite des Geräts befindet sich der Einlassflansch.
Um nach der Vakuummethode kalibrieren zu können, muss am Einlassflansch ein
geeignetes externes Prüfleck montiert sein. Siehe auch "Extern Kalibrieren [} 79]".
Um nach der Vakuummethode Dichtheitsprüfungen durchführen zu können, muss der
Einlassflansch mit dem gewünschten Prüfkörper verbunden sein.
Wenn der Druck im Prüfkörper geringer als der Umgebungsdruck ist, kann im Fall
eines Lecks Helium, mit dem der Prüfkörper angesprüht wird, in diesen eindringen. Im
Dichtheitsprüfgerät wird Helium dann mit Hilfe eines Massenspektrometers
nachgewiesen.
HYDRO•S (nur UL3000 Fab PLUS)
In der Betriebsart "Vakuum" besteht die Möglichkeit, HYDRO•S zu nutzen. HYDRO•S
reduziert bei Verwendung großer Prüfobjekte die Zeit bis zur Messbereitschaft.
Die Desorption von Wasserdampf in einer Testkammer erzeugt ein unerwünschtes
Untergrundsignal. HYDRO•S trennt und unterdrückt dieses Signal vom Heliumsignal,
so dass der Test früher beginnen kann. Nach einem Wechsel in diesen Modus wird
eine neue Kalibrierung erforderlich. Im Modus HYDRO•S liegt die untere
Nachweisgrenze bei 1 x 10
-10
mbar l/s.
UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)
INFICON
TM
Sensor-

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Diese Anleitung auch für:

Ul3000 fab plus

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