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9,2 Fahlarliste
Folgende Fehler werden angezeigt:
9.2 List of Errors
The following errors are displayed:
9.2 Liste des messages d"erreurs
Erreurs affichees :
------,---------------------
01
EOOI
Uberdrehzahl, f
f. ,d - 1,05
Excess rotation speed,
f
=
f
ult .
1 .05
02 E002
Uberspannung +48 V, UL
>
60 V
Excess vo ltage +48 V, UL
>
60 V
Vibration, X16/12 aclive
03 E003
Vibra lion, X16/12 akliv
04 E004
Re se rvefehlereingang. X16/ 7 aktiv
Spare erro r in put, X16/7 active
Pumping unit error, X16/1 0
05 E005
Pu mpslandtehler, X16 / 1 0 akliv
active
06 E006
Hochlaufzeit abgelaufen und f
<
Run-up time expi red and
f
<
switch-point
Schallpunkl
07 E00 7
Betriebsmittelmangel, nach
Verz6gerun g 20 sek
OS EOOS
Pumpenstecker abgezogen
IU7
>
5 Voll)
09 E009
Stroml1fa d a1 unterbrochen
(UM
>
44 Vo lt)
10 E010
Dreh zahlregelung defekt
(analog oder digitital)
Low operating medium level,
after a delay ot 20 sec
Pump plug unplugged
IU7
>
5 volts)
Current p ath a 1 interrupted
(UM
>
44 vo lls)
Rota tion speed control
defecti ve (ana log ue or
digital)
11
E011
Hall sondenversorgung Uh
>
9 Vo lt
Hall probe supply Uh
>
9 vo lts
Diese Fehl er werden nur im Betrieb
des Gerates erkannt und dargestellt,
sie fUhren in jedem Faile zu einer
Abschaltung der Turbopumpe bzw. des
Pump standes .
rCl'
3110
'!t
Fig .17
Bei::;pie ! Fehleranze ige
These errors are only detected and dis-
played during operation of the unit; in
any case they lead to the turbo pump
or pumping unit being switched off.
PFEIFFER
VACUUM
OJ
Example for erro r display
Sur-regime. f = fflnal . 1.05
Surt ension + 4S V, UL
>
60 V
Vibrations, X 16 / 12 active
Entre e de reserve. 16/ 7 active
Erreur du groupe de pompage,
X 16/1 0 aClive
Temps de demarrage eCQule et
f
<
point de commutat ion
Agent moteur epuise, au bout
d'une temporisation d e 20 s
Connecteur de pompe retire
IU7
>
5 volts)
Circuit a 1 interrompu
(UM
>
44 vo lts)
Regulateur de regime
d efectu eux (ana logiq ue au
numerique)
Alimentation des sondes de
Hall Uh
>
9 vo lts
Ces erre urs ne son t
que
durant Ie fonctionnement de I'appareil
et entrainent automatiquement I'arret
de la pompe tur bomoleculaire au du
groupe de pompage.
Exemp le (j 'uff lchage lJ 'e rreur
27

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