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Pfeiffer Vacuum TPG 261 Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum TPG 261 Betriebsanleitung

Singlegauge, einkanal mess- und steuergerät für kompaktmessröhren
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Inhaltsverzeichnis

Quicklinks

A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N
VACUUM
TPG 261
SingleGauge™, Einkanal Mess- und Steuergerät für
Kompaktmessröhren
Betriebsanleitung
Inhaltsverzeichnis
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum TPG 261

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TPG 261

  • Seite 1 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N VACUUM TPG 261 SingleGauge™, Einkanal Mess- und Steuergerät für Kompaktmessröhren Betriebsanleitung...

  • Seite 2: Produktidentifikation

    Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Produktidentifikation Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein: Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Typ: F-No: Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikel- Gültigkeit nummer PT G28 030. Sie finden die Artikelnummer (No.) auf dem Typenschild.

  • Seite 3: Bestimmungsgemäßer Gebrauch

    Das TPG 261 dient zusammen mit Pfeiffer Vacuum Bestimmungsgemäßer Kompaktmessröhren (im folgenden Messröhren ge- Gebrauch nannt) zur Messung von Totaldrücken. Die Produkte sind gemäß den entsprechenden Betriebsanleitungen zu betreiben. Der Lieferumfang umfasst folgende Teile: Lieferumfang 1 TPG 261 Einkanal-Messgerät 1 Netzkabel 1 Kabelstecker für Anschluss control...

  • Seite 4: Inhaltsverzeichnis

    Schalttafeleinbau 3.2.3 Tischgerät 3.3 Netzanschluss 3.4 Messröhrenanschluss sensor 3.5 Anschluss control 3.6 Anschluss relay 3.7 Schnittstellenanschluss RS232 4 Bedienung 4.1 Frontplatte 4.2 TPG 261 ein- und ausschalten 4.3 Betriebsarten 4.4 Mess-Mode 4.5 Parameter-Mode 4.5.1 Schaltfunktionsparameter 4.5.2 Messröhrenparameter 4.5.3 Messröhrensteuerung 4.5.4 Generalparameter 4.5.5...
  • Seite 5 5 Kommunikation (Serielle Schnittstelle) 5.1 RS232C-Schnittstelle 5.1.1 Datenübertragung 5.1.2 Kommunikationsprotokoll 5.2 Mnemonics 5.2.1 Mess-Mode 5.2.2 Parameter-Mode 5.2.2.1 Gruppe Schaltfunktions- parameter 5.2.2.2 Gruppe Messröhren- parameter 5.2.2.3 Gruppe Messröhren- steuerung 5.2.2.4 Gruppe Generalparameter 5.2.2.5 Gruppe Testprogramme 5.2.3 Beispiel 6 Instandhaltung 7 Störungsbehebung 8 Instandsetzung 9 Produkt lagern Produkt entsorgen...

  • Seite 6: Sicherheit

    1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole Darstellung von Restgefahren GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jegli- cher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbe- achten kann zu Störungen oder geringfügigen Sach- schäden führen. Weitere Symbole Lampe / Anzeige leuchtet.

  • Seite 7: Personalqualifikation

    1.2 Personal- qualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind. Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägi- 1.3 Grundlegende gen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen Sicherheits-...

  • Seite 8: Verantwortung Und Gewährleistung

    Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und 1.4 Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Ände- rungen usw.) vornehmen • das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufge-...

  • Seite 9: Technische Daten

    2 Technische Daten Spannung 90 … 250 VAC Netzanschluss Frequenz 50 … 60 Hz Leistungsaufnahme ≤45 W Überspannungs- kategorie Schutzklasse Anschluss Gerätestecker IEC 320 C14 (Europa-Apparatestecker →  19) Temperatur Umgebung Lagerung –20 … +65 °C Betrieb + 5 … +50 °C Relative Feuchte ≤80% bis +31 °C, abnehmend auf 50% bei...
  • Seite 10 Messröhrenspeisung Strom 750 mA Leistung 18 W Absicherung 900 mA mit PTC-Element, selbstrückstellend nach Aus- schalten des TPG 261 oder Ausziehen des Messröhren- steckers. Die Speisung ent- spricht den Anforderungen einer geerdeten Schutzklein- spannung (SELV). Frontplatte mit 3 Bedientasten Bedienung Fernsteuerung über RS232C-Schnittstelle...
  • Seite 11 Anzahl Schaltfunktionen Reaktionszeit ≤20 ms, wenn Schwellwert nahe beim Messwert (bei größerer Differenz Filterzeit- konstante berücksichtigen) Einstellbereich messröhrenabhängig (→  [1] … [17]) Hysterese ≥1% F.S. für lineare Mess- röhren, ≥10% vom Messwert für lo- garithmische Messröhren Kontaktart potentialfreier Umschalt- Schaltfunktionsrelais kontakt Belastung max.
  • Seite 12 Messröhrensteuerung über Tasten →  28, 49, 50 ein-/ausschalten über Anschluss control Signal ≤+0.8 VDC Einschaltkriterium Signal +2.0 … 5 VDC oder Ausschaltkriterium Eingang offen bei Netzspannung ein →  49 bei Druckanstieg Ausschalt-Schwellwert einstellbar (→  51) Anschluss control Gerätedose Amphenol C91B, 7-polig (Steckerbelegung →...
  • Seite 13 Abmessungen [mm] 70.8 ≈310 55.9 228.5 68.1 ø3.5 VACUUM Verwendung Für Rackeinbau, Schalttafeleinbau oder als Tischgerät Gewicht 1.1 kg BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 14: Installation

    3 Installation 3.1 Personal Fachpersonal Die Installation darf nur durch Personen aus- geführt werden, welche die geeignete Aus- bildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind. Das Gerät ist sowohl in einen 19"-Rackschrank oder in 3.2 Einbau, Aufstellen eine Schalttafel eingebaut wie auch als Tischgerät ver- wendbar.
  • Seite 15 Führungsschiene Zur Entlastung der Frontplatte des TPG 261 empfehlen wir, den Rackeinschubadapter mit einer Führungsschie- ne zu versehen. Gleitschienen Zum sicheren und einfachen Einbau schwerer Rackein- schubadapter empfehlen wir, das Rackgestell zusätzlich mit Gleitschienen zu versehen. BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 16 Luftzirkulation muss ge- währleistet sein. Rackeinschubadapter Höhe 3  TPG 261 in den Rackeinschubadapter einschie- ben … … und mit den im Lieferumfang des TPG 261 ent- haltenen Schrauben befestigen. BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 17: Schalttafeleinbau

    Die maximal zulässige Umgebungstempera- tur (→  9) darf nicht überschritten werden und die Luftzirkulation muss gewährleistet sein. M3 oder ø3.5 Zur Entlastung der Frontplatte des TPG 261 empfehlen wir, das Gerät abzustützen. BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 18: Tischgerät

    TPG 261 in den Ausschnitt einführen … … und mit vier M3- oder gleichwertigen Schrauben befestigen. Das TPG 261 kann auch als Tischgerät eingesetzt wer- 3.2.3 Tischgerät den. Dazu sind im Lieferumfang zwei selbstklebende Gummifüße sowie eine aufsteckbare Gummileiste ent- halten.

  • Seite 19: Netzanschluss

    Gerät so aufstellen, dass die maximal zulässige Umgebungstemperatur des Gerätes (z. B. infol- ge Sonneneinstrahlung) nicht überschritten wird (→  9). 3.3 Netzanschluss GEFAHR GEFAHR: Netzspannung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Produkt gemäß den örtlichen Vorschriften anschließen und korrekt erden.

  • Seite 20: Messröhrenanschluss Sensor

    Diese Schraube nie lösen (interne Erdung) 3.4 Messröhren- Messröhre mit einem konfektionierten Mess- anschluss sensor kabel (→ Verkaufsunterlagen) oder mit einem selbst hergestellten, abgeschirmten Kabel (EMV-Verträglichkeit) am Anschluss sensor auf der Geräterückseite anschließen. Liste der verwendbaren Messröhren beachten (→  9). Steckerbelegung sensor Die 6-polige C91B-...

  • Seite 21: Anschluss Control

    Messröhre ein: Signal ≤+0.8 VDC aus: Signal +2.0 … 5 VDC oder Eingang offen nicht belegt 1, 6 Fehler oder Gerät kein Fehler ausgeschaltet Ein passender Kabelstecker ist im Lieferumfang des TPG 261 enthalten. BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 22: Anschluss Relay

    Speisung für Relais mit höherer Schaltleistung Abgesichert bei 300 mA mit PTC- Element, selbstrückstellend nach +24 VDC, 200 mA Ausschalten des TPG 261 oder Ausziehen des Steckers relay. Entspricht den Anforderungen einer geerdeten Schutzkleinspannung (SELV). BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 23: Schnittstellenanschluss Rs232

    Die RS232C-Schnittstelle ermöglicht die Bedienung des 3.7 Schnittstellen- TPG 261 über einen Computer oder ein Terminal anschluss RS232 (→  65). Zudem dient sie bei Bedarf dem Firmware- Update (→  97). Schließen Sie die serielle Schnittstelle mit einem abgeschirmten Kabel (EMV-Verträglich- keit) an den Anschluss RS232 auf der Geräte-...

  • Seite 24: Bedienung

    4 Bedienung 4.1 Frontplatte Messwert in Gleitkomma- oder Exponentialdarstellung oder Statusmeldungen Parameter-Mode aktiv VACUUM Masseinheit Warnung/Fehler (blinkt) Bedientasten Schaltfunktionszustand Offsetwert ≠ 0 Kalibrierfaktor ≠ 1 Degas aktiviert Messröhre eingeschaltet keine Funktion BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 25: Tpg 261 Ein- Und Ausschalten

    • schaltet es in den Mess-Mode • passt es nötigenfalls die Parameter an (falls zuvor eine andere Messröhre angeschlossen war). TPG 261 ausschalten TPG 261 mit dem Netzschalter (oder zentral über den geschalteten Netzverteiler bei Rackmontage) aus- schalten. Warten Sie bis zum Wiedereinschalten minde- stens 10 Sekunden, damit das TPG 261 sich neu initialisieren kann.

  • Seite 26: Betriebsarten

    TPG 261 arbeitet in folgenden Betriebsarten. 4.3 Betriebsarten • Mess-Mode Anzeige von Messwert oder Status (→  27) • Parameter-Mode Anzeige und Eingabe von Parametern (→  31) − Gruppe Schaltfunktionsparameter Anzeige und Eingabe von Schwellwerten (→  33) −...

  • Seite 27: Mess-Mode

    Der Mess-Mode ist die Standard-Betriebsart des 4.4 Mess-Mode TPG 261 mit Anzeige eines Messwertes, einer Status- meldung oder einer Messröhrenidentifikation. Mess-Mode Parameter- abhängig von Mode Vorgeschichte Messwert Status Messröhrenidentifikation Gerät ein >10 s BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 28 Messröhre ein-/ Gewisse Messröhren lassen sich manuell ein- und aus- ausschalten schalten, sofern die Messröhrensteuerung auf eingestellt ist (→  50). Verfügbar für folgende Messröhre(n):  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge (PCR)  Cold Cathode Gauge (IKR)  FullRange™ CC Gauge (PKR) ...
  • Seite 29 Messbereich Beim Betrieb mit linearen Messröhren (CMR 261 … 375, APR 250 … 267) können negative Druckwerte angezeigt werden. Mögliche Ursachen: • negativer Drift • aktivierte Offsetkorrektur mit positivem Offset. BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 30 Messröhrenidentifi-  Tasten >0.5 s drücken: kation anzeigen Die Messröhrenidentifika- tion wird ausgelesen und während 4 s angezeigt: Pirani Gauge (TPR 261, TPR 265, TPR 280, TPR 281) Pirani Capacitance Gauge (PCR 260, PCR 280) Cold Cathode Gauge (IKR 251, IKR 261) Cold Cathode Gauge (IKR 270) FullRange™...

  • Seite 31: Parameter-Mode

    Der Parameter-Mode ist die Betriebsart zur Anzeige und 4.5 Parameter-Mode Änderung/Eingabe von Parameterwerten und zum Tes- ten des TPG 261. Zur besseren Strukturierung sind die einzelnen Parameter in Gruppen zusammengefasst. Mess-Mode Parameter-Mode Schaltfunktionsparameter abhängig von Vorgeschichte Messröhrenparameter Messröhrensteuerung Gerät ein Generalparameter >10 s...
  • Seite 32 Parametergruppe  Schaltfunktionsparameter wählen →  33 Messröhrenparameter →  37 Messröhrensteuerung →  47 Generalparameter →  52 Testparameter →  56 Parameter in Para- metergruppe wählen Parameter in Para- Änderungen an den Parametern sind sofort wirksam und metergruppe ändern werden automatisch gespeichert.

  • Seite 33: Schaltfunktionsparameter

    Die Gruppe Schaltfunktionspara- 4.5.1 Schaltfunktions- meter (setpoint parameters) um- parameter fasst die Anzeige und Änderung/ Eingabe von Schwellwerten der beiden Schaltfunktionen. Parameter-Mode abhängig von Vorgeschichte Schaltfunktion 1 unterer Schwellwert Schaltfunktion 1 oberer Schwellwert >10 s Schaltfunktion 2 unterer Schwellwert Schaltfunktion 2 oberer Schwellwert BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 34 Das TPG 261 hat zwei Schaltfunktionen mit je zwei ein- stellbaren Schwellwerten. Die Zustände der Schalt- funktionen werden auf der Frontplatte angezeigt und sind als potentialfreie Kontakte am Anschluss relay verfügbar (→  24, 21). Zeit t Parameter wählen  Der Name des Parameters z.B.:...
  • Seite 35 Der untere Schwellwert (Setpoint low) definiert den Druck, bei dem die Schaltfunktion bei fallendem Druck eingeschaltet wird.  messröhrenabhängig (→ Tabelle). z.B.: Wechselt der Messröhrentyp, passt das TPG 261 den Schwellwert nötigenfalls auto- matisch an. 5×10 1500 -4 *) 1×10 1×10 1×10...
  • Seite 36 Druck, bei dem die Schaltfunktion bei steigendem Druck ausgeschaltet wird.  messröhrenabhängig (→ Tabelle). z.B.: Wechselt der Messröhrentyp, passt das TPG 261 den Schwellwert nötigenfalls auto- matisch an. +10% unterer Schwellwert 1500 +10% unterer Schwellwert 1×10 +10% unterer Schwellwert 1×10...

  • Seite 37: Messröhrenparameter

    Die Gruppe Messröhrenparame- 4.5.2 Messröhren- ter (sensor parameters) umfasst parameter die Anzeige und Änderung/Ein- gabe von messröhrenrelevanten Parametern. Parameter-Mode abhängig von Vorgeschichte Filterzeitkonstante Kalibrierfaktor Messbereich Offset >10 s Penning Underrange Control Degas Pirani-Bereichserweiterung BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 38 Parameter wählen  Der Name des Parameters z.B.: Filterzeitkonstante scheint auf, solange die Taste gedrückt ist, minde- stens aber 1.5 s. Anschließend wird der aktu- elle Parameterwert ange- zeigt. Einzelne Parameter sind nicht bei allen Messröhren ver- fügbar und werden dementsprechend nicht immer ange- zeigt.
  • Seite 39 Anzeige und Schalt- funktion gegenüber Messwert- änderungen. Druck p Zeit t  langsam (slow): Das TPG 261 reagiert nicht auf kleine Messwertschwankungen und spricht dadurch langsamer auf Messwertänderungen an. Druck p Zeit t BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 40  Wert ändert in vorgegebenen Schritten. Kalibrierfaktor Der Kalibrierfaktor erlaubt das Normieren des Mess- wertes auf andere Gasarten als N (→ Kennlinien in den  [1] … [13]). Verfügbar für folgende Messröhre(n):  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge (PCR) ...
  • Seite 41  Taste <1 s drücken: Wert wird um 1 Schritt ver- größert/verkleinert. Taste >1 s drücken: Wert wird kontinuierlich ver- größert/verkleinert. Messbereich (F.S.) Bei linearen Messröhren ist deren Messbereichs-End- linearer Messröhren wert (Full Scale) zu definieren, bei logarithmischen Messröhren wird er automatisch erkannt. Verfügbar für folgende Messröhre(n): ...
  • Seite 42 Offsetkorrektur Anzeige des Offsetwertes und Neuabgleich auf den aktuellen Messwert (im Bereich -5 … +110% des ein- gestellten Full Scale-Wertes). Verfügbar für folgende Messröhre(n):  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge (PCR)  Cold Cathode Gauge (IKR)  FullRange™ CC Gauge (PKR) ...
  • Seite 43 Messbereichsunter- Definition des Verhaltens bei einer Messbereichsunter- schreitungs- schreitung bei Kaltkatoden-Messröhren (Penning under- Steuerung range control). Verfügbar für folgende Messröhre(n):  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge (PCR)  Cold Cathode Gauge (IKR)  FullRange™ CC Gauge (PKR)  Process Ion Gauge (IMR) ...
  • Seite 44 Wert  Messbereichsunterschreitung wird als erlaubter Messwert interpretiert. Es wird angezeigt. Die Schaltfunktion bleibt EIN.  Messbereichsunterschreitung wird als unerlaubter Messwert interpretiert. Es wird angezeigt. Die Schaltfunktion wechselt auf AUS.  Messbereichsunter- schreitungssteuerung ein- /ausschalten. Kann der Druck im Vakuumsystem den Mess- bereich der Messröhre unterschreiten, wird vor- teilhafterweise gewählt.

  • Seite 45: Degas

    Degas Ablagerungen auf dem Elektrodensystem von Heißioni- Messröhren können Instabilitäten des Messwertes zur Folge haben. Degas ermöglicht eine Reinigung. Verfügbar für folgende Messröhre(n):  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge (PCR)  Cold Cathode Gauge (IKR)  FullRange™ CC Gauge (PKR) ...
  • Seite 46 Pirani- Bei der Pirani Capacitance Messröhre können der Bereichserweiterung Anzeige- und der Schaltpunkteinstellbereich erweitert werden. Verfügbar für folgende Messröhre(n): Messbereich  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge … (PCR) 5×10 1500 mbar  Cold Cathode Gauge (IKR)  FullRange™ CC Gauge (PKR) ...

  • Seite 47: Messröhrensteuerung

    Die Gruppe Messröhrensteuerung 4.5.3 Messröhren- (control parameters) umfasst die steuerung Anzeige und Änderung/Eingabe von Parametern, mit welchen das ein- und/oder ausschalten der Messröhre definiert wird. Ist eine Messröhren an- geschlossen, welche sich nicht steuern lässt (→  49), ist die Gruppe nicht verfügbar.
  • Seite 48 Parameter wählen  Der Name des Parameters z.B.: Messröhren-Einschaltart scheint auf, solange die Taste gedrückt ist, minde- stens aber 1.5 s. Anschließend wird der aktu- elle Parameterwert ange- zeigt. Einzelne Parameter sind nicht bei allen Messröhren ver- fügbar und werden dementsprechend nicht immer ange- zeigt.
  • Seite 49 Steuer- eingang am Anschluss control einschalten (→  21).  Warmstart: Die Messröhre schaltet beim Einschalten des TPG 261 au- tomatisch ein. Dies ermöglicht das Weitermessen nach einem Stromausfall. Ausschaltbe- dingungen →  50.  Wert ändert in vorgegebenen Schritten.
  • Seite 50 Messröhren- Gewisse Messröhren lassen sich auf verschiedene Arten Ausschaltart ausschalten. Gesteuert werden können folgende Messröhren:  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge (PCR)  Cold Cathode Gauge (IKR)  FullRange™ CC Gauge (PKRx)  Process Ion Gauge (IMR)  FullRange™ BA Gauge (PBR) ...
  • Seite 51 Ausschalt- Definition des Ausschalt-Schwellwertes bei Selbstüber- Schwellwert wachung. Verfügbar für folgende Messröhre(n):  Pirani Gauge (TPR)  Pirani Capacitance Gauge (PCR)  Cold Cathode Gauge (IKRx)  FullRange™ CC Gauge (PKR)  Process Ion Gauge (IMR)  FullRange™ BA Gauge (PBR) ...

  • Seite 52: Generalparameter

    Die Gruppe Generalparameter 4.5.4 Generalparameter (general parameters) umfasst die Anzeige und Änderung/Eingabe von allgemein gültigen Parame- tern (Systemparameter). Parameter-Mode abhängig von Vorgeschichte Maßeinheit Baudrate Anzeigegenauigkeit >10 s Standard-Parameter BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 53 Parameter wählen  Der Name des Parameters z.B.: Maßeinheit scheint auf, solange die Tas- te gedrückt ist, mindestens aber 1.5 s. Anschließend wird der aktu- elle Parameterwert ange- zeigt. Die Parameter sind bei allen Messröhren verfügbar und werden dementsprechend immer angezeigt. →...
  • Seite 54 Maßeinheit Maßeinheit der Messwerte, Schwellwerte usw. . Eine Umrechnungstabelle findet sich im Anhang (→  95). Wert  mbar/bar  Torr (nur verfügbar, wenn Torrsperre nicht aktiviert ist →  59)  Pascal Baudrate Übertragungsrate der RS232C-Schnittstelle. Wert  9600 Baud 19200 Baud z.B.: 38400 Baud...
  • Seite 55 Standard- Rücksetzen sämtlicher vom Anwender gesetzten/ver- Parameter änderten Parameter auf die Standardwerte (Werksein- stellungen). Das Laden der Standard-Parameter kann nicht rückgängig gemacht werden. Wert  Standard-Parameter geladen (→  96) BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 56: Testparameter

    Die Gruppe Testparameter um- 4.5.5 Testparameter fasst die Anzeige der Firmware- version, die Änderung/Eingabe von speziellen Parameterwerten und die Testprogramme. Die Gruppe ist nur ver- fügbar, wenn beim Ein- schalten des TPG 261 die Taste gedrückt wurde. Parameter-Mode abhängig von Vorgeschichte Gerät...
  • Seite 57 Parameter wählen  Der Name des Parameters z.B.: Firmwareversion scheint auf. Die Parameter sind bei allen Messröhren verfügbar und werden dementsprechend immer angezeigt. →  58 Der Name des Parameters wird ange- zeigt solange die Taste gedrückt ist, mindestens aber 1.5 s. Die Firmwareversion wird dauernd angezeigt.
  • Seite 58 │ Das letzte Zeichen kennzeichnet den Änderungsindex (-, A … Z). Diese Information ist nützlich, wenn Sie mit Pfeiffer Vacuum Kontakt aufnehmen. Watchdog- Verhalten der Systemüberwachung (Watchdog Control) Fehlerverhalten bei einem Fehler. Einstellung  Das System quittiert eine Fehlermeldung des Watchdog nach 2 s selbst.

  • Seite 59: Eingabesperre

    Torr-Sperre Unterdrückung der Maßeinheit als Parameterwert bei der Einstellung (→  54). Einstellung  Die Maßeinheit ist ver- fügbar.  Die Maßeinheit ist nicht verfügbar. Eingabesperre Die Eingabesperre verhindert unbeabsichtigte Eingaben im Parameter-Mode und damit Fehlfunktionen. Einstellung  Die Eingabesperre ist ausge- schaltet.

  • Seite 60: Eprom-Test

     Test beendet und Fehler fest- gestellt. Die Lampe blinkt. Liegt der Fehler auch bei wie- derholtem Test vor, nehmen Sie bitte mit Ihrer nächstgele- genen Pfeiffer Vacuum-Ser- vicestelle Kontakt auf. EPROM-Test Test des Programmspeichers. Testverlauf Der Test läuft 1× automatisch ab: ...

  • Seite 61: Test

     Test beendet und Fehler fest- gestellt. Die Lampe blinkt. Liegt der Fehler auch bei wie- derholtem Test vor, nehmen Sie bitte mit Ihrer nächstgele- genen Pfeiffer Vacuum-Ser- vicestelle Kontakt auf. Display-Test Test der Anzeige. Testverlauf Der Test läuft 1× automa- tisch ...
  • Seite 62 Test des Kanals 0 des Analog/Digitalwandlers (mit einer Referenzspannung am Signaleingang des Messröhren- anschlusses sensor (→  20)). Ist der Signaleingang offen, zeigt das TPG 261 einen Standardwert an, der sich wegen der hohen Empfindlichkeit des offenen Messkreises leicht verändern kann.
  • Seite 63 I/O-Test Test der Relais im Gerät. Das Testprogramm testet deren Schaltfunktion. Vorsicht Vorsicht: Relais schalten druckunabhängig Der Start des Testprogrammes kann zu un- beabsichtigten Ergebnissen an angeschlos- senen Steuerungen führen. Verhindern Sie die Auslösung von falschen Steuerbefehlen oder Meldungen. Stecken Sie die angeschlossenen Mess- und Steuerkabel aus.
  • Seite 64 Relais Messröhre  keine Funktion   Fehler-Relais RS232C-Test Test der RS232C-Schnittstelle. Das TPG 261 wiederholt jedes vom kommunizierenden Rechner gesendete Zei- chen. Der Datentransfer vom/zum TPG 261 ist nur auf dem Rechner sichtbar (→  65). Testverlauf Der Test läuft automatisch.

  • Seite 65: Kommunikation (Serielle Schnittstelle)

    8 Datenbits Kein Paritätsbit 1 Stoppbit Kein Hardware-Handshake Der Kommunikationsablauf mit den beiden Mess- und Steuergeräten TPG 261 und TPG 262 ist identisch. Deshalb wird in diesem Abschnitt die Bezeichnung TPG 26x verwendet. BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...
  • Seite 66 Definitionen Es werden folgende Abkürzungen und Symbole ver- wendet: Symbol Bedeutung HOST Computer oder Terminal [...] Nicht zwingend vorgeschriebene Elemente ASCII American Standard Code for Information Interchange Dez Hex <ETX> END OF TEXT (CTRL C) Reset der Schnittstelle <CR> CARRIAGE RETURN Wagenrücklauf <LF>...

  • Seite 67: Kommunikationsprotokoll

    5.1.2 Kommunikations- protokoll Sendeformat Die Nachrichten werden in Form von Mnemonics (Befehlskürzeln) und Parametern als ASCII-Strings zum TPG 26x übertragen. Alle Mnemonics bestehen aus drei ASCII-Charaktern. Leerstellen (Spaces) werden ignoriert. <ETX> (CTRL C) löscht den Eingabebuffer im TPG 26x. HOST TPG 26x Erklärung Sendeprotokoll Mnemonics...
  • Seite 68 HOST TPG 26x Erklärung Empfangsprotokoll Mnemonics [und Parameter] ––––––> Empfängt Nachricht mit <CR>[<LF>] –––––––––> "Ende-Meldung" <––––- <ACK><CR><LF> Positive Bestätigung einer empfangenen Nachricht <ENQ> -–––––––––––––> Aufforderung zur Daten- übertragung <–––––– Messwerte oder Parameter Sendet Daten mit <–––––––––––<CR><LF> "Ende-Meldung" <ENQ>.–––––––––––––> Aufforderung zur Daten- übertragung <––––––...

  • Seite 69: Mnemonics

    5.2 Mnemonics →  A/D-Converter test A/D-Wandler-Testprogramm Baudrate Übertragungsrate (RS232) Continuous mode kontinuierliche Messwertausgabe (RS232) Calibration factor Kalibrierfaktor Display control digits Anzeigegenauigkeit Degas Degas Display control Anzeige-Umschaltverhalten Display test Display-Testprogramm EEPROM test EEPROM-Testprogramm EPROM test EPROM-Testprogramm Error status Fehlerzustand Filter time constant Messwertfilter Full scale (linear gauges) Messbereich (lineare Messröhren)

  • Seite 70: Mess-Mode

    (abgeschlossen) →  Keyboard test Bedientasten-Testprogramm Torr lock Torrsperre Pressure unit Maßeinheit Watchdog control Watchdog-Fehlerverhalten 5.2.1 Mess-Mode Druck Messröhre Senden: <CR>[<LF>] 1 oder 2 │ └─ Messwert x = 1 –> Messröhre 1 2 –> Messröhre 2 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ>...
  • Seite 71 Druck Messröhren Senden: <CR>[<LF>] 1 und 2 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x,sx.xxxxEsxx,y,sy.yyyyEsyy <CR><LF> │ │ │ │ └ Messwert │ │ │ Messröhre 2 │ │ │ [aktuelle │ │ │ Masseinheit] │ │ │ │ │ │ └─ Status Messröhre 2 │...
  • Seite 72 Kontinuierliche Senden: [,x] <CR>[<LF>] Messwertausgabe │ (RS232) └─ Mode x = 0 –> 100 ms 1 –> 1 s (Standard) 2 –> 1 Min. Empfangen: <ACK><CR><LF> Auf <ACK> folgt unmittelbar die kontinuierliche Messwertausgabe im gewünschten Zeitintervall Empfangen: x,sx.xxxxEsxx,y,sy.yyyyEsyy <CR><LF> │ │...
  • Seite 73 Messröhren ein-/ Senden: [,x,x] <CR>[<LF>] ausschalten │ │ │ └─ Messröhre 2, x = 0 –> keine Änderung │ 1 –> Messröhre ausschalten │ 2 –> Messröhre einschalten │ │ └─ Messröhre 1 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x,x <CR><LF> │...
  • Seite 74 Anzeige- Senden: [,x] <CR>[<LF>] Kanalumschaltung │ └─ Anzeigekanal, x = 0 –> Messröhre 1 1 –> Messröhre 2 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x <CR><LF> │ └─ Anzeigekanal Fehlerzustand Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: xxxx <CR><LF> │ └─ xxxx = 0000 –>...
  • Seite 75 Reset Senden: [,x] <CR>[<LF>] │ └─ x = 1 –> Löscht anstehende Fehler und kehrt in den Mess-Mode zurück Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: [x]x,[x]x,... <CR><LF> │ └─ Auflistung der anstehenden Fehler- meldungen, xx = 0 –> Kein Fehler 1 –> Watchdog hat angesprochen 2 –>...

  • Seite 76: Parameter-Mode

    5.2.2 Parameter-Mode 5.2.2.1 Gruppe Schaltfunktions- parameter Schwellwert- Senden: [,y,x.xxxxEsxx,x.xxxxEsxx] <CR>[<LF>] einstellung, │ │ │ │ -zuordnung └─ oberer │ │ │ Schwellwert │ │ │ [aktuelle │ │ │ Maßeinheit] │ │ │ (Standard = │ │ │ messröhren │ │ │...

  • Seite 77: Gruppe Messröhren- Parameter

    Schaltfunktions- Senden: <CR>[<LF>] status Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x,x,x,x <CR><LF> │ │ │ │ │ │ │ └─ Status Schaltfunktion 4 │ │ │ │ │ └─ Status Schaltfunktion 3 │ │ │ └─ Status Schaltfunktion 2 │ └─ Status Schaltfunktion 1 0 –>...
  • Seite 78 Kalibrierfaktor Senden: [,x.xxx,x.xxx] <CR>[<LF>] ( │ │ └─ Messröhre 2 │ log. 0.100 … 9.990 │ (Standard = 1.000) │ lin. 0.500 … 2.000 │ (Standard = 1.000) │ │ └─ Messröhre 1 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x.xxx,x.xxx <CR><LF> │...
  • Seite 79 Offsetkorrektur Senden: [,x,x] <CR>[<LF>] ( (lineare │ │ Messröhren) │ └─ Messröhre 2, x = 0 –> aus (Standard) │ 1 –> ein │ 2 –> auto (Offset-Messung) │ │ └─ Messröhre 1 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x,x <CR><LF> │...
  • Seite 80 Messbereichs- Senden: [,x,x] <CR>[<LF>] unterschreitungs- │ │ Steuerung │ └─ Messröhre 2, x = 0 –> aus (Standard) │ 1 –> ein │ │ └─ Messröhre 1 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x,x <CR><LF> │ │ │ └─ Messröhre 2 │...
  • Seite 81 Pirani-Bereichser- Senden: [,x,x] <CR>[<LF>] weiterung │ │ Messröhre 2, x = │ └─ 0 –> aus (Standard) │ 1 –> ein │ │ └─ Messröhre 1 Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x,x <CR><LF> │ │ │ └─ Messröhre 2 │ └─...

  • Seite 82: Gruppe Messröhren- Steuerung

    5.2.2.3 Gruppe Messröhren- steuerung Messröhren- Senden: [,x,y,x.xxEsxx,y.yyEsyy] <CR>[<LF>] steuerung │ │ │ │ │ └─ Ausschaltwert │ │ │ │ │ │ │ │ └─ Einschaltwert │ │ │ │ │ │ │ │ └─ Steuernde Quelle für Messröhre ausschalten, x = │...

  • Seite 83: Gruppe Generalparameter

    5.2.2.4 Gruppe Generalparameter Maßeinheit Senden: [,x] <CR>[<LF>] │ └─ Maßeinheit, x = 0 –> mbar/bar (Standard) 1 –> Torr 2 –> Pascal Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x <CR><LF> │ └─ Maßeinheit Baudrate Senden: [,x] <CR>[<LF>] │ └─ Übertragungsrate, x = 0 –>...

  • Seite 84: Gruppe Testprogramme

    Abspeichern der Senden: [,x] <CR>[<LF>] Parameter im │ EEPROM └─ x = 0 –> speichern Standard- Parameter (default) 1 –> speichern Benutzer- Parameter (user) Empfangen: <ACK><CR><LF> Anzeige- Senden: [,x] <CR>[<LF>] Umschaltverhalten │ └─ Umschaltverhalten bei Kombina- tion einer Pirani-Messröhre oder einer Pirani Capacitance- Messröhre mit einer linearen Messröhre (1000 mbar F.S.), x =...
  • Seite 85 Watchdog- Senden: [,x] <CR>[<LF>] Fehlerverhalten │ └─ x = 0 –> Fehlerbestätigung manuell 1 –> Fehlerbestätigung automatisch (Standard) Hat der Watchdog angesprochen, wird der Fehler nach 2 s automatisch bestätigt und gelöscht. Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: x <CR><LF> │ └─...
  • Seite 86 RAM-Test Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> startet den Test (Dauer <1 s) Empfangen: xxxx <CR><LF> │ └─ Error-Wort EPROM-Test Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> startet den Test (Dauer ≈5 s) Empfangen: xxxx,yyyy <CR><LF> │ │ └─ Checksumme (Hex) │...
  • Seite 87 ADC-Test Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: [x]x.xxxx,[x]x.xxxx,x.xxxx,x.xxxx <CR><LF> │ │ │ │ └─ ADC Kanal 4 │ │ │ Identifikation │ │ │ Messröhre 2 │ │ │ [0.0000 … │ │ │ 5.0000 V] │ │ │ │...
  • Seite 88 I/O-Test Vorsicht Vorsicht: Relais schalten druckunabhängig Der Start des Testprogrammes kann zu un- beabsichtigten Ergebnissen an angeschlos- senen Steuerungen führen. Verhindern Sie die Auslösung von falschen Steuerbefehlen oder Meldungen. Stecken Sie die angeschlossenen Mess- und Steuerkabel aus. Senden: [,x,yy] <CR>[<LF>] │...
  • Seite 89 Keyboard-Test Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> Empfangen: xxxx <CR><LF> ││││ │││└─ Taste 4 0 –> nicht gedrückt 1 –> gedrückt │││ ││└── Taste 3 ││ │└─── Taste 2 │ └──── Taste 1 RS232-Test Senden: <CR>[<LF>] Empfangen: <ACK><CR><LF> Senden: <ENQ> startet den Test (wiederholt jedes eingegebene Zeichen, Abbruch des Tests mit <CTRL>...

  • Seite 90: Beispiel

    5.2.3 Beispiel "Senden (S)" und "Empfangen (E)" sind auf den Host bezogen. Aufruf der Transmitter Identifikation <CR> [<LF>] positive Rückmeldung E: <ACK> <CR> <LF> Abfrage S: <ENQ> Ausgabe der Messröhrentypen E: TPR,CMR <CR> <LF> Aufruf der Messröhrenzustände <CR> [<LF>] positive Rückmeldung E: <ACK>...

  • Seite 91: Instandhaltung

    6 Instandhaltung Das Produkt ist wartungsfrei. TPG 261 reinigen Für die äußere Reinigung reicht im Normalfall ein leicht feuchtes Tuch. Benutzen Sie keine aggressiven oder scheuernden Reinigungsmittel. GEFAHR GEFAHR: Netzspannung Der Kontakt mit netzspannungsführenden Komponenten im Gerät kann beim Eindringen von Flüssigkeiten lebensgefährlich sein.

  • Seite 92: Störungsbehebung

    Mögliche Ursache und deren Behebung/Quittierung Nach dem Ausschalten wurde das TPG 261 zu schnell wieder eingeschal- tet.  Quittieren mit der Taste Ist die Einstellung des Watchdog auf , quittiert das TPG 261 nach 2 s selbst (→  58).

  • Seite 93: Instandsetzung

    Pfeiffer Vacuum-Servicestelle Kontakt auf. 8 Instandsetzung Defekte Produkte sind zur Instandsetzung an Ihre nächstgelegene Pfeiffer Vacuum-Servicestelle zu senden. Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 94: Produkt Lagern

    9 Produkt lagern Vorsicht Vorsicht: Elektronikkomponente Unsachgemäße Lagerung (statische Ladun- gen, Feuchtigkeit usw.) kann zu Defekten an den elektronischen Komponenten führen. Produkt in antistatischem Beutel oder Behäl- ter aufbewahren. Zulässige Technische Da- ten einhalten (→  9). 10 Produkt entsorgen WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und...

  • Seite 95: Anhang

    Anhang Umrechnungs- tabellen Masse slug 2.205 68.522×10 35.274 0.454 31.081×10 14.594 32.174 514.785 slug 28.349×10 62.5×10 1.943×10 Druck , Pa mbar Torr 10×10 10×10 7.5×10 9.869×10 , Pa 100×10 750.062 0.987 750.062×10 0.987×10 mbar 133.322 1.333×10 1.333 1.316×10 Torr 101.325×10 1.013 1.013×10 Druckeinheiten der...

  • Seite 96: B: Standard-Parameter (Default)

    Folgende Werte werden beim Laden der Standard- Standard- Parameter (→  55) aktiviert: Parameter (default) default user 1×10 mbar 9×10 mbar normal 1.00 (log) 1.000 (lin) 1000 mbar 0×10 mbar mbar 9600 2 Digit Auto BG 5195 BDE / B (2013-11) TPG261.bet...

  • Seite 97: C: Firmware-Update

    TPG 261 mit 9-poligem D-Sub-Verlängerungska- bel (→  23) mit der seriellen Schnittstelle COM1 (COM2) des PC verbinden (Firmware des TPG 261 kann nicht über Mac geladen werden).  Mit Stift (ø<2 mm) den Schalter unter dem Ge- häuse auf der Geräteoberseite drücken und TPG 261 einschalten.
  • Seite 98 In der nachfolgenden Beschreibung steht der Index stellvertretend für den effektiven Index.  Selbstextrahierende Datei entpacken.  Falls Sie das TPG 261 nicht mit der seriellen Schnittstelle COM1 verbunden haben: • Batchdatei zum Ändern öffnen … • … Bezeichnung der Schnittstelle aktualisieren …...
  • Seite 99 Warten Sie bis zum Wiedereinschalten minde- stens 10 Sekunden, damit das TPG 261 sich neu initialisieren kann. Das TPG 261 ist wieder zum Messen bereit. Über- prüfen Sie sicherheitshalber, ob die aktuellen Para- meter mit den ursprünglich eingestellten Parame- tern (→  96) noch identisch sind.

  • Seite 100: D: Literatur

     [1] www.pfeiffer-vacuum.net Literatur Kurzanleitung Pirani-Messröhre TPR 261 BG 5105 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland  [2] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Pirani-Messröhre TPR 265 BG 5177 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland  [3] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Pirani-Messröhre TPR 280, TPR 281 BG 5178 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar,...
  • Seite 101  [8] www.pfeiffer-vacuum.net Kurzanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 261 BG 5113 BN Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland  [9] www.pfeiffer-vacuum.net Kurzanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 270 BG 5115 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland  [10] www.pfeiffer-vacuum.net Kurzanleitung Compact FullRange™...
  • Seite 102  [15] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Compact Capacitance Gauge CMR 361 … CMR 365 BG 5136 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland  [16] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Compact Capacitance Gauge CMR 371 … CMR 375 BG 5138 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland ...

  • Seite 103: E: Stichwortverzeichnis

    Gerät Stichwort- – A – ausschalten verzeichnis einschalten A/D-Wandler-Test entsorgen Anschlüsse lagern control Gerät reinigen Netz- Gewährleistung relay Gruppe RS232 Generalparameter sensor Messröhrenparameter Anzeige Messröhrensteuerung Genauigkeit Schaltfunktionsparameter 33 Test Testparameter Ausschalt-Schwellwert Gültigkeit – B – – I – Baudrate I/O-Test Beispiel Identifikation der Messröhren 30 Bestimmungsgemäßer...

  • Seite 104: Ausschalt-Schwellwert

    Messröhrenparameter – S – Degas Kalibrierfaktor Schaltfunktion 22, 35, 36 Messbereich Schnittstelle Messbereichsunter- Anschluss schreitung Technische Daten Messwertfilter Test Offset Schwellwerte 35, 36 Pirani-Bereichserweiterung 46 sensor-Anschluss Messröhrensteuerung Sicherheit Ausschalt-Schwellwert Standard-Parameter Messröhren-Ausschaltart laden Messröhren-Einschaltart Statusmeldungen Messwertfilter Steckerbelegung Mnemonics → Kommunikation control relay RS232 –...

  • Seite 105: Eg-Konformitätserklärung

    EG-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, Pfeiffer Vacuum, für das nachfol- gende Produkt die Konformität zur Niederspannungs- richtlinie 2006/95/EG, zur EMV-Richtlinie 2004/108/EG und zur RoHS-Richtlinie 2011/65/EU. Produkt Einkanal Mess- und Steuergerät TPG 261 Artikelnummer PT G28 030 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: •...
  • Seite 106 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente aus einer Hand Beratung und zuverlässigen Service.

Diese Anleitung auch für:

Tpg 262

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