Geschwindigkeit
Zählerfrequenz
getakteter Ausgang
D
(MHz)
(5 µm)
50
12
40
12
25
12
20
12
12
12
10
12
08
12
06
12
04
12
01
4,53
1
Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel.
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
X
Z
B
Y
(1 µm)
(0,5 µm)
(0,2 µm)
(0,1 µm)
12
12
7,25
3,63
12
12
5,8
2,9
12
9,06
3,63
1,81
12
8,06
3,22
1,61
10,36
5,18
2,07
1,04
8,53
4,27
1,71
0,85
6,91
3,45
1,38
0,69
5,37
2,69
1,07
0,54
3,63
1,81
0,73
0,36
0,91
0,45
0,18
0,09
H
M
P
I
(50 nm)
(40 nm)
(25 nm)
(20 nm)
1,81
1,45
0,906
0,725
1,45
1,16
0,725
0,58
0,906
0,725
0,453
0,363
0,806
0,645
0,403
0,322
0,518
0,414
0,259
0,207
0,427
0,341
0,213
0,171
0,345
0,276
0,173
0,138
0,269
0,215
0,134
0,107
0,181
0,145
0,091
0,073
0,045
0,036
0,023
0,018
Mindestflankenabstand
O
Q
R
(10 nm)
(5 nm)
(2,5 nm)
0,363
0,181
0,091
0,29
0,145
0,073
0,181
0,091
0,045
0,161
0,081
0,04
0,104
0,052
0,026
0,085
0,043
0,021
0,069
0,035
0,017
0,054
0,027
0,013
0,036
0,018
0,009
0,009
0,005
0,002
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1
(ns)
25,1
31,6
51,0
57,5
90,0
109
135
174
259
1038
27