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Lebensgefahr durch Stromschlag
Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich.
► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten.
► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach
► Verwenden Sie für KF-Anschlüsse elektrisch leitende Zentrier- und Spannringe.
Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten
Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar-
beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be-
seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden.
► Treffen Sie geeignete Sicherheitsvorkehrungen und verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen
► Dekontaminieren Sie die betreffenden Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten.
► Tragen Sie Schutzausrüstung.
Verletzungsgefahr durch Überdruck im Vakuumsystem
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem > 1000 hPa führt zu Verletzungen
durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
Bei KF-Anschlüssen halten elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) einem Druck > 2500 hPa nicht
stand. Dies führt zu Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium.
► Öffnen Sie keine Spannelemente, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht.
► Verwenden Sie für Überdruck geeignete Spannelemente.
► Verwenden Sie Spannelemente, die sich nur mit einem Werkzeug öffnen und schließen lassen
► Verwenden Sie Dichtringe mit einem Außenzentrierring.
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Voraussetzungen
● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet
● Versorgungsspannung ausgeschaltet
Benötigtes Werkzeug
● Kreuzschlitzschraubendreher
GEFAHR
EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.)
WARNUNG
und Umweltbelastungen durch toxische Prozessmedien.
WARNUNG
(z. B. Spannband-Spannring).
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
HINWEIS
Ausbau
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