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Pfeiffer Vacuum HPT 200 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum HPT 200 Betriebsanleitung

Pirani kaltkathoden transmitter
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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HPT 200
Pirani/Bayard-Alpert Transmitter

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HPT 200

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HPT 200 Pirani/Bayard-Alpert Transmitter...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    6.5 Datenaustausch konfigurieren ....... . . 12 6.6 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" ......15 6.7 Transmitter abgleichen .
  • Seite 3: Zu Dieser Anleitung

    Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 4: Sicherheit

    ● Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und Schutz- maßnahmen einhalten. ● Sicherheitsvermerke an alle Benutzer weitergeben. Bestimmungsgemäße Verwendung ● Digitalen Transmitter HPT 200 nur zum Messen von Totaldrücken im Bereich 5 • 10 ... 1000 hPa einsetzen. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Bei nicht bestimmungsgemäßem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs- und Gewährleis-...
  • Seite 5: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung Produktbeschreibung Der digitale Transmitter HPT 200 besteht aus einem Ionisationssensor mit Heißkathode in Bayard-Alpert-Ausführung und einem Pirani-Sensor, dessen Messprinzip auf der druckabhängigen Wärmeleitfähigkeit von Gasen basiert. Produktidentifikation Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereithalten.
  • Seite 6: Einsatzbereich

    Transport und Lagerung Einsatzbereich Das Gerät HPT 200 ist in folgenden Umgebungsbedingungen zu installieren und zu be- treiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Schutzart IP 54 Aufstellungshöhe max. 2000 m Umgebungstemperatur +5°C bis +60°C Rel. Luftfeuchte 5 ... 85 %, nicht betauend...
  • Seite 7: Installation

    Installation Installation Vakuumanschluss HINWEIS Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente.  Beim Umgang mit Vakuumkomponenten auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädi- gungen achten.  Auf saubere, fettfreie und trockene Anschlussflansche achten. VORSICHT Überdruck im Vakuumsystem 1500 bis 4000 hPa Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium, wenn elastomere Dicht- ringe dem Druck nicht mehr standhalten.
  • Seite 8: Elektrischer Anschluss

     Gummistopfen (in Abb. nicht dargestellt) vom Adresswahlschalter abnehmen und ge- wünschte Adresse gemäß der jeweiligen Anschlusssituation einstellen.  Gummistopfen wieder einsetzen. RS-485 M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Bedienge- räten oder PC. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Einbindung in ein Bus- system. Belegung...
  • Seite 9: Transmitter An Usb/ Rs-485 Konverter Anschließen

    24 V DC RS-485 Konverter an- USB/RS-485 Converter schließen Abb. 5: Anschlussplan HPT 200 - USB/RS-485 Konverter  Entsprechende Adresse am Adresswahlschalter S einstellen.  Transmitter mit Verbindungskabel an USB/RS-485 Konverter anschließen.  Spannungsversorgung am Transmitter herstellen. Betrieb Vor dem Einschalten Nach Anlegen der Versorgungsspannung ist der angeschlossene Transmitter betriebs- bereit.
  • Seite 10: Ausheizen

    Betrieb Ausheizen VORSICHT Überhöhte Ausheiztemperatur! Gefahr der Beschädigung von Elektronik und ggf. Magneteinheit!  Bei Ausheiztemperaturen > 60°C, vor dem Ausheizen Elektronik und ggf. Magnetein- heit immer vom Sensorkopf 5 abnehmen und ausschließlich Flansch ausheizen.  Deckel 5a nicht thermisch isolieren. Er muss während des Ausheizens durch Kon- vektion der Raumluft gekühlt werden.
  • Seite 11: Filament Des Ba-Sensors Ein/Ausschalten

    (≥ V 4.00) oder kundenspezifisch gemäß Kommunikationsanleitung möglich. Beim Einschalten der Versorgungsspannung ist der Parameter "Sensor" [P:041] vorein- gestellt auf "Ein", d.h. der HPT 200 arbeitet im Normalbetrieb. Zustandsänderungen die- ses Parameters während des Betriebes werden nur temporär gespeichert. Der Zustand des Parameters "Sensor"...
  • Seite 12: Umschaltbereiche Wählen

    Betrieb Umschaltbereiche wählen Der Transmitter HPT 200 bietet die Möglichkeit, den Umschaltbereich zwischen Pirani und BA-Sensor an die Anwendung anzupassen. Damit kann verhindert werden, dass – bei einer Druckregelung der Sollwert im Umschaltbereich liegt; – im Fall von Beschichtungsanwendungen, die Heißkathode (BA) eingeschaltet ist und dadurch frühzeitig verschmutzt.
  • Seite 13 Betrieb Name Datentyp Handhabung Korrekturfaktor 2 - u_real lesbar, schreibbar (Kaltkathode) Parameter sind fettgedruckt als dreistellige Nummer in eckigen Klammern dargestellt. Ggf. kann zusätzlich die Benennung angegeben sein. Beispiel: [P:312] Softwareversion Verwendete Datentypen Datentyp Beschreibung Länge l1 - l0 Beispiel 0 - boolean_old logischer Wert (falsch / wahr) 000000 / 111111...
  • Seite 14 Betrieb Der Parameter 349 enthält ein Kürzel für den Gerätenamen: Gerätenamen lesen [P:349] CPT200 RPT200 PPT200 HPT200 MPT200 Mit dem Parameter 312 kann die Software Version aus dem angeschlossenen Gerät ge- Softwareversion le- lesen werden: sen [P:312] ● Beispiel: 010100 Der Korrekturfaktor kann auf Werte im Bereich 0,2–8,0 gesetzt werden: Gas-Korrekturfaktor Pirani lesen/schrei-...
  • Seite 15: Pfeiffer Vacuum Protokoll Auf "Rs-485

    Betrieb Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Telegrammrahmen Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master  (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave  (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
  • Seite 16: Transmitter Abgleichen

    Betrieb ? ASCII  ASCII Transmitter abgleichen Der Transmitter ist ab Werk eingestellt. Ein Abgleichen des Pirani-Sensors kann bei Ver- schmutzung, anderer Einbaulage, extremen Temperaturschwankungen, Alterung etc. notwendig sein und wird mit einem angeschlossenen Steuergerät, über die PC-Software "DokuStar" oder kundenspezifisch gemäß Kommunikationsanleitung durchgeführt. Ein Pirani-Abgleich im "ur"-Bereich (under range) erfolgt automatisch unter folgenden, gleichzeitig geltenden Bedingungen: –...
  • Seite 17: Degas

    Degas Degas Ablagerungen auf dem Elektrodensystem der Heißkathodenröhre können einerseits zu Instabilitäten im Mess-Signal sowie andererseits zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahoch- vakuum führen, wodurch evtl. ein zu hoher Druck gemessen wird. In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb von 2 · 10 hPa, die Anode des Sensors durch Ausheizen von adsorbierten Gasteilchen zu reinigen.
  • Seite 18: Sensorkopf Austauschen

    Störungen Sensorkopf austauschen Bei einem Sensordefekt oder wenn der Transmitter nach einer Reinigung nicht abgegli- chen werden kann, muss die Sensorbaugruppe 5 ausgetauscht werden. Abb. 8: Sensorbaugruppe austauschen  Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Demontage  Spannungsversorgung am Steuergerät/Netzteil ausschalten bzw. Geräte vom Netz trennen.
  • Seite 19: Service

     Gerät möglichst in der Originalverpackung versenden. Bei Fehlen bzw. Unvollständigkeit der Erklärung zur Kontaminierung und/oder dem Ein- satz einer nicht geeigneten Transportverpackung, behält es sich Pfeiffer Vacuum vor, eine kostenpflichtige Dekontamination durchzuführen und/oder das Produkt zu Lasten des Versenders wieder zurück zu schicken.
  • Seite 20: Zubehör

    Zubehör 11 Zubehör Benennung HPT 200 Abschlusswiderstand für RS-485 PT 348 105 -T Stecker M12 m 4-polig mit Schraubklemmen RS-485 PT 348 106 -T Trennverbinder für RS-485 PT 348 132 -T Adapter RS-485, M12, 4-polig–D-Sub-Buchse, 9-polig, 0,2 m PT 348 133 -T...
  • Seite 21: Technische Daten Und Maßbilder

    1,33 · 10 133,32 1,33 0,133 mm Hg 1 Pa = 1 N/m 13.2 Technische Daten Parameter HPT 200 HPT 200 Nennweite DN 25 ISO-KF, DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Schutzart IP54 IP54 Anzahl der Filamente Ausheiztemperatur max. am Flansch 180 °C...
  • Seite 22: Maße

    Technische Daten und Maßbilder 13.3 Maße Ø Abb. 9: HPT 200, DN 25 ISO-KF Ø Abb. 10: HPT 200, DN 40 ISO-KF...
  • Seite 23: Gas-Korrekturfaktor

    Technische Daten und Maßbilder Ø 70 Abb. 11: HPT 200, DN 40 CF-F 13.4 Gas-Korrekturfaktor 1E-1 1E-2 1E-3 1E-4 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 tatsächlicher Druck (hPa) Abb. 12: Messkurve HPT 200 (Pirani) bei Verwendung nachstehender Korrekturfaktoren...
  • Seite 24 Technische Daten und Maßbilder Korrekturfaktor Pirani: Korrekturfaktor BA-Sensor: 1,00 5,93 Luft 1,00 2,39 0,58 0,80 1,02 0,74 1,59 0,32 0,89 3,50 0,95 0,60 0,41 0,28 0,57 Relative Empfindlichkeit im molekularen Bereich (1 · 10 mbar)
  • Seite 25: Konformitätserklärung

    Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen folgender EG-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU DigiLine HPT 200 Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: EN 61326-1: 2013 Group 1 / Class B EN 50581: 2012 Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Seite 26: Kompetenz In Theorie Und Praxis

    VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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