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Pfeiffer Vacuum MPT 200 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum MPT 200 Betriebsanleitung

Digitaler pirani kaltkathoden transmitter
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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
MPT 200
Digitaler Pirani/Kaltkathoden-Transmitter

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum MPT 200

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original MPT 200 Digitaler Pirani/Kaltkathoden-Transmitter...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    6.5 Datenaustausch konfigurieren ....... . . 14 6.6 Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" ......16 6.7 Transmitter abgleichen .
  • Seite 3: Zu Dieser Anleitung

    Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 4: Anweisung Im Text

     Der Betreiber ist verpflichtet, jede Bedienperson auf Gefahren, die von dem Gerät oder der gesamten Anlage ausgehen, aufmerksam zu machen. Der Transmitter MPT 200 wurde nach EN 61010/VDE 0411 “Sicherheitsausrüstungen für elektrische Geräte” geprüft und abgenommen. ● Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften beachten.
  • Seite 5: Bestimmungsgemäße Verwendung

    ● Sicherheitsvermerke an alle Benutzer weitergeben. Bestimmungsgemäße Verwendung ● Digitalen Transmitter MPT 200 nur zum Messen von Totaldrücken im Bereich 5 x 10 ... 1000 hPa einsetzen. ● Transmitter nur für Luft, inerte Gase und Gasgemische außerhalb deren Explosions- grenzen verwenden.
  • Seite 6: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung Produktbeschreibung Der digitale Transmitter MPT 200 besteht aus einem Kaltkathoden-Sensor und einem Pi- rani-Sensor, dessen Messprinzip auf der druckabhängigen Wärmeleitfähigkeit von Ga- sen basiert. Sensorkopf und zugehörige Elektronik sind in einem kompakten Gehäuse eingebaut. Produktidentifikation Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereithalten.
  • Seite 7: Einsatzbereich

    Transport und Lagerung Einsatzbereich Das Gerät MPT 200 ist in folgenden Umgebungsbedingungen zu installieren und zu be- treiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Schutzart IP 54 Aufstellungshöhe max. 2000 m Umgebungstemperatur +5°C bis +60°C Rel. Luftfeuchte 5 ... 85 %, nicht betauend...
  • Seite 8: Installation

    Installation Installation Vakuumanschluss HINWEIS Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente.  Beim Umgang mit Vakuumkomponenten auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädi- gungen achten.  Auf saubere, fettfreie und trockene Anschlussflansche achten. VORSICHT Überdruck im Vakuumsystem 1500 bis 4000 hPa Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium, wenn elastomere Dicht- ringe dem Druck nicht mehr standhalten.
  • Seite 9: Elektrischer Anschluss

     Gummistopfen (in Abb. nicht dargestellt) vom Adresswahlschalter abnehmen und ge- wünschte Adresse gemäß der jeweiligen Anschlusssituation einstellen.  Gummistopfen wieder einsetzen. RS-485 M12 Buchse mit Schraubverriegelung für den Anschluss von Pfeiffer Vacuum Bedienge- räten oder PC. Die Verwendung eines Y-Verteilers ermöglicht die Einbindung in ein Bus- system. Belegung...
  • Seite 10: Transmitter An Usb/ Rs-485 Konverter Anschließen

    Transmitter an USB/ 24 V DC RS-485 Konverter an- USB/RS-485 Converter schließen Abb. 5: Anschlussplan MPT 200 - USB/RS-485 Konverter  Entsprechende Adresse am Adresswahlschalter S einstellen.  Transmitter mit Verbindungskabel an USB/RS-485 Konverter anschließen.  Spannungsversorgung am Transmitter herstellen.
  • Seite 11: Betrieb

    Betrieb Betrieb Vor dem Einschalten Nach Anlegen der Versorgungsspannung ist der angeschlossene Transmitter betriebs- bereit. Vor dem Messen ist eine Stabilisierungszeit von 5-10 Min. zu beachten. Der Transmitter sollte während der Messung immer unabhängig vom anliegenden Druck ein- geschaltet bleiben. Der gemessene Druck ist gasartabhängig.
  • Seite 12: Kaltkathoden-Sensor Ein-/Ausschalten

    Kommunikationsanleitung möglich. Beim Einschalten der Versorgungsspannung befindet sich die Variable "Sensor" auf "On" (voreingestellt), d.h. der MPT 200 arbeitet im Normalbetrieb. Zustandsänderungen dieser Variable während des Betriebes werden nur temporär gespeichert. Der Zustand der Variable "Sensor" kann jederzeit geändert werden und bleibt bis zum Abschalten der Versorgungsspannung gespeichert.
  • Seite 13: Umschaltbereiche Wählen

    Betrieb Umschaltbereiche wählen Der Transmitter MPT 200 bietet die Möglichkeit den Umschaltbereich zwischen Pirani- und Kaltkathodensensor an die Anwendung anzupassen. Damit kann verhindert wer- den, dass – bei einer Druckregelung der Sollwert im Umschaltbereich liegt; – im Fall von Beschichtungsanwendungen, die Kaltkathode eingeschaltet ist und durch den Eigensputtereffekt frühzeitig verschmutzt.
  • Seite 14: Datenaustausch Konfigurieren

    Betrieb Datenaustausch konfigurieren Die Kommunikation erfolgt, je nach Stellung des Adresswahlschalters (Adresse 1–16 einstellbar) am Transmitter, über die serielle Schnittstelle RS-485. ● 9600 baud ● 8 Datenbits ● 1 Stoppbit ● keine Parität Parameter Übersicht Name Datentyp Handhabung Filamentwahl 7 - u_short_int lesbar, schreibbar Degas 6 - boolean_new...
  • Seite 15 Gerätenamen lesen [P:349] "CPT 200" "RPT 200" "PPT 200" "HPT 200" "MPT 200" Mit dem Parameter 312 kann die Software Version aus dem angeschlossenen Gerät ge- Softwareversion le- lesen werden: sen [P:312] ● Beispiel: 010102 Der Korrekturfaktor kann auf Werte im Bereich 0,2–8,0 gesetzt werden:...
  • Seite 16: Pfeiffer Vacuum Protokoll Auf "Rs-485

    Betrieb Pfeiffer Vacuum Protokoll auf "RS-485" Der Telegrammrahmen des Pfeiffer Vacuum-Protokolls enthält nur Zeichen im ASCII- Telegrammrahmen Code [32; 127] mit Ausnahme des Telegramm-Ende Zeichens . Grundsätzlich sendet ein Master  (z.B. ein PC) ein Telegramm, welches von einem Slave  (z.B. Antriebse- lektronik oder Transmitter) beantwortet wird.
  • Seite 17: Transmitter Abgleichen

    Betrieb ? ASCII  ASCII Transmitter abgleichen Der Transmitter ist ab Werk eingestellt. Ein Abgleichen des Pirani-Sensors kann bei Ver- schmutzung, anderer Einbaulage, extremen Temperaturschwankungen, Alterung etc. notwendig sein und wird mit einem angeschlossenen Steuergerät, über die PC-Software "DokuStar" oder kundenspezifisch gemäß Kommunikationsanleitung durchgeführt. Ein Pirani-Abgleich im "ur"-Bereich (under range) erfolgt automatisch unter folgenden, gleichzeitig geltenden Bedingungen: –...
  • Seite 18: Wartung

    Wartung Wartung GEFAHR Starkes Magnetfeld im Bereich des Sensorkopfes! Lebensgefahr für Personen mit Herzschrittmachern bei der Demontage der Magnetein- heit.  Für Wartungspersonal mit aktiven Körperhilfen (z. B. Herzschrittmacher) ist die Ein- haltung eines Sicherheitsabstandes, von mindestens 10 cm, zur Magneteinheit des Transmitters erforderlich.
  • Seite 19: Sensorkopf Austauschen

    Entsorgung Sensorkopf austauschen Bei einem Sensordefekt oder wenn der Transmitter nach einer Reinigung nicht abgegli- chen werden kann, muss die Sensorbaugruppe 5 ausgetauscht werden. Abb. 8: Sensorbaugruppe austauschen  Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Demontage  Spannungsversorgung am Steuergerät/Netzteil ausschalten bzw. Geräte vom Netz trennen.
  • Seite 20: Störungen

    Störungen Störungen Störungsbehebung Fehler Mögliche Ursache Behebung Kommunikationsfehler: Trans- ● Keine Versorgungsspannung  Datenkabel oder Netzteil an- schließen. ● Falsche Adresse eingestellt mitter  Adresswahlschalter korrekt ● Transmitter defekt einstellen.  Transmitter austauschen Im Hochvakuum wird dauerhaft ● Abgleich erforderlich ...
  • Seite 21: Service

     Gerät möglichst in der Originalverpackung versenden. Bei Fehlen bzw. Unvollständigkeit der Erklärung zur Kontaminierung und/oder dem Ein- satz einer nicht geeigneten Transportverpackung, behält es sich Pfeiffer Vacuum vor, eine kostenpflichtige Dekontamination durchzuführen und/oder das Produkt zu Lasten des Versenders wieder zurück zu schicken.
  • Seite 22: Zubehör

    USB RS-485 Konverter PM 061 207 -T Software DokuStar Plus, 16 Kanäle PT 882 501 PV TurboControl - Software für Pfeiffer Vacuum Produkte mit PV Protokoll PM 061 741 Zentrierring mit Schutzfilter, FPM/Edelstahl, DN 25 ISO-KF PF 117 225 -T...
  • Seite 23: Technische Daten Und Maßbilder

    1000 Torr 1,33 1,33 · 10 133,32 1,33 0,133 mm Hg 1 Pa = 1 N/m 13.2 Technische Daten Parameter MPT 200 MPT 200 MPT 200 Nennweite DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Schutzart IP54 IP54 IP54 Ausheiztemperatur max.
  • Seite 24: Maße

    Technische Daten und Maßbilder 13.3 Maße Ø 53 Ø 40 Abb. 9: MPT 200, DN 25 ISO-KF Ø 55 Abb. 10: MPT 200, DN 40 ISO-KF...
  • Seite 25 Technische Daten und Maßbilder Ø 70 Abb. 11: MPT 200, DN 40 CF-F...
  • Seite 26: Gas-Korrekturfaktor

    Technische Daten und Maßbilder 13.4 Gas-Korrekturfaktor 1E-1 1E-2 1E-3 1E-4 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 tatsächlicher Druck (hPa) Abb. 12: Messkurve MPT 200 (Pirani) Korrekturfaktor Pirani: Korrekturfaktor Kaltkathode: 1,00 5,93 Luft 1,00 2,39 0,58 0,80 1,02 0,74 1,59 0,32 0,89 3,50...
  • Seite 27: Konformitätserklärung

    Hiermit erklären wir, dass das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen folgender EG-Richtlinien entspricht: ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU ● Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU DigiLine MPT 200 Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen: EN 61326-1: 2013 Group 1 / Class B EN 50581: 2012 Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Seite 28: Kompetenz In Theorie Und Praxis

    VAKUUMLÖSUNGEN AUS EINER HAND Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. KOMPLETTES PRODUKTSORTIMENT Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

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