Endress+Hauser Memobase Plus CYZ71D Betriebsanleitung Seite 101

Memobase Plus CYZ71D Funktionsprinzipien
19.1.3 ISFET Sensoren
Im Gegensatz zu Glaselektroden verwenden ISFET-Sensoren einen pH-sensitiven Halbleiter zur
Ermittlung des pH-Wertes.
Ionenselektive Feldeffekttransistoren beruhen auf einer MOS-Transistoranordnung. Dabei ist
das Gate durch eine für Protonen ionenselektive Schicht aus Tantalpentoxid ersetzt. Die elekt-
+
rostatisch gebundenen H -Ionen erzeugen eine positive Aufladung des Gates, die spiegelbildlich
negative Ladungen im Halbleiter induziert. Dadurch wird der Halbleiter leitfähig und der
gemessene Strom zwischen Source und Drain ist proportional zur Menge an Protonen und somit
zum pH-Wert.
Abb. 18: Aufbau von ISFET-Sensor
Allerdings wirkt jede Art von Ladung auf das Gate ( z.B. auch statische Aufladung ). Ebenso wür-
den Temperatur, Drift und Lichteinfluss das Ergebnis beeinflussen. Daher wird auch hier eine
Referenzelektrode verwendet, um derartige Einflüsse zu kompensieren.
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