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Technische Daten und Maßbilder
13.4 Gas-Korrekturfaktor
26
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-4
1E-4
1E-3
Abb. 12: Messkurve MPT 200 (Pirani)
Korrekturfaktor Pirani:
N
1,00
2
Luft 1,00
H
0,58
2
He
1,02
Ar
1,59
CO
0,89
2
CF
0,93
4
Relative Empfindlichkeit im molekularen Bereich <1 · 10
1E-2
1E-1
1E0
tatsächlicher Druck (hPa)
Korrekturfaktor Kaltkathode:
He
5,93
H
2,39
2
Ar
0,80
CO
0,74
2
C
H
0,32
3
8
Ne
3,50
Kr
0,60
Xe
0,41
R
0,28
12
CF
0,44
4
-1
mbar
H2
He
N2
Ar
Kr
1E1
1E2
1E3
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