Gas-Korrekturfaktor - Pfeiffer Vacuum MPT 100 Betriebsanleitung

10.3 Gas-Korrekturfaktor

1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-4
1E-4 1E-3
Abb. 10: Messkurve MPT 100 (Pirani)
Korrekturfaktor Pirani:
N 1,00
2
Luft 1,00
H 0,58
2
He 1,02
Ar 1,59
CO 0,89
2
CF 0,93
4
Relative Empfindlichkeit im molekularen Bereich (1 · 10
Technische Daten und Maßbilder
1E-2 1E-1 1E0
tatsächlicher Druck (mbar)
Korrekturfaktor Kaltkathode:
He 5,93
H 2,39
2
Ar 0,80
CO 0,74
2
C H 0,32
3 8
Ne 3,50
Kr 0,60
Xe 0,41
R 0,28
12
CF 0,44
4
-1
mbar)
H2
He
N2
Ar
Kr
1E1 1E2 1E3
21