Gas-Korrekturfaktor - Pfeiffer Vacuum HPT 200 Betriebsanleitung

145

13.4 Gas-Korrekturfaktor

66
Abb. 11: HPT 200, DN 40 CF-F
1E3
1E2
1E1
1E0
1E-1
1E-2
1E-3
1E-4
1E-4 1E-3
Abb. 12: Messkurve HPT 200 (Pirani) bei Verwendung nachstehender Korrekturfaktoren
Technische Daten und Maßbilder
45
1E-2 1E-1 1E0
tatsächlicher Druck (hPa)
Ø 70
H2
He
N2
Ar
Kr
1E1 1E2 1E3
23