Gas-Korrekturfaktor - Pfeiffer Vacuum TPR 270 Betriebsanleitung

11.5 Gas-Korrekturfaktor

Bei Gasgemischen und Dämpfen ist eine genaue Druckerfassung nur mit einem Partial-
druckmessgerät, z.B. Quadrupul-Massenspektrometer, möglich.
2
10
8
6
4
2
1
10
8
6
4
2
0
10
8
6
4
2
10 –1
8
6
4
2
H O
2
10 –2
8
6
4
2
10 –3
–3 –2
10 10
2 4 6 2
Abb. 9: Messkurve TPR 270, TPR 271 (Pirani)
He 1,00 Korrekturfaktor K für den linearen Bereich:
Ne 1,40
p = K x angezeigter Druck
eff
Ar 1,60
Kr 2,40
N 1,00
2
Luft 1,00
H 0,57
2
CO 1,0
CO 0,89
2
Tab. 2: Korrekturfaktoren für den Druckbereich < 1 hPa
–1 0
10 10
4 6 2 4 6 2
Technische Daten und Maßbilder
H He Ne
2
Luft / Air
O
2
CO
N
2
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
1 2
10 10
4 6 2 4 6
p
[hPa]
eff
19