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MicroSpotMonitor MSM+
Aus der folgenden Formel folgt, dass die Sensorfläche mindestens um den Faktor 5 größer sein muss als der
zu erwartende Fokusdurchmesser.
ω
= ω
(1.3)
σ(z)
a0
Ist das passende Messobjektiv gewählt, erkennt das Gerät über eine elektronische Codierung an der Halte‑
rung des Messobjektivs das montierte Messobjektiv und passt die zur Verfügung stehenden Messfenster an.
Wäre beispielsweise die maximale quadratische Messfenstergröße bei einer 1:1 Abbildung auf dem CCD‑
Sensor 4 mm x 4 mm so ist sie bei einer 10:1 Vergrößerung auf 0,4 mm x 0,4 mm reduziert.
Mit einer Ausrichthilfe (siehe Kapitel 8.3.1 auf Seite 23) lässt sich die Eintrittsapertur des Geräts zur opti‑
schen Achse des Laserstrahls leicht in einem Bereich von 2 mm x 2 mm manuell ausrichten. Der Verfahrweg
der integrierten x‑Achse/y‑Achse von 2 mm ermöglicht die exakte Positionierung des Laserstrahls auf dem
CCD‑Sensor.
Pixel
Messobjektiv
2 mm
10:1
Vergrößerung 1:10
2 mm
CCD‑Sensorfläche
5,58 mm = 1360 Pixel
Abb. 19.4:
Schematische Abbildung einer Messebene auf den CCD‑Sensor
Abb. 19.4 zeigt schematisch die Abbildung einer Messebene auf den CCD‑Sensor. Das Gitternetz links deu‑
tet den Messbereich an, der mit Hilfe der integrierten x‑Achse/y‑Achse vermessen werden kann. Dies kann
auch automatisch erfolgen.
Im Messbereich kann man ein Messfenster (Größe abhängig von dem Messobjektiv) frei positionieren. Rechts
ist die CCD‑Sensorfläche dargestellt. Das Messfenster, welches in der Objektebene eine Kantenlänge von
0,4 mm hatte, wird in 10‑facher Vergrößerung auf dem CCD‑Sensor abgebildet.
Gleichung (1.1) zeigt, dass je weiter der Fokus vom dem Messobjektiv entfernt liegt (a
), desto kürzer
fokus
wird er hinter dem Messobjektiv abgebildet (a´
). Daher ist es erforderlich, den Strahlfokus innerhalb eines
fokus
zulässigen Bereichs auf der z‑Achse auszurichten. Ausführliche Informationen dazu finden Sie in dem Kapitel
Kapitel 8.3, „Gerät manuell ausrichten", auf Seite 23.
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Revision 01 DE – 03/2021
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