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INFICON Pernicka 700H CHLD Originalbetriebsanleitung
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INFICON Pernicka 700H CHLD Originalbetriebsanleitung

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Original-Betriebsanleitung
Pernicka 700H CHLD
Dichtheitsprüfgerät
Katalognummern
550-700, 550-701
Ab Software-Version
7.01.04
jin76ade1-04-(1911)
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Verwandte Anleitungen für INFICON Pernicka 700H CHLD

Inhaltszusammenfassung für INFICON Pernicka 700H CHLD

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung Pernicka 700H CHLD Dichtheitsprüfgerät Katalognummern 550-700, 550-701 Ab Software-Version jin76ade1-04-(1911) 7.01.04...
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    INFICON Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis 1 Über diese Anleitung ............................ 7 1.1 Zielgruppen............................... 7 1.2 Mitgeltende Dokumente.......................... 7 1.3 Warnhinweise ............................ 7 1.4 Begriffsdefinitionen ........................... 9 2 Sicherheit................................ 11 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung...................... 11 2.2 Anforderungen an den Betreiber ...................... 11 2.3 Pflichten des Bedieners .......................... 12 2.4 Gefahren.............................. 13 3 Lieferumfang, Transport, Lagerung ........................ 14 3.1 Gerät und Kompressor auspacken ...................... 16...
  • Seite 4 Inhaltsverzeichnis INFICON 4.3.6.2 Elektrische Daten ....................... 30 4.3.6.3 Physikalische Daten...................... 31 4.3.6.4 Umgebungsbedingungen .................... 31 5 Installation .............................. 32 5.1 Voraussetzungen für die Installation....................... 32 5.2 Aufstellen .............................. 34 5.3 Kompressor anschließen ........................ 36 5.4 Druckluft anschließen .......................... 40 5.5 Spülgas anschließen .......................... 41 5.6 Gerät an das Stromnetz anschließen ..................... 42 5.7 Gerät an ein Auspuffsystem anschließen (optional) ................ 44...
  • Seite 5 INFICON Inhaltsverzeichnis 6.5.3.1 Fenster "Mini" wählen und Messung starten.............. 76 6.5.3.2 Fenster "Measure" wählen und Messung starten .............. 77 6.5.3.3 Grobleck-Test durchführen .................... 79 6.5.3.4 Messprozess nach Grobleck-Test beenden............... 79 6.5.3.5 Feinleck-Test durchführen .................... 79 6.5.3.6 Messprozess nach Grobleck- und Feinleck-Test beenden .......... 81 6.5.4 Informationen zur Messung anzeigen.................. 82 6.5.4.1...
  • Seite 6 Inhaltsverzeichnis INFICON 9 Außerbetriebnahme............................ 108 9.1 Deinstallation ............................ 108 9.1.1 Gerät vom Stromnetz trennen.................... 108 9.1.2 Spülgas trennen........................ 109 9.1.3 Druckluft trennen........................ 110 9.1.4 Kompressor abklemmen ...................... 111 9.2 Gerät einsenden ........................... 114 9.3 Gerät entsorgen............................ 116 10 Zubehör und Ersatzteile .......................... 117 10.1 Zubehör .............................. 117 10.2 Ersatzteile ............................. 117...

  • Seite 7: Über Diese Anleitung

    INFICON Über diese Anleitung | 1 1 Über diese Anleitung Dieses Dokument gilt für die auf der Titelseite angegebene Softwareversion. Im Dokument werden unter Umständen Produktnamen erwähnt, die lediglich zu Identifizierungszwecken angegeben werden und Eigentum der entsprechenden Rechteinhaber sind. 1.1 Zielgruppen Diese Betriebsanleitung richtet sich an Betreiber des Geräts, an technisch...
  • Seite 8 1 | Über diese Anleitung INFICON VORSICHT Gefährliche Situation mit leichten Verletzungen als Folge HINWEIS Gefährliche Situation mit Sach- oder Umweltschäden als Folge 8 / 122 Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

  • Seite 9: Begriffsdefinitionen

    INFICON Über diese Anleitung | 1 1.4 Begriffsdefinitionen Verwendung von Gasarten in dem Gerät Das Gerät ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät. Falls Sie statt Helium Formiergas einsetzen, um den darin enthaltenen Wasserstoff nachzuweisen, gelten die Hinweise zu Helium auch für Wasserstoff. Automatische Abstimmung / Masseneinstellung Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale Leckratenanzeige erreicht wird.
  • Seite 10 1 | Über diese Anleitung INFICON Akkumulation Akkumulation bezeichnet eine Phase während des Messablaufs. Aus dem Prüfobjekt austretendes Prüfgas wird im abgeschlossenen Messsystem angesammelt (akkumuliert). Die Änderung der Prüfgasmenge mit der Zeit dient zur Bestimmung der Leckrate. Interner Heliumuntergrund Das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts enthält immer eine Restmenge Helium.

  • Seite 11: Sicherheit

    INFICON Sicherheit | 2 2 Sicherheit 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung Der Pernicka 700H CHLD (Cumulative Helium Leak Detector) ist ein kumulatives Helium-Dichtheitsprüfgerät zur Messung kleinster Leckraten. Fehlanwendungen Vermeiden Sie folgende, nicht bestimmungsgemäße Verwendungen: • Aufstellung des Geräts, so dass Netzschalter/Anschlüsse für Stromversorgung nicht leicht zugänglich sind...

  • Seite 12: Pflichten Des Bedieners

    2 | Sicherheit INFICON Personalqualifikation • Lassen Sie nur eingewiesenes Personal mit und am Gerät arbeiten. Das eingewiesene Personal muss eine Schulung am Gerät erhalten haben. • Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Anleitung und alle mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat.

  • Seite 13: Gefahren

    INFICON Sicherheit | 2 2.4 Gefahren Das Gerät ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut. Dennoch sind bei unsachgemäßer Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Nutzers oder Dritter bzw. Schäden am Gerät und weitere Sachschäden möglich.

  • Seite 14: Lieferumfang, Transport, Lagerung

    Toolkit (Werkzeug) Schutzleiterkabel Elektronik-Box Handgelenkband, hellblau Spiralkabel für Handgelenkband Innensechskantschlüssel, modifiziert, 9/64 Zoll PE-Beutel 100 mm x 150 mm x 0,05 mm PE-Beutel 180 mm x 250 mm x 0,05 mm Transportkiste für Pernicka 700H CHLD Kippsensor Schocksensor Doppeletikett 110 mm x 60 mm Original-Betriebsanleitung Zulieferdokumentation (Siehe Kapitel "Mitgeltende Dokumente") ►...
  • Seite 15 HINWEIS Beschädigung durch Transport Das Gerät und der Kryopumpen-Kompressor können beim Transport beschädigt werden. Die Lieferung besteht aus einer Transportkiste mit dem Pernicka 700H CHLD und einem Karton mit dem Kryopumpen-Kompressor. Die Transportkiste ist mit Kipp- und Schocksensoren gesichert. ► Wenn einer der Indikatoren der Schock- oder Kippsensoren rot ist, gehen Sie wie folgt vor: Verweigern Sie nicht die Annahme der Lieferung.

  • Seite 16: Gerät Und Kompressor Auspacken

    Sehen Sie dazu auch 2 Mitgeltende Dokumente [} 7] 3.1 Gerät und Kompressor auspacken Die Lieferung besteht aus der Transportkiste, die den Pernicka 700H CHLD und einen Karton mit den Komponenten gemäß Lieferumfang enthält, sowie einem Karton mit dem Kryopumpen-Kompressor. Transportkiste mit...

  • Seite 17: Gerät Auspacken

    Entfernen Sie das Verpackungsmaterial aus der Transportkiste. Nehmen Sie den Karton aus der Transportkiste heraus. Öffnen Sie den Karton, entfernen Sie das Verpackungsmaterial und entnehmen Sie die Komponenten. Transportgurt Querbalken Pernicka 700H CHLD Keile mit Schlaufen Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911) 17 / 122...
  • Seite 18 3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung INFICON Lösen Sie die 2 Transportgurte. Um die 2 Keile zu lösen, ziehen Sie an den Schlaufen. Entnehmen Sie den Querbalken aus der Transportkiste. Legen Sie die 2 Keile vor die Transportkiste auf den Fußboden.

  • Seite 19: Kompressor Auspacken

    INFICON Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3 3.1.2 Kompressor auspacken VORSICHT Verletzungsgefahr durch Anheben des schweren Kryopumpen-Kompressors Der Kryopumpen-Kompressor wiegt ca. 68 kg und kann aus der Hand rutschen. ► Heben und transportieren Sie den Kryopumpen-Kompressor nur zu zweit. ► Greifen Sie zum Anheben unter das Bodenblech.

  • Seite 20: Beschreibung

    4 | Beschreibung INFICON 4 Beschreibung 4.1 Funktion Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks in versiegelten Prüfobjekten. Beschreibung des Messprozesses Das Gerät befindet sich vor Beginn des Messprozesses in der Betriebsart "Standby". Die Prüfkammer zur Aufnahme des mit dem Prüfgas, z. B. Helium, gefüllten Prüfobjekts befindet sich mittig vor der Ablage des Geräts.
  • Seite 21 INFICON Beschreibung | 4 und der Messprozess beendet. Unterschreitet das Heliumsignal diesen Schwellenwert, wird das Helium mit der Turbomolekularpumpe aus dem System entfernt und anschließend der Messprozess mit dem Feinleck-Test fortgesetzt. Im Feinleck-Test werden die hauptsächlich aus dem Prüfobjekt austretenden Gase, außer Helium, mit der Kryopumpe abgepumpt.

  • Seite 22: Betriebsarten

    4 | Beschreibung INFICON 4.2 Betriebsarten 4.2.1 Betriebsart Standby Bevor eine Messung gestartet werden kann, muss sich das Gerät in der Betriebsart "Standby" befinden. Das Gerät befindet sich in der Betriebsart "Standby": • wenn der Messprozess regulär nach dem Feinleck-Test beendet wurde;...

  • Seite 23: Aufbau

    INFICON Beschreibung | 4 4.3 Aufbau 4.3.1 Gerät und Kompressor Gerät Bildschirm mit Messprogramm Ablage -Schnittstellen Prüfkammer für Prüfobjekt Ventil- Ventil- gruppen gruppen Gerät Trackball Anschluss für Tastatur kundenseitiges Prüfleck (optional) Kryopumpen-Kompressor Wahlschalter für Netzfrequenz Wahlschalter für Netzspannung Netzschalter Abb. 3: Gerät (oben) und Kryopumpen-Kompressor (unten): Ansicht von vorne...
  • Seite 24 4 | Beschreibung INFICON Gerät PID-Regler WATLOW für Anzeige -Temperaturmessgerät Heizung Kryopumpe für Kryopumpe Massen- spektrometer CHLD-Sensor Ventil für Turbomolekular- Prüfleck pumpe Anschluss Spülgas Turbomolekular- pumpe (verdeckt) Netzschalter Netzanschluss Anschluss Druckluft Vorpumpe Anschluss für Strom- Ölwanne für Anschluss versorgung Kryopumpen-...

  • Seite 25: Bedieneinheit

    INFICON Beschreibung | 4 4.3.2 Bedieneinheit Die Bedieneinheit besteht aus einem Monitor, einer Tastatur und einem Trackball. USB 2.0 Schnittstellen Zum Einstecken eines USB-Speichersticks zum Kopieren bzw. Speichern von Messdaten. Zum Einstecken eines USB-Barcodelesers zum automatischen Erfassen von Informationen der zu messenden Prüfobjekte.
  • Seite 26 4 | Beschreibung INFICON Messergebnisse: numerisch Zum Anzeigen der Messergebnisse als numerische Werte. Meldungsfenster Zum Anzeigen von Statusmeldungen und Informationen. Systemdiagramm Zum Anzeigen von aktuellen Zuständen der einzelnen Komponenten des Geräts während eines Messprozesses. Auswahlmenü Zum Auswählen von Modi mit erweitertem Funktionsumfang.

  • Seite 27: Vakuumanschlüsse

    INFICON Beschreibung | 4 4.3.3 Vakuumanschlüsse 4.3.3.1 Auspuff Das Gerät ist standardmäßig mit einem Auspufffilter an der Vorpumpe ausgestattet. Der Auspufffilter befindet sich an der Vorpumpe im unteren Bereich des Geräts. Durch den Auspufffilter werden die abgedampften Gase aus dem Gerät ausgeleitet.

  • Seite 28: Anschlüsse Für Zubehör Und Steuersignale

    4 | Beschreibung INFICON 4.3.4 Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale Netzkabel für Stromversorgung Kryopumpen-Kompressor Anschluss für Stromversorgung Anschluss Spülgas Kryopumpen-Kompressor Anschluss Anschluss des Anschluss des Druckluft Schutzleiters (PE) Netzkabels für das Gerät Abb. 6: Anschlüsse für Steuersignale und Zubehör HINWEIS Die Elektronik des Geräts kann zerstört werden ►...

  • Seite 29: Filterung Der Messsignale Einstellen

    INFICON Beschreibung | 4 4.3.4.1 Filterung der Messsignale einstellen Die Firma INFICON GmbH empfiehlt, die werkseitigen Einstellungen nicht zu ändern. Abb. 7: Fenster "IO 220" ► Um das Fenster "IO 220" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "IO 220". Im Fenster "IO 220" werden die aktiven digitalen Ein- und Ausgänge dargestellt.

  • Seite 30: Kennzeichnungen Am Gerät

    4 | Beschreibung INFICON 4.3.5 Kennzeichnungen am Gerät Die Kennzeichnungen am Gerät haben folgende Bedeutungen: Betreiben Sie das Gerät nur mit angeschlossenem Schutzleiter (PE). Betreiben Sie das Gerät nur mit angeschlossenem Schutzleiterkabel an der Elektronik-Box. 4.3.6 Technische Daten 4.3.6.1 Mechanische Daten Gerät...

  • Seite 31: Physikalische Daten

    INFICON Beschreibung | 4 4.3.6.3 Physikalische Daten Gerät Kleinste nachweisbare Leckrate für > 4 x 10 mbar l/s Helium Leckrate internes Prüfleck ca. 5 x 10 mbar l/s Pneumatikdruck Ventile 7.5 bar ... 9 bar Druck der Heliumversorgung für den 16.9 bar ...

  • Seite 32: Installation

    5 | Installation INFICON 5 Installation 5.1 Voraussetzungen für die Installation Lesen und beachten Sie die mitgelieferte Dokumentation für den Kompressor "Cryo- Torr Pump Installation, Operation and Maintanance Instructions". Lesen und beachten Sie die technischen Daten. Siehe Original-Betriebsanleitung, Kapitel "Technische Daten [} 30]".
  • Seite 33 Druckluftanschluss: 6 mm-Schlauch ⃞ ⃞ Spülgasversorgung: Argon 5.0 oder besser ⃞ ⃞ Alternative Spülgase sind je nach Applikation zulässig. Setzen Sie sich mit der Firma INFICON GmbH in Verbindung. Druckminderer für Spülgasversorgung: < 50 mbar rel., ⃞ ⃞ 10 l/min. Empfehlung: Verwenden Sie INFICON-Druckminderer, Katalognummer: 551-700S, lieferbar für 4 verschiedene...

  • Seite 34: Aufstellen

    5 | Installation INFICON 5.2 Aufstellen GEFAHR Gesundheitsgefährdung durch Abgase und Dämpfe Abgase und Dämpfe von Pumpen können die Gesundheit schädigen. ► Für Betrieb in schlecht belüfteten Räumen schließen Sie bei Verwendung von gesundheitsgefährdenden Gasen eine Abgasleitung am Abgasanschluss an (siehe "Gerät an ein Auspuffsystem anschließen (optional) [} 44]").
  • Seite 35 Installation | 5 Vermeidung von Messfehlern durch Heliumquellen in der Geräteumgebung Die Heliumkonzentration im Bereich des Pernicka 700H CHLD darf sich nur unwesentlich von der natürlichen Heliumkonzentration von 5 ppm unterscheiden. Die Nachweisgrenze des Pernicka 700H CHLD wird durch höhere Heliumkonzentrationen stark beeinträchtigt.

  • Seite 36: Kompressor Anschließen

    5 | Installation INFICON 5.3 Kompressor anschließen HINWEIS Beschädigung des Kryopumpen-Kompressors durch falsche Einstellungen Eine falsche Einstellung der Netzspannung und Netzfrequenz kann den Kryopumpen- Kompressor beschädigen. Um bei dem Gerät mit der Bestellnummer 550-700 den Kryopumpen-Kompressor richtig einzustellen, stellen Sie am Kryopumpen-Kompressor ein: 208 V, 60 Hz.
  • Seite 37 INFICON Installation | 5 Manometer für Betriebsdruck Netzanschluss für Motor Kryopumpe Helium Anschluss Netzkabel für Anschluss Helium- Return Stromversorgung Helium- Supply Leitung Leitung Kompressor Abb. 8: Anschlüsse am Kryopumpen-Kompressor Helium- Motor Supply Kryopumpe Leitung Helium- Return Netzkabel Leitung für Motor Kryopumpe Abb. 9: Anschlüsse am Gerät...
  • Seite 38 5 | Installation INFICON Helium-Leitungen montieren Die Helium-Leitungen "Supply" und "Return" sind im Auslieferungszustand des Geräts mit Helium gefüllt und stehen unter Druck. Entfernen Sie die Blindflansche von den Anschlüssen der Helium-Leitungen und bewahren Sie die Blindflansche an einem sicheren Ort auf.

  • Seite 39: Schutzleiteranschluss

    INFICON Installation | 5 Schutzleiteranschluss Klemmstelle Klemmstelle Abb. 10: Kompressor: Klemmstellen für den Anschluss des Netzkabels Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911) 39 / 122...

  • Seite 40: Druckluft Anschließen

    5 | Installation INFICON 5.4 Druckluft anschließen Verwenden Sie für die Druckluftversorgung einen Druckluftschlauch aus Polypropylen mit einem Durchmesser von 6 mm. Druckluft-Schnellkupplung Druckluftschlauch Abb. 11: Druckluft anschließen Um die Druckluftversorgung für das Gerät herzustellen, stecken Sie den Druckluftschlauch in die Druckluft-Schnellkupplung des Geräts, bis die Druckluft-Schnellkupplung einrastet.

  • Seite 41: Spülgas Anschließen

    INFICON Installation | 5 5.5 Spülgas anschließen Verwenden Sie als Spülgas ausschließlich Argon 5.0 oder besser. Verwenden Sie für die Spülgasversorgung eine Metallleitung aus Edelstahl oder Kupfer mit einem Durchmesser von 6,35 mm. Die Dichtungselemente Sprengring und Klemmring verbleiben auf der Metallleitung und müssen nicht erneuert werden, solange die gleiche Metallleitung verwendet wird.

  • Seite 42: Gerät An Das Stromnetz Anschließen

    Eine falsche Netzspannung und eine falsche Netzfrequenz kann zur Zerstörung des Geräts und zu Verletzungen von Personen führen. ► Überprüfen Sie, ob die für den Pernicka 700H CHLD sowie für den im Lieferumfang enthaltenen Kryopumpen-Kompressor zulässige Netzspannung und Netzfrequenz mit der am Einsatzort verfügbaren Netzspannung und Netzfrequenz übereinstimmt.
  • Seite 43 INFICON Installation | 5 Stecken Sie das im Lieferumfang enthaltene Netzkabel in den Gerätestecker MAINS CRYO COMPRESSOR und schließen Sie das Netzkabel an die Stromversorgung an. Stecken Sie das im Lieferumfang enthaltene Netzkabel in den Gerätestecker POWER LINE INPUT und schließen Sie das Netzkabel an die Stromversorgung...

  • Seite 44: Gerät An Ein Auspuffsystem Anschließen (Optional)

    5 | Installation INFICON 5.7 Gerät an ein Auspuffsystem anschließen (optional) Um das Gerät auszuschalten, stellen Sie den Netzschalter auf OFF. Trennen Sie das Gerät vom Stromnetz und sichern Sie das Gerät gegen Wiedereinschalten. Schalten Sie die Vorpumpe aus. Halten Sie mit einer Hand den Auspufffilter und lösen Sie die Flügelmutter des Spannrings.

  • Seite 45: Prüfkammer Montieren

    INFICON Installation | 5 5.8 Prüfkammer montieren ► Um die Prüfkammer zu montieren oder zu wechseln, versetzen Sie das Gerät in die Betriebsart "Standby" und schalten Sie anschließend das Gerät aus. Das Gerät befindet sich vor einem gestarteten Messprozess und nach einem beendeten Messprozess in der Betriebsart "Standby".
  • Seite 46 5 | Installation INFICON Entfernen Sie vorsichtig mit der Zange den Kupfer-Dichtring vom Flansch. Um die darunterliegende Dicht-Schneidkante nicht zu beschädigen, heben Sie den Kupfer-Dichtring nur senkrecht nach oben ab. Reinigen Sie die Oberfläche des Flansches mit einem staub- und fusselfreien Tuch.
  • Seite 47 INFICON Installation | 5 1 1 1 1 Abb. 17: Spülgasversorgung zusammenbauen 1 Verstärkungshülsen: Vor dem weiteren Zusammenbau stecken Sie die Verstärkungshülsen in den dazwischenliegenden Wellschlauch. 2 Der O-Ring auf der Verstärkungshülse dichtet beim Einschrauben ab. Um zu verhindern, dass beim Messprozess das Prüfobjekt aus der Prüfkammer gesaugt wird, legen Sie das im Lieferumfang enthaltene Gitter in die Prüfkammer.

  • Seite 48: Betrieb

    6 | Betrieb INFICON 6 Betrieb 6.1 Gerät einschalten HINWEIS Beschädigung des Kryopumpen-Kompressors durch falsche Einstellungen Eine falsche Einstellung der Netzspannung und Netzfrequenz kann den Kryopumpen- Kompressor beschädigen. Um bei dem Gerät mit der Bestellnummer 550-700 den Kryopumpen-Kompressor richtig einzustellen, stellen Sie am Kryopumpen-Kompressor ein: 208 V, 60 Hz.
  • Seite 49 INFICON Betrieb | 6 Falls Sie das Gerät ohne Passwort nicht starten können … Nach einem versehentlichen Schließen der Benutzeranmeldung kann es vorkommen, dass Sie zur Eingabe eines Passworts aufgefordert werden. ► Ändern Sie nicht den eingestellten Standardnutzer und tragen Sie als Passwort “Yes“...

  • Seite 50: Grundlegende Einstellungen

    6 | Betrieb INFICON 6.2 Grundlegende Einstellungen 6.2.1 Messfenster einstellen Zum Bedienen und Konfigurieren des Geräts in der Betriebsart "Messen" können Sie zwischen zwei Fenstern wählen. 6.2.1.1 Fenster "Mini" einstellen ► Um das Fenster "Mini" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Mini".
  • Seite 51 INFICON Betrieb | 6 Taste Beschreibung überschrittenen Schwellenwertes beim Grobleck-Test den Deckel der Prüfkammer zu öffnen, drücken Sie diese Taste. Die Prüfkammer wird für die eingestellte Zeit gespült. ► Um die Regeneration der Kryopumpe zu starten, Regenerate drücken Sie diese Taste. Siehe "Regeneration durchführen [} 88]".

  • Seite 52: Fenster "Measure" Einstellen

    6 | Betrieb INFICON 6.2.1.2 Fenster "Measure" einstellen ► Um das Fenster "Measure" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Measure". Anzeige des linear skalierten Messsignals während der Akkumulationsphase System- diagramm Meldungs- fenster Auswahl- menü Anzeige des logarithmisch skalierten Kathode im...
  • Seite 53 INFICON Betrieb | 6 Taste Beschreibung überschrittenen Schwellenwertes beim Grobleck-Test den Deckel der Prüfkammer zu öffnen, drücken Sie diese Taste. Die Prüfkammer wird für die eingestellte Zeit gespült. ► Um den Messprozess zum Ermitteln der Leckrate zu Leak Test starten, drücken Sie diese Taste. Siehe "Messung vorbereiten [} 73]".

  • Seite 54: Systemdiagramm

    6 | Betrieb INFICON Meldungsfenster Zum Anzeigen von Statusmeldungen im gelb hinterlegten Feld, z. B. "LeakTest done" (Messprozess beendet); der Betriebsart, z. B. "Standby" und des zeitlichen Messverlaufs. Systemdiagramm Zum Anzeigen von aktuellen Systemzuständen und Parametern, z. B. Temperatur, Druck, Leckrate, der Systemkomponenten.
  • Seite 55 INFICON Betrieb | 6 Parameter Beschreibung He-TL Slope Die während der Kalibrierung gemessene Prüfleck- Signalsteigung in der Maßeinheit [A/s]. He-Sample Slope Die durch die Messung des Prüfobjekts ermittelte Helium- Signalsteigung in der Maßeinheit [A/s]. He-BG Slope Die gemessene Heliumuntergrund-Signalsteigung während einer Kalibrierung in der Maßeinheit [A/s].

  • Seite 56: Messprozess Konfigurieren

    Kurven für die Pirani-Sensoren, die Kryotemperatur, die Prüfleck-Temperatur und die Drehzahl der Turbomolekularpumpe. ControlOptions OpMode: Funktion zur internen Verwendung durch die Firma INFICON GmbH. ► Verwenden Sie für die Funktion "OpMode" ausschließlich den Wert "Real Unit". Auto-Relight: Zum automatischen Einschalten der Kathode im CHLD-Sensor bei Erreichen der Zieltemperatur der Kryopumpe.
  • Seite 57 INFICON Betrieb | 6 TipStrip: Zum Anzeigen eines Informationstextes, wenn der Mauszeiger einige Zeit auf ein Bedienelement, z. B. Taste zeigt, für welches ein entsprechender Informationstext programmiert wurde. Helium-Prüfleck Zum Einstellen der Parameter des Helium-Prüflecks. ► Nach einem gewechselten Helium-Prüfleck stellen Sie die standardmäßigen Parameter gemäß...
  • Seite 58 6 | Betrieb INFICON Short regen after Gross Leak Kurzzeitiges Aufheizen der Kryopumpe nach einem Grobleck-Test, um Helium aus der Kryopumpe zu entfernen. Diese Funktion ist standardmäßig eingeschaltet. Nach einem Grobleck-Test befinden sich Helium-Atome zwischen den Spülgas- Atomen auf der Oberfläche der Kryopumpe. Um erhöhte Leckraten bei Folgemessungen durch diesen Heliumanteil zu vermeiden, wird die Kryopumpe, allerdings nur wenn während des Grobleck-Tests ein Grobleck festgestellt wurde,...

  • Seite 59: Methode Wählen

    INFICON Betrieb | 6 6.3 Methode wählen Die für eine Messung der Leckrate erforderlichen Einstellungen und Konfigurationen werden im Methoden-Editor in einer sogenannten Methode zusammengefasst. Weisen Sie vor Beginn jeder Einzel- oder Serienmessung eine entsprechende Methode zu. Sie können voreingestellte Methoden verwenden oder neue Methoden selbst erstellen.

  • Seite 60: Neue Methode Erstellen

    6 | Betrieb INFICON Wenn Sie eine Methode gewählt haben, wird automatisch dieser Methode ein Rezept zugeordnet. Sie haben die Möglichkeit, Ihrer gewählten Methode ein anderes Rezept (siehe Vorhandenes Rezept wählen [} 63]") oder ein neu zu erstellendes Rezept (siehe Neues Rezept erstellen [} 64]") zuzuordnen.
  • Seite 61 INFICON Betrieb | 6 Taste Beschreibung ► Um eine neue Methode zu erstellen, drücken Sie diese Taste. delete ► Um eine Methode zu löschen, drücken Sie diese Taste. ► Um Messungen gemäß einer bestehenden oder einer Use Method neu erstellten Methode durchzuführen, drücken Sie diese Taste.
  • Seite 62 6 | Betrieb INFICON Parameter Beschreibung SEM Target window +/- Parameter im Zusammenhang mit dem SEM-Verstärker des CHLD-Sensors. ► Verändern Sie nicht die Voreinstellung. Wenn Sie eine neue Methode erstellt haben, wird automatisch dieser Methode ein Rezept zugeordnet. Sie haben die Möglichkeit, Ihrer gewählten Methode ein anderes Rezept (siehe Vorhandenes Rezept wählen [} 63]") oder ein neu zu erstellendes...

  • Seite 63: Vorhandenes Rezept Wählen

    INFICON Betrieb | 6 6.3.3 Vorhandenes Rezept wählen Mit einem Rezept definieren Sie, welche Massen (= Gase) mit welchen Messeinstellungen gemessen werden. Measure > Recipe > Load & Run. Abb. 25: Fenster "Rezept-Editor": Vorhandenes Rezept wählen Drücken Sie die Taste "Open".

  • Seite 64: Neues Rezept Erstellen

    6 | Betrieb INFICON 6.3.4 Neues Rezept erstellen Mit einem Rezept definieren Sie, welche Massen (= Gase) mit welchen Messeinstellungen gemessen werden. Measure > Recipe > Load & Run. Abb. 27: Fenster "Rezept-Editor: Neues Rezept erstellen Drücken Sie die Taste "New".
  • Seite 65 INFICON Betrieb | 6 Parameter Beschreibung Channel Nummer des Parametersatzes. Chan Mode Verwalten der Parametersätze. Um den Parametersatz für das zu messende Gas zu erstellen und den Parametersatz in einer Methode zu verwenden, wählen Sie "enable". Um den Parametersatz für das zu messende Gas zu erstellen, ohne den Parametersatz in einer Methode zu verwenden, wählen Sie "skip".
  • Seite 66 6 | Betrieb INFICON Parameter Beschreibung Amp Range Bereich des Vorverstärkers. Pause Cal Einschwingzeit nach dem Wechsel der Masse. ► Verwenden Sie die Voreinstellung "0.50". Verwendeter Vorverstärker ► Verwenden Sie die Voreinstellung "0". 66 / 122 Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

  • Seite 67: Schwellenwert Für Grobleck-Test Einstellen

    INFICON Betrieb | 6 6.3.5 Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen Mit dem Schwellenwert für den Grobleck-Test definieren Sie die obere Grenze für den Grobleck-Test. Unterhalb dieses Schwellenwertes haben die zu messenden Prüfobjekte definitionsgemäß keine Groblecks. Der einzustellende Schwellenwert bezieht sich auf das Helium-Rohsignal in der Maßeinheit [A].
  • Seite 68 6 | Betrieb INFICON ð Im Anschluss an die Messungen wird im Reiter "Locals" in der Spalte "Gross leak amplitude" der jeweils während der Grobleckmessung bestimmte Wert dargestellt. Bewerten Sie Mittelwert und Streuung. Legen Sie einen Grenzwert fest, bei dem die natürliche Messwertstreuung gerade nicht mehr zu einer zufälligen Überschreitung der Grobleckschwelle...

  • Seite 69: Single- Oder Multi-Gas Wählen

    INFICON Betrieb | 6 6.3.6 Single- oder Multi-Gas wählen GEFAHR Gefahr einer Wasserstoffexplosion Wasserstoff ist ein brennbares und explosives Gas. ► Verwenden Sie nur Prüfgasmischungen mit einer Wasserstoffkonzentration, die in Kombination mit Sauerstoff oder Luft nicht entflammbar ist oder explodieren kann.

  • Seite 70: Multi-Gas Wählen

    6 | Betrieb INFICON 6.3.6.2 Multi-Gas wählen Mini > Method > Load & Run oder Measure > Method > Load & Run. Wählen Sie im Methoden-Editor die Methode mit der gewünschten Multi-Gas- Einstellung. Siehe "Methode wählen [} 59]". Drücken Sie die Taste "Use Method".

  • Seite 71: Kalibrieren

    INFICON Betrieb | 6 6.4 Kalibrieren Mit einer Kalibrierung prüfen Sie, ob das Dichtheitsprüfgerät korrekt eingestellt ist und Leckraten korrekt gemessen werden. Dabei wird das Verhältnis zwischen Signal und Rauschen bestimmt (Signal-Rauschabstand). Für eine ordnungsgemäße Dichtheitsprüfung ist regelmäßiges Kalibrieren zwingend notwendig.

  • Seite 72: Externes Prüfleck Anschließen

    6 | Betrieb INFICON 6.4.2 Externes Prüfleck anschließen Sie haben die Möglichkeit, ein externes Prüfleck am Gerät anzuschließen. Mit dem externen Prüfleck können Sie keine Kalibrierung des Geräts durchführen. Eine Kalibrierung des Geräts können Sie nur mit dem internen Prüfleck durchführen.

  • Seite 73: Messen

    INFICON Betrieb | 6 6.5 Messen 6.5.1 Messung vorbereiten HINWEIS Sachschaden durch unsachgemäßes Befüllen der Prüfkammer Falls die Prüfkammer ohne eingelegtes Gitter betrieben wird, können Prüfobjekte aus der Prüfkammer in das Gerät eingesaugt werden und Schäden am Gerät hervorrufen. ► Um Messungen durchzuführen, legen Sie das im Lieferumfang der Prüfkammer enthaltene Gitter in die Prüfkammer.
  • Seite 74 6 | Betrieb INFICON Stellen Sie sicher, dass die richtigen Grundeinstellungen und die Einstellungen für die aktuelle Messung getätigt wurden. Siehe "Grundlegende Einstellungen [} 50]". Stellen Sie sicher, dass die gewünschte Methode eingestellt ist, siehe "Methode wählen [} 59]". Stellen Sie den Schwellenwert für die Grobleck-Messung ein, siehe "Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]".

  • Seite 75: Manuelles Starten Vorbereiten

    INFICON Betrieb | 6 6.5.2 Manuelles Starten vorbereiten Sie können den Messprozess bei gestecktem Rundsteckverbinder manuell starten. ► Das Gerät ist ab Werk für das manuelle Starten des Messprozesses vorbereitet. Um den Messprozess manuell zu starten, können Sie in den Fenstern "Mini" oder "Measure"...

  • Seite 76: Messung Starten Und Durchführen

    6 | Betrieb INFICON 6.5.3 Messung starten und durchführen Um den Messprozess zu starten (nur wenn das Gerät für das manuelle Starten vorbereitet ist), die Messung zu verfolgen und die Ergebnisse zu betrachten, können Sie zwischen zwei Messfenstern wählen. • Um die Messung mit dem Fenster "Mini" zu starten und durchzuführen, siehe "Fenster "Mini"...

  • Seite 77: Fenster "Measure" Wählen Und Messung Starten

    INFICON Betrieb | 6 6.5.3.2 Fenster "Measure" wählen und Messung starten Das Fenster "Measure" bietet neben den standardmäßigen Einstellungen zusätzliche Möglichkeiten, den Messprozess zu konfigurieren. Gleichzeitig werden im Systemdiagramm die aktuellen Zustände der einzelnen Komponenten des Geräts während der Messung dargestellt. Dieses Fenster ist für entsprechend geschultes Bedienpersonal sowie zusätzlich für Wartungs- und Servicepersonal geeignet sowie...
  • Seite 78 6 | Betrieb INFICON Informationen Abb. 34: Fenster "Eingabe" Tragen Sie Ihre gewünschten Informationen ein. Optional können Sie mit einem Barcodeleser die gewünschten Informationen der Prüfobjekte erfassen. Um den Messprozess zu starten, drücken Sie die Taste "Proceed". Verfolgen Sie den Messprozess anhand des Fortschrittbalkens.

  • Seite 79: Grobleck-Test Durchführen

    INFICON Betrieb | 6 6.5.3.3 Grobleck-Test durchführen Der Grobleck-Test wird automatisch durchgeführt. Als Abbruchkriterium für diesen Messvorgang dient der zuvor eingestellte Schwellenwert (siehe "Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]"). Unterschreitet das Heliumsignal diesen Schwellenwert, wird der Messvorgang korrekt beendet und der Messprozess wird mit dem Feinleck-Test fortgesetzt (siehe "Feinleck-Test durchführen [} 79]").
  • Seite 80 6 | Betrieb INFICON Abb. 36: Darstellung der Messergebnisse im Fenster "Measure" Die gemessene Leckrate wird in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s] im Fenster "Measure" in einem Zeigerdiagramm dargestellt. Das akkumulativ gemessene Signal wird grafisch im linken oberen Fenster dargestellt. Im linken unteren Fenster werden für den Messprozess für alle Messvorgänge die Messsignale des CHLD-Sensors...

  • Seite 81: Messprozess Nach Grobleck- Und Feinleck-Test Beenden

    INFICON Betrieb | 6 6.5.3.6 Messprozess nach Grobleck- und Feinleck-Test beenden Im Fenster "Configuration" kann definiert werden, ob nach dem Ende einer Messung das Fenster "Print Report" geöffnet werden soll oder nicht. Abb. 37: Fenster "Print Report" Um den Inhalt des Fensters "Print Report" zu drucken, drücken Sie die Taste "Print".

  • Seite 82: Informationen Zur Messung Anzeigen

    6 | Betrieb INFICON 6.5.4 Informationen zur Messung anzeigen 6.5.4.1 Zustandszeitdiagramme anzeigen ► Um das Fenster "MixedData" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "MixedData". Abb. 38: Fenster "MixedData" Im Fenster "MixedData" wird eine Übersicht der zeitlichen Abläufe aller Signale während eines Messprozesses erzeugt.

  • Seite 83: Aktuelle Einstellungen Anzeigen

    INFICON Betrieb | 6 Im Fenster "MS-Panel" werden die gemessenen Daten während eines Messprozesses angezeigt. Dokumentiert sind die entsprechenden 10 Messwerte, die während einer Akkumulationsphase für die unterschiedlichen Massen aufgenommen wurden. 6.5.4.3 Aktuelle Einstellungen anzeigen ► Um das Fenster "System" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "System".

  • Seite 84: Allgemeine Informationen Anzeigen

    6 | Betrieb INFICON 6.5.4.4 Allgemeine Informationen anzeigen ► Um das Fenster "Locals" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Locals". Abb. 41: Fenster "Locals" Im Fenster "Locals" werden Pfadangaben und allgemeine Informationen angezeigt, z. B. die Seriennummer des Geräts und die Software-Version.

  • Seite 85: Messdaten

    INFICON Betrieb | 6 6.6 Messdaten Die Messdaten werden in einer Liste aufgezeichnet. Abb. 43: Fenster "LeakTable" Taste Beschreibung Clear Table ► Um alle Messdaten in der Tabelle zu löschen, drücken Sie diese Taste. Export Table ► Um alle Messdaten im vorinstallierten OpenOffice zu öffnen, drücken Sie diese Taste.

  • Seite 86: Massenspektrum Bestimmen

    6 | Betrieb INFICON 6.7 Massenspektrum bestimmen Im Modus "Scan" haben Sie die Möglichkeit, mit dem CHLD-Sensor alle im System des Geräts vorhandenen Massen zu messen und als Massenspektrum im Fenster "Measure" darzustellen. Mit dieser Messung können Sie feststellen, welche Gase sich im System des Geräts befinden.
  • Seite 87 INFICON Betrieb | 6 Abb. 45: Fenster "Measure" mit ermitteltem Massenspektrum ► Um die Messung zu beenden, drücken Sie die rote Taste STOP. Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911) 87 / 122...

  • Seite 88: Regeneration Durchführen

    6 | Betrieb INFICON 6.8 Regeneration durchführen Täglich, vor dem Ausschalten des Geräts und hauptsächlich nach einer Vielzahl von nacheinander durchgeführten Messungen müssen die in der Kryopumpe eingefrorenen Gase abgedampft und aus dem System entfernt werden. ► Führen Sie die Regeneration der Kryopumpe täglich durch.
  • Seite 89 INFICON Betrieb | 6 Um die Regeneration zur eingestellten Startzeit zu starten, drücken Sie die Taste "OK". ð Das Messprogramm wechselt automatisch zum Fenster "Regeneration Kryopumpe". Abb. 47: Fenster "Regeneration Kryopumpe" Das Fenster "Regeneration Kryopumpe" gibt Ihnen einen detaillierten Überblick über den zeitlichen Verlauf der Regeneration.

  • Seite 90: Gerät Ausschalten

    6 | Betrieb INFICON 6.9 Gerät ausschalten HINWEIS Beschädigung der Kryopumpe Wenn sich in der Kryopumpe eingefrorene Gase befinden und das Gerät wird ausgeschaltet, dampfen die Gase ab und können durch den ansteigenden Druck die Berstscheibe an der Kryopumpe zum Bersten bringen.

  • Seite 91: Warn- Und Fehlermeldungen

    INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 7 Warn- und Fehlermeldungen Während des Betriebs zeigt die Anzeige Informationen an, die Sie bei der Bedienung des Geräts unterstützen. Neben Messwerten werden aktuelle Gerätezustände, Bedienungshinweise sowie Warnungen und Fehlermeldungen angezeigt. Das Gerät ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunktionen ausgestattet. Wenn von der Elektronik ein fehlerhafter Zustand erkannt wird, zeigt das Gerät dies so weit wie...
  • Seite 92 CHLD-Sensor. Siehe " Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln Lüfter im CHLD- [} 99]". Sensor defekt. Wechseln Sie den Lüfter im RF-Generator im CHLD-Sensor. Setzen Sie sich CHLD-Sensor falsch mit dem INFICON-Service in abgeglichen. Verbindung. Fehlermeldungen Meldung Mögliche Ursachen Beseitigung External protection HV-Druck ist zu hoch.
  • Seite 93 Woche neu. Turning on the emission SEM-Verstärker Setzen Sie sich mit dem and SEM FAILED and verschmutzt oder INFICON-Service in Verbindung. was aborted! defekt. FAILURE: Emission and HV-Druck ist zu hoch. Warten Sie, bis der Druck klein SEM are OFF! genug ist, um den SEM- Verstärker einzuschalten.
  • Seite 94 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Situation Mögliche Ursachen Beseitigung Zischendes oder Der Druck der Überprüfen Sie, ob der Druck der stotterndes Geräusch Druckluftversorgung ist Druckluftversorgung kleiner als von der Geräte- größer als die ab Werk 9 (Konsistenz!) bar ist. Senken Rückseite.

  • Seite 95: Reinigung Und Wartung

    Diese Wartungsarbeiten werden in dieser "Original- Betriebsanleitung Pernicka 700H CHLD" beschrieben. Wartungsarbeiten der Servicestufe II und III am Pernicka 700H CHLD dürfen nur von autorisierten INFICON-Servicetechnikern oder von Personen ausgeführt werden, die von der INFICON GmbH Köln dazu autorisiert wurden. Diese Wartungsarbeiten werden in der "Service-Dokumentation Pernicka 700H CHLD"...

  • Seite 96: Wartung Des Geräts

    8 | Reinigung und Wartung INFICON 8.2 Wartung des Geräts 8.2.1 O-Ringe der Prüfkammer wechseln Führen Sie die Wartungstätigkeiten gemäß des Wartungsplans durch, siehe "Wartungsplan [} 107]". Um Fettablagerungen auf dem Gerät zu verindern, benutzen Sie während der Arbeiten puderfreie Neopren- oder Nitril-Einmalhandschuhe.

  • Seite 97: Wartung Des Chld-Sensors

    Führen Sie an der Elektronikeinheit QME 220 eine akustische Kontrolle der Lüfterfunktion durch. Wenn Sie keine Lüftergeräusche wahrnehmen, wechseln Sie den Lüfter. Setzen Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung. Wenn Sie Lüftergeräusche wahrnehmen, kontrollieren Sie die Filtermatte. Siehe "Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln [} 99]".
  • Seite 98 Umgebungstemperatur liegt, führen Sie an der Elektronikeinheit QME 220 eine akustische Kontrolle der Lüfterfunktion durch. Wenn Sie keine Lüftergeräusche wahrnehmen, wechseln Sie den Lüfter. Setzen Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung. Wenn Sie Lüftergeräusche wahrnehmen, kontrollieren Sie die Filtermatte. Siehe " Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln [} 99]".

  • Seite 99: Filtermatte Kontrollieren Bzw. Wechseln

    INFICON Reinigung und Wartung | 8 8.3.2 Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln Führen Sie die Wartungstätigkeiten gemäß des Wartungsplans und der mitgelieferten technischen Dokumentation des Herstellers durch. Siehe "Operation Manual CHLD Sensor QME 220". Die Filtermatte dient zur Staubfilterung der Kühlluft. Um eine ausreichende Kühlung der Elektronikbauteile im CHLD-Sensor zu gewährleisten, reinigen Sie die Filtermatte...
  • Seite 100 8 | Reinigung und Wartung INFICON Nehmen Sie vorsichtig die Elektronikeinheit QME 220 vom Analysator QMA 220 Platzieren Sie die Elektronikeinheit QME 220 auf einer geeigneten Unterlage, dass Sie komfortabel an der Frontplatte arbeiten können. Analysator QMA 220 Schraube (verdeckt) Schraube...
  • Seite 101 INFICON Reinigung und Wartung | 8 Schraube Schraube Torx Torx T10 Schraube Torx T10 Abb. 53: CHLD-Sensor: Modul IO 220 entfernen Um die Filterhalterabdeckung auf der Rückseite des CHLD-Sensors zu entfernen, lösen Sie die Schraube. Nehmen Sie die Filtermatte aus der Filterhalterabdeckung.
  • Seite 102 8 | Reinigung und Wartung INFICON Montieren Sie das Modul IO 220 mit den 3 Schrauben. Elektronikeinheit QME 220 an den Analysator QMA 220 montieren Lösen Sie die beiden Schrauben am schwarzen Kunststoffteil des QME 220 mit einem Innensechskantschlüssel (SW 4) soweit, dass der bewegliche Teil 2 mm …...

  • Seite 103: Wartung Des Internen Prüflecks

    Keine Benötigte Werkzeuge Setzen Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung Bauen Sie das Prüfleck aus. Setzen Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung. Schicken Sie das ausgebaute Prüfleck an den Hersteller zur Rekalibrierung. Bauen Sie das vom Hersteller rekalibrierte Prüfleck in das Gerät ein. Setzen Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung.

  • Seite 104: Wartung Der Vorpumpe

    8 | Reinigung und Wartung INFICON 8.5 Wartung der Vorpumpe 8.5.1 Ölstand kontrollieren Führen Sie die Wartungstätigkeiten gemäß des Wartungsplans (siehe "Wartungsplan [} 107]") und der mitgelieferten technischen Dokumentation des Herstellers durch. Siehe "Operating Instructions GA01601_002_A1". Benötigte Ersatzteile Keine Benötigte Werkzeuge Keine Der Ölstand der Vorpumpe muss im Betrieb immer innerhalb der Markierungen...

  • Seite 105: Chld-Sensor Einstellen

    Taste Beschreibung idle Anzeige des Fensters "Tools" (siehe Abbildung oben). About Anzeige der Software-Versionsnummer und INFICON- Adresseninformationen. ► Um z. B. zwischen den Heizdrähten 1 und 2 im CHLD- TuneUp Sensor umzuschalten, drücken Sie diese Taste. Siehe "Kathode im CHLD-Sensor wählen [} 106]".

  • Seite 106: Kathode Im Chld-Sensor Wählen

    8 | Reinigung und Wartung INFICON Taste Beschreibung EXIT ► Um den laufenden Prozess abzubrechen, drücken Sie diese Taste. EXIT Tools ► Um das Fenster "Tools" zu schließen, drücken Sie diese Taste. WatchDog LED Optische Anzeige zur Überwachung von Systemkomponenten des Geräts.

  • Seite 107: Wartungsplan

    INFICON Reinigung und Wartung | 8 8.7 Wartungsplan Unabhängig von den beschriebenen Wartungszyklen ist ein Ersatz abhängig von Verschmutzung und Verschleiß. 8.7.1 Wartungstabelle Wartungszyklus Personal Weiterführende Informationen 4000 h Kunde 8.3.2 Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln 8000 h Kunde 8.2.1 O-Ringe der Prüfkammer wechseln 8.3.1...

  • Seite 108: Außerbetriebnahme

    9 | Außerbetriebnahme INFICON 9 Außerbetriebnahme 9.1 Deinstallation ü Das Gerät befindet sich in der Betriebsart "Standby". ü Die Regeneration der Kryopumpe ist durchgeführt. Siehe "Regeneration durchführen [} 88]". ü Das Gerät ist ausgeschaltet. Siehe "Gerät ausschalten [} 90]". ► Trennen Sie das Gerät und den Kompressor der Kryopumpe gemäß den folgenden Kapiteln von der Stromversorgung und von den Betriebsmedien.

  • Seite 109: Spülgas Trennen

    INFICON Außerbetriebnahme | 9 9.1.2 Spülgas trennen Die Dichtungselemente der Quetschverschraubung, Sprengring und Klemmring, sind zum einmaligen Gebrauch bestimmt. ► Verwenden Sie für jede Montage der Metallleitung für die Spülgasversorgung einen neuen Sprengring und einen neuen Klemmring. Quetschverschraubung für Anschluss Spülgas Mutter Abb. 60: Spülgas trennen...

  • Seite 110: Druckluft Trennen

    9 | Außerbetriebnahme INFICON 9.1.3 Druckluft trennen Druckluft-Schnellkupplung Druckluftschlauch Abb. 61: Druckluft trennen Schließen Sie das Ventil an der Druckluftversorgung. Um die Druckluftversorgung für das Gerät zu trennen, entfernen Sie den Druckluftschlauch aus der Druckluft-Schnellkupplung der Druckluftversorgung, z. B. Druckluftflasche, und des Geräts. Drücken Sie dazu auf die Stirnfläche der Druckluft-Schnellkupplung, ziehen Sie den Druckluftschlauch aus der Druckluft- Schnellkupplung heraus und lassen Sie die Stirnfläche der Druckluft-...

  • Seite 111: Kompressor Abklemmen

    INFICON Außerbetriebnahme | 9 9.1.4 Kompressor abklemmen Kryopumpen-Kompressor Lesen und beachten Sie die mitgelieferte Dokumentation "Cryo-Torr Pump Installation, Operation and Maintanance Instructions". Netzanschluss für Manometer für Betriebsdruck Motor Kryopumpe Helium Anschluss Netzkabel für Anschluss Helium- Return Stromversorgung Helium- Supply Leitung...
  • Seite 112 9 | Außerbetriebnahme INFICON Helium- Motor Supply Kryopumpe Leitung Helium- Return Netzkabel Leitung für Motor Kryopumpe Abb. 63: Anschlüsse am Gerät Netzkabel für die Stromversorgung des Kompressors abklemmen Um die Schutzabdeckung am Elektroanschluss des Kompressors zu entfernen, lösen Sie die 2 Befestigungsschrauben.
  • Seite 113 INFICON Außerbetriebnahme | 9 Helium-Leitungen demontieren Die Helium-Leitungen "Supply" und "Return" sind mit Helium gefüllt und stehen unter Druck. Demontieren Sie die Helium-Supply-Leitung am Kompressor und am Gerät. Demontieren Sie die Helium-Return-Leitung am Kompressor und am Gerät. Stecken Sie die Blindflansche auf die Anschlüsse der 2 Helium-Leitungen.

  • Seite 114: Gerät Einsenden

    9 | Außerbetriebnahme INFICON 9.2 Gerät einsenden WARNUNG Gefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe Kontaminierte Geräte können die Gesundheit gefährden. Die Kontaminationserklärung dient dem Schutz aller Personen, die mit dem Gerät in Berührung kommen. ► Füllen Sie die Kontaminationserklärung vollständig aus. Nehmen Sie vor einer Rücksendung Kontakt mit uns auf und übersenden Sie eine ausgefüllte Kontaminationserklärung.
  • Seite 115 INFICON Außerbetriebnahme | 9 Abb. 64: Kontaminationserklärung Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911) 115 / 122...

  • Seite 116: Gerät Entsorgen

    9 | Außerbetriebnahme INFICON 9.3 Gerät entsorgen Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zum Hersteller gesendet werden. Das Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollten Sie von dieser Möglichkeit Gebrauch machen.

  • Seite 117: Zubehör Und Ersatzteile

    Mit 2 O-Ringen gedichtete Prüfkammer, klein 551-712 Metallgedichtete Prüfkammer, klein 551-715 Druckminderer für Spülgasversorgung: < 50 mbar rel., 10 l/min, Anschluss zum Pernicka 700H CHLD: ¼ Zoll, Quetschverschraubung • für Anschluss an Gasflasche mit Gewinde gemäß 551-701 CGA 580, alternativ • für Anschluss an Gasflasche mit Gewinde gemäß...

  • Seite 118: Ce-Konformitätserklärung

    11 | CE-Konformitätserklärung INFICON 11 CE-Konformitätserklärung Abb. 65: CE-Konformitätserklärung 118 / 122 Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

  • Seite 119: Stichwortverzeichnis

    INFICON Stichwortverzeichnis Stichwortverzeichnis Messen  22 Regeneration  22 Anschließen Standby  22 Auspuffsystem (optional)  44 Druckluft  40 Gerät  42 CE-Konformitätserklärung  118 Kompressor  36 Spülgas  41 USB-Barcodeleser  25 USB-Drucker  25 Datensicherung USB-Speicherstick  25 Messdaten  85 Voraussetzungen  32 Deinstallation  108 Aufstellen  34 Druckluftversorgung trennen  110...
  • Seite 120 Stichwortverzeichnis INFICON Kontaminationserklärung  114 Deckel öffnen mit Load/Unload  50, 52 Gitter einlegen  47 montieren  45 Lagerung  15 Lieferumfang  14 Regeneration  88 täglich durchführen  88 vor jedem Wochenende durchführen  88 Massenspektrum bestimmen  86 Mechanische Daten  30 Messdaten exportieren  85 Transport  15 löschen...

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