Inhaltsverzeichnis
Werbung
INFICON
6.5.3.1
Fenster "Mini" wählen und Messung starten...................................................................... 76
6.5.3.2
Fenster "Measure" wählen und Messung starten .............................................................. 77
6.5.3.3
Grobleck-Test durchführen ................................................................................................ 79
6.5.3.4
Messprozess nach Grobleck-Test beenden....................................................................... 79
6.5.3.5
Feinleck-Test durchführen ................................................................................................. 79
6.5.3.6
Messprozess nach Grobleck- und Feinleck-Test beenden ................................................ 81
6.5.4 Informationen zur Messung anzeigen......................................................................................... 82
6.5.4.1
Zustandszeitdiagramme anzeigen ..................................................................................... 82
6.5.4.2
Messparameter anzeigen................................................................................................... 82
6.5.4.3
Aktuelle Einstellungen anzeigen ........................................................................................ 83
6.5.4.4
Allgemeine Informationen anzeigen................................................................................... 84
6.5.4.5
Ereignisse anzeigen........................................................................................................... 84
6.6 Messdaten .............................................................................................................................................. 85
6.7 Massenspektrum bestimmen.................................................................................................................. 86
6.8 Regeneration durchführen ...................................................................................................................... 88
6.9 Gerät ausschalten................................................................................................................................... 90
7 Warn- und Fehlermeldungen.......................................................................................................................... 91
7.1 Warn- und Fehlermeldungen anzeigen .................................................................................................. 91
8 Reinigung und Wartung.................................................................................................................................. 95
8.1 Allgemeine Hinweise .............................................................................................................................. 95
8.2 Wartung des Geräts................................................................................................................................ 96
8.2.1 O-Ringe der Prüfkammer wechseln............................................................................................ 96
8.3 Wartung des CHLD-Sensors .................................................................................................................. 97
8.3.1 Lüfterfunktion kontrollieren.......................................................................................................... 97
8.3.2 Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln ...................................................................................... 99
8.4 Wartung des internen Prüflecks............................................................................................................ 103
8.4.1 Kalibrierung durchführen........................................................................................................... 103
8.4.2 Rekalibrierung des Prüflecks durch VTI.................................................................................... 103
8.5 Wartung der Vorpumpe ........................................................................................................................ 104
8.5.1 Ölstand kontrollieren ................................................................................................................. 104
8.6 CHLD-Sensor einstellen ....................................................................................................................... 105
8.6.1 Kathode im CHLD-Sensor wählen ............................................................................................ 106
8.7 Wartungsplan........................................................................................................................................ 107
8.7.1 Wartungstabelle ........................................................................................................................ 107
Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)
Inhaltsverzeichnis
v
Werbung
Inhaltsverzeichnis
