Inhaltsverzeichnis
Werbung
INFICON
1.4 Begriffsdefinitionen
Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)
Verwendung von Gasarten in dem Gerät
Das Gerät ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät. Falls Sie statt Helium Formiergas
einsetzen, um den darin enthaltenen Wasserstoff nachzuweisen, gelten die Hinweise
zu Helium auch für Wasserstoff.
Automatische Abstimmung / Masseneinstellung
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale
Leckratenanzeige erreicht wird. Um mit dem Ionendetektor einen maximalen
Ionenstrom zu detektieren, passt der Steuerrechner die Spannung zur
Ionenbeschleunigung innerhalb des ausgewählten Massenbereichs entsprechend an.
Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Einstellung der Masse.
Betriebsart
Das Dichtheitsprüfgerät unterscheidet zwischen den Betriebsarten "Standby",
"Messen" und "Regeneration".
In der Betriebsart "Standby" muss sich das Gerät befinden, bevor eine Messung
gestartet werden kann. Wurde der Messprozess abgebrochen, befindet sich das Gerät
ebenfalls in der Betriebsart "Standby".
Bei der Betriebsart "Messen" wird Prüfgas, welches aus einem Prüfobjekt austritt, mit
Hilfe eines Massenspektrometers (CHLD-Sensor) gemessen. Das Ergebnis wird beim
Grobleck-Test als Helium-Rohsignal (Strom in der Maßeinheit [A]) und beim Feinleck-
Test als Leckrate in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s] angezeigt.
Bei der Betriebsart "Regeneration" werden mit der Kryopumpe alle Gase außer
Helium und Wasserstoff ausgefroren. Die gefrorenen Gase werden im eisförmigen
Zustand an der inneren Oberfläche der Kryopumpe abgeschieden. In regelmäßigen
Abständen müssen diese abgeschiedenen Gase abgedampft und aus dem System
entfernt werden.
Formiergas
Formiergas ist ein Sammelbegriff für Gasgemische aus Stickstoff und Wasserstoff.
Grobleck-Test
Grobleck-Test bezeichnet eine Phase des Messablaufs, in der das Gerät das
Prüfobjekt auf grobe Leckagen überprüft.
Über diese Anleitung | 1
9 / 122
Werbung
Inhaltsverzeichnis
