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2
INSTALLATION
TSA Mikroskop Manipulator
•
Schrauben 1 und 2 lösen und entfernen.
•
Schraube 1 sichert den Mikroskophub und
Schraube 2 sichert die X-Y Justierverstellung am
Manipulator.
1
TSA Mikroskop Manipulator
1 Schaube 1
2 Schraube 2
18
TRANSPORT
UND
2
1.2.6. Außerbetriebsetzen
Bevor Sie eine Maschine längere Zeit stilllegen, soll-
ten Sie sich unbedingt durch einen Service-Techni-
ker der SUSS MicroTec beraten lassen.
Vor einer längerfristigen Stilllegung empfehlen wir
dringend:
•
eine Wartung aller mechanisch bewegten Teile,
•
eine staubdichte Umhüllung,
•
die Einbringung von ausreichendem Trock-
nungsmittel innerhalb der Hülle.
Vor einem Transport der Maschine müssen speziel-
le Sicherheitsvorkehrungen getroffen werden, um
den Mask Aligner vor Beschädigung zu schützen.
Der Transport der Maschine und deren Installation
müssen von einem Servicetechniker der SUSS Mi-
croTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autori-
sierten Person vorgenommen werden.
Der Transport der Maschine ohne Anwesenheit ei-
nes Servicetechnikers der SUSS MicroTec bzw. von
einer von SUSS MicroTec autorisierten Person ge-
schieht auf eigenes Risiko des Anwenders.
Zur Vorbereitung eines Transports sind folgende
Mindestanforderungen zu erfüllen:
•
Ausbau der Belichtungslampe und Belichtungs-
optik.
•
Anbringen bzw. Aktivieren aller vorgesehenen
Transportsicherungen (Justiertisch, TSA Mikros-
kopmanipulator, Lampenhaus).
•
Staubdichte Umhüllung.
Für den Transport selbst sind die vorhergehenden
Kapitel zu berücksichtigen.
Falls starke Erschütterungen oder hohe Tempera-
turschwankungen erwartet werden können, sind
weitere spezielle Sicherungsmaßnahmen erforder-
lich!
OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT
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Kapitel
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