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Glaskolben wirkt! Lampe nur von Hand festdrehen!
Beachten Sie die korrekte Handhabung unter-
schiedlicher
Lampenhalter
haustyp) - siehe Sektion Wartung des Handbuchs!
Schließen Sie die Anschlusskontakte der Lampe so
an, dass elektrische Übergangswiderstände mini-
miert sind. Ersetzen Sie dabei alle Bauteile, die Spu-
ren von Korrosion oder Überhitzung aufweisen!
1.6.1.3 Einstellvorschriften Lampenküh-
lung
Die UV-Belichtungslampen müssen gezielt gekühlt
werden, um sichere und optimale Betriebsbedingun-
gen zu halten. Die Einrichtung der Kühlung ist indivi-
duell vom Lampentyp abhängig.
Detaillierte Werte für die Lampenkühlung und
den abzusaugenden Volumenstrom für ver-
schiedene Lampen sind der Tabelle
"Einstellungen zur Lampenkühlung und Lam-
penhaus-Absaugung" im Kapitel 1.1. "Installati-
onsvoraus- setzung" zu entnehmen.
Grundlegende Komponenten der Kühlung sind:
•
Anblasen des metallischen Lampensockels (je-
doch nie des Glaskolbens) mit Stickstoff,
•
Anblasen einer Wärmesenke (für Wärmestrah-
lung) im Lampenhaus mit Druckluft.
Zu beachten sind die lampenspezifischen Werte so-
wohl für die Einstellung der Stickstoff-Anblasung am
oberen bzw. unteren Lampensockel als auch für die
Absaugung.
Starke Abweichungen der Einstellwerte gefährden
Ihre Sicherheit!
Kleinere Abweichungen beeinträchtigen die Be-
triebssicherheit von Lampe und Maschine.
Falls eine Lampe häufig instabil leuchtet, oder falls
sich die Lampenlebensdauer systematisch ver-
schlechtert haben sollte, überprüfen Sie sorgfältig
die Einstellungen zur Lampenkühlung. Häufig liegt
die Ursache für solche Probleme in falscher Einstel-
lung dieser Daten oder in mangelhafter Befestigung
der Anschlüsse. Beauftragen Sie bei Unsicherheit
den Service der SUSS MicroTec mit der Überprü-
fung!
Hinweis!
Darüber hinaus ist zur Erzielung guter Belich-
OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE
tungsergebnisse nach Einbau einer neuen Lam-
pe die Gleichmäßigkeit des Lichts einzustellen.
(je
nach
Lampen-
1.6.1.4 Lampenhausabsaugung
Für die 200W und 350W Lampe ist grundsätzlich
keine Absaugung erforderlich.
Für die 500W DUV Hg/Xe Lampe im 350W Lampen-
haus ist eine Absaugung des Ozons aus dem Lam-
penhaus zu gewährleisten um eine Gesundheits-
gefährdung zu vermeiden.
Hierzu wird der Nachrüstsatz Artikel-Nr. 189553 be-
nötigt.
Detaillierte Werte sind der Tabelle "Einstellun-
gen zur Lampenkühlung und Lampenhaus-Ab-
saugung" im Kapitel 1.1. "Installationsvoraus-
setzung" zu entnehmen.
1.6.1.5 Entsorgung
Lagern und transportieren Sie auch gebrauchte
Lampen nur in der schützenden Originalverpa-
ckung!
UV-Hochdrucklampen enthalten bis zu 1g hochgifti-
ges Quecksilber.
Deshalb sind diese Lampen als Sondermüll zu be-
handeln.
Lokale Vorschriften zur Entsorgung sind zu beach-
ten.
Rücknahmemöglichkeiten bestehen bei den Liefe-
ranten oder Herstellern.
1.6.2. Arbeitsvorbereitung der
Überprüfen Sie, dass der schwingungsisolierte
Tisch (wenn vorhanden) arbeitet.
1.6.2.1 Vorbereiten zum Einschalten
Die folgenden Ausführungen setzen voraus, dass
die Installation des Mask Aligners ordnungsgemäß
durchgeführt wurde und das Gerät durch Einschal-
ten des Hauptschalters mit dem Stromversorgungs-
netz verbunden wurde.
WARN-
SICHERHEITSHINWEISE
UND
Maschine
Achtung!
Im Fall eines Druckausfalls kann der
Tisch herunterfahren und die Finger
einklemmen!
1
5
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