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VORWORT UND VERÖFFENTLICHUNGSHINWEISE
Vorwort und Veröffentlichungshinweise
Die Informationen in diesem Dokument werden vorbehaltliche technischer Änderungen bereitgestellt.
SUSS MicroTec ist um Aktualität bemüht, kann jedoch für die Richtigkeit, Vollständigkeit und Aktualität der
.
Inhalte keine Gewähr übernehmen
SUSS MicroTec behält sich das Recht vor, das Produkt zu ändern, Bauteile durch ähnliche oder gleichwer-
tige Komponenten zu ersetzen oder Funktionen und Regelungen zu ändern, ohne dies in der Bedienungs-
anleitung oder anderswo ausdrücklich zu erwähnen.
Das Produkt muss sorgfältig installiert werden. Es muss zweckbestimmt benutzt werden und darf nur von
trainiertem und autorisiertem Personal bedient werden. Jeder Gebrauch oder jede Anwendung, die nicht
der vorgesehenen und ausgewiesenen Bestimmung des Produkts entspricht, kann Gefahren mit sich brin-
gen.
Eine Beschreibung des bestimmungsgemäßen Gebrauchs findet man auch im Abschnitt „Verwendungs-
zweck des Produkts".
Der Inhalt dieser Produktdokumentation wird weder Teil einer existierenden rechtlichen Vereinbarung oder
Verpflichtung noch ändert es eine solche. Alle Garantieklauseln und -verpflichtungen von SUSS sind im
Kaufvertrag verankert. Vertragliche Regelungen werden durch diese Produktdokumentation weder erwei-
tert noch eingeschränkt.
Der Inhalt dieser Bedienungsanleitung ist Eigentum von SUSS MicroTec und ist ausschließlich für Kunden
von SUSS MicroTec bestimmt und darf nicht verändert werden.
Die Benutzung dieser Dokumentation ist nur dem Käufer, autorisierten Nutzern und zukünftigen Käufern
von SUSS MicroTec Produkten erlaubt. Sie darf nicht verteilt, vervielfältigt oder verkauft werden ohne aus-
drückliche, schriftliche Zustimmung von SUSS MicroTec.
©SUSS MicroTec Lithography GmbH, alle Rechte vorbehalten.
Sollten Sie Fragen oder Anmerkungen zu dieser Bedienungsanleitung haben, kontaktieren Sie bitte:
SUSS MicroTec Lithography GmbH
Schleißheimer Str. 90
D 85748 Garching
Tel.:+49 89 32007-0
Fax: +49 89 32007-162
www.suss.com
Diese Bedienungsanleitung liegt in folgenden Formaten vor:
gedruckt auf Reinraumpapier und elektronisch im PDF-Format (CD-Rom).
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