SUSS MicroTec MJB4 Sicherheit Und Installation
Labor mask aligner
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Inhaltszusammenfassung für SUSS MicroTec MJB4
- Seite 1 SAFETY AND INSTALLATION Mask Aligners MJB4 Laboratory Mask Aligner Rev09/17-03 www.suss.com...
- Seite 27 SICHERHEIT UND INSTALLATION Mask Aligner MJB4 Labor Mask Aligner Rev09/ 17-03 www.suss.com...
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Seite 29: Vorwort Und Veröffentlichungshinweise
SUSS MicroTec ist um Aktualität bemüht, kann jedoch für die Richtigkeit, Vollständigkeit und Aktualität der Inhalte keine Gewähr übernehmen SUSS MicroTec behält sich das Recht vor, das Produkt zu ändern, Bauteile durch ähnliche oder gleichwer- tige Komponenten zu ersetzen oder Funktionen und Regelungen zu ändern, ohne dies in der Bedienungs- anleitung oder anderswo ausdrücklich zu erwähnen. - Seite 30 HAFTUNGSAUSSCHLUSS UND VERÖFFENTLICHUNGSHINWEISE VERÖFFENTLICHUNGSHINWEISE...
- Seite 31 INHALT INHALT 1. WARN- und SICHERHEITSHINWEISE ..............1 1.1. Arbeitsschutzrichtlinien ...................1 1.2. Vorgesehener Verwendungszweck ..............1 1.3. Definition der Gefahr- und Warnhinweise ............1 1.4. Hauptschalter mit Not-Aus Funktion ...............2 1.5. Gefahren ......................2 1.5.1. Körperliche Gefahren ................2 1.5.2. Thermische Gefahren ................2 1.5.3. Elektrische Gefahren................3 1.5.4.
- Seite 32 INHALT ÜBERSETZUNG DER ORIGINAL DOKUMENTATION SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INHALT...
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Seite 33: Warn- Und Sicherheitshinweise
Support Engineering der SUSS MicroTec Lithogra- richtet die Aufmerksamkeit auf spezielle technische phy abzustimmen. Bei Zuwiderhandlung übernimmt Produktinformationen, die selbst für Fachpersonal SUSS MicroTec weder für Fehlfunktionen noch für nicht unmittelbar offensichtlich sind. Personenschäden eine Haftung. OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE... -
Seite 34: Hauptschalter Mit Not-Aus Funktion
WARN- SICHERHEITSHINWEISE 1.4. Hauptschalter mit Warnung! Not-Aus Funktion Die Bewegung eines Direkteinblick-Mi- kroskops kann Sie an den Augen oder im Gesicht verletzen. Die Maschine ist mit einem Hauptschalter, kombi- Beenden Sie den Mikroskop-Einblick, niert mit einer Not-Aus Funktion versehen. Wird die- bevor Sie die Mikroskop-Bewegung ser auf die Position OFF gedreht, wird die Maschine starten! -
Seite 35: Elektrische Gefahren
WARN- SICHERHEITSHINWEISE 1.5.3. Elektrische Gefahren 1.5.5. Gefahr der Vergiftung 1.5.5.1 Quecksilberdämpfe nach Bei abgenommener Maschinenabdeckung können spannungsführende Teile zugänglich werden. Lampenbruch An Lampe und Lampenversorgung treten hohe Leis- Die größte Gefahr nach einer Lampenexplosion tungen und Ströme bis 50A auf. bzw. -
Seite 36: Arbeiten Mit Dem Mask Aligner Mjb4
Beim Hantieren einer Hochdrucklampe ist ein mechanischer Gesichts- bzw. Augenschutz zu tragen! Servicearbeiten an der Maschine dürfen nur durch SUSS MicroTec Mitarbeiter oder qualifiziertes und Bei Zerbrechen der Lampe die Be- ausgebildetes Personal ausgeführt werden. standteile nicht mit der Hand berühren und die Hg-Dämpfe nicht einatmen! -
Seite 37: Einstellvorschriften Lampenkühlung
Die folgenden Ausführungen setzen voraus, dass der Anschlüsse. Beauftragen Sie bei Unsicherheit die Installation des Mask Aligners ordnungsgemäß den Service der SUSS MicroTec mit der Überprü- durchgeführt wurde und das Gerät durch Einschal- fung! ten des Hauptschalters mit dem Stromversorgungs- Hinweis! netz verbunden wurde. -
Seite 38: Sicherheits-Überprüfungen
WARN- SICHERHEITSHINWEISE Folgende Druckwerte sollen an der Maschine anlie- gen: • Druckluft 5,5 - 7 bar (COMPRESSED AIR) • Stickstoff 2 - 3 bar (NITROGEN) • Vakuum -0,8 bar (bedeutet 0,2 bar absolut (VACUUM)) 1.6.3. Sicherheits-Überprüfungen Die wesentlichen Sicherheitsfunktionen der Maschi- ne sollen in regelmäßigen Abständen - d.h. -
Seite 39: Installation Und Transport
Beim Öffnen der Container mit den Systemteilen, die Installation oder der Transport der Maschine ohne Anwesenheit eines Servicetechnikers der SUSS MicroTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autorisierten Person geschieht auf eigenes Risiko des Anwenders. Die Anschlüsse für Energie und Versorgungsmedi- en (Druckluft, Nitrogen, etc.) müssen bei Installati-... -
Seite 40: Frontansicht
INSTALLATION TRANSPORT Abmessungen des Mask Aligners MJB4 FRONT ANSICHT OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT... - Seite 41 INSTALLATION TRANSPORT DRAUFSICHT mit empfohlenem Wartungsbereich Leistungsangaben: Gewicht: ca. 150 kg MJB4 Standard mit 800 VA ; 230 V AC ±10% ; 200 kg Untergestell CPC200: 50/60 Hz Standard mit 1000 VA ; 230 V AC ±10% ; CPC350: 50/60 Hz Standard mit 1300 VA ;...
- Seite 42 INSTALLATION TRANSPORT Versorgungsmedien: Leistungsübersicht: CPC200 = 300 VA (Max. Leistung) CPC350 = 500 VA Stickstoff: ca. 1.5 bar, 30 - 45 psi CIC1200 = 800 VA Maschine = 250 VA Verbrauch: abhängig vom Lampentyp, de- Ext. Power =250 VA (Stan- taillierte Werte siehe Tabelle 1.
- Seite 43 INSTALLATION TRANSPORT Tabelle 1: Einstellungen zur Lampenkühlung und Lampenhaus-Absaugung Anmerkungen Belichtungs- lampe Osram Osram Ushio Ushio Stickstoff [bar] ± 0,5 bar Hauptdruck Stickstoff [l/min] Einzustellen vom unterer Lam- Servicetechniker (gleichmäs- pensockel sig verteilt auf Mit 1/FM1-B10 ein- beide Lam- stellen. pensockel) Stickstoff oberer [l/min]...
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Seite 44: Funktion
UV400 rechteckig UV300/400 UV300/400 rechteckig UV250 UV250/300/400 Microlinsen (MO) Intensität/ Gemessen mit SUSS UV- Optometer Gleichäßigk. 200 W Lampe UV400, 100 mm rund: Alle Werte ± 10% 44 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 4% 18 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 4%... - Seite 45 INSTALLATION TRANSPORT MJB4 Anschlüsse an der Rückseite der Maschinen mit Seriennummern <179 Anschlüsse Rückseite MJB4 mit Herstellernummer <179 1 Stickstoff 6 F3 Externer Anschluss 2 CDA 7 F4 -Elektronik 3 Rückluft 8 Lampenvorschaltgerät 4 Vakuum 9 Externer Anschluss 5 F2 Lampenvorschaltgerät 10 Externer Anschluss OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
- Seite 46 INSTALLATION TRANSPORT MJB4 Anschlüsse an der Rückseite der Maschinen mit Seriennummern > 179 1 CDA 2 Abluft 3 Vakuum 4 Nitrogen 5 Monitor-Anschluss, AC 200-240 V/ 6 A 6 Extern, AC200-240 V/ 6 A 7 Lampenvorschaltgerät, AC 200-240 V/ 10 A 8 Netzanschlüsse, AC 200-240 V F1 - Hauptstromversorgung F3 - Lampenvorschaltgerät...
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Seite 47: Transport Der Maschine
Der Transport der Maschine und deren Installation hinweise beachten. müssen von einem Servicetechniker der SUSS Mi- • Transportbehälter keinesfalls kippen oder sto- croTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autori- ßen. sierten Person vorgenommen werden. • Prüfen der Transportverpackungen auf Spuren Der Transport der Maschine ohne Anwesenheit ei- von Transportschäden. - Seite 48 INSTALLATION TRANSPORT die Maschine den endgültigen Platz erreicht hat. • Transportverriegelungen der Maschine keines- falls lösen, bevor die Maschine den endgültigen Platz erreicht hat. • Die Maschine niemals direkt mit der Staplergabel unter der blanken Grundplatte anheben, da ext- reme Rutschgefahr besteht. •...
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Seite 49: Transportsicherung
INSTALLATION TRANSPORT 1.2.5. Transportsicherung Vor Inbetriebnahme der Maschine sind folgende Transportsicherungen zu entfernen: Justiertisch • Schrauben 1 (2x) lösen, entfernen und Kunst- stoffplatte entfernen. • Schrauben 2 (3x) lösen und entfernen (zwei von ihnen sind durch die Kunststoffplatte verdeckt) • Schrauben 3 (2x) lösen und entfernen. -
Seite 50: Außerbetriebsetzen
Mask Aligner vor Beschädigung zu schützen. Der Transport der Maschine und deren Installation müssen von einem Servicetechniker der SUSS Mi- croTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autori- sierten Person vorgenommen werden. Der Transport der Maschine ohne Anwesenheit ei- nes Servicetechnikers der SUSS MicroTec bzw.