Inhaltszusammenfassung für SUSS MicroTec MJB4
- Seite 1 SAFETY AND INSTALLATION Mask Aligners MJB4 Laboratory Mask Aligner Rev09/17-03 www.suss.com...
- Seite 3 All warranty stipulations and obligation by SUSS are contained in the sales contract. Con- tractual stipulations are neither extended nor limited by this product documentation. The information included in this manual is SUSS MicroTec Proprietary Information. It is provided for the use by SUSS MicroTec’s customers only and shall not be altered.
- Seite 4 PREFACE AND PUBLISHING DETAILS PUBLISHING DETAILS...
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Seite 5: Inhaltsverzeichnis
CONTENTS CONTENTS 1. WARNINGS and SAFETY PRECAUTIONS ............1 1.1. Guidelines on Safety at Work .................1 1.2. Intended Use of the Machine ................1 1.3. Definition of Danger Advice and Warnings .............1 1.4. Main Switch with Emergency Off Function ............2 1.5. Dangers ......................2 1.5.1. - Seite 6 CONTENTS - Original Documentation - SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 CONTENTS...
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Seite 7: Warnings And Safety Precautions
Any other form of use must be agreed on with SUSS MicroTec Lithography's Engineering Product Sup- port department. In the event of contravention, SUSS MicroTec accepts no liability either for mal- function or for personal injury. -
Seite 8: Main Switch With Emergency Off Function
WARNINGS SAFETY PRECAUTIONS 1.4. Main Switch with Warning! Emergency Off Function The movement of a direct viewfinder can cause injury to the eyes or face. Stop looking into the microscope view- The machine has a main switched combined with an finder before you start the microscope emergency off function. -
Seite 9: Radiation Danger
WARNINGS SAFETY PRECAUTIONS Danger! Note: Do not open the machine until the whole The EU safety data sheets can be found in the machine has been isolated from the Appendix and must be read. power supply! Pay attention to this warning symbol on covers!... -
Seite 10: Working With The Mjb4 Mask Aligner
1.6.1.2. Changing the Lamp correct power setting, soiling of the lamp tube or similar. Only use lamps of a type approved for use by SUSS Exposure lamps should only be handled with gloves. MicroTec Lithography! Clean any grease marks with alcohol! Caution! 1.6.1.1. -
Seite 11: Preparing The Machine For Working
If you are not sure, call in SUSS work by switching on the main power switch. MicroTec's service to carry out a check! -
Seite 12: Warnings And Safety Precautions
WARNINGS SAFETY PRECAUTIONS • Nitrogen 2 - 3 bar (NITROGEN) • Vacuum -0.8 bar (means 0.2 bar absolute (VACUUM)) 1.6.3. Safety Checks The important safety functions of the machine should be checked for safe functioning at regular in- tervals - i.e at least every three months. This applies as long as the check itself does not rep- resent a hazard. -
Seite 13: Installation And Transport
Users who open containers with system compo- nents or install or transport the machine without a SUSS MicroTec technician or a person authorized by SUSS MicroTec do so at their own risk. Power connections and supply connections (com- pressed air, nitrogen, etc.) at the installation site must be completely installed by the customer before installation so the machine can be connected. - Seite 14 INSTALLATION AND TRANSPORT Dimensions of the MJB4 Mask Aligner FRONT VIEW - Original Documentation - SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION AND TRANSPORT...
- Seite 15 INSTALLATION AND TRANSPORT TOP VIEW with recommended Maintenance Area Weight of the MJB4 Mask Aligner: Power Data: 800 VA ; 230 V AC ±10% ; Weight: approx. 150 kg MJB4 Standard with 200 kg base CPC200: 50/60 Hz 1000 VA ; 230 V AC ±10% ; Standard with CPC350: 50/60 Hz...
- Seite 16 INSTALLATION AND TRANSPORT Supply Media: Power overview: CPC200 = 300 VA CPC350 = 500 VA (max power:) ca. 0,15 MPa, Nitrogen: CIC1200 = 800 VA 30 - 45 psi; Machine = 250 VA Ext. power =250 VA (standard) Depends on lamp model; Consumption: Max.
- Seite 17 INSTALLATION AND TRANSPORT Table 1: Settings for Lamp Cooling and Lamp Housing Extraction Notes Exposure lamp Osram Osram Ushio Ushio Nitrogen [bar] ± 0,5 bar Main pressure Nitrogen lower [l/min] Must be set by lamp base service technician. (distributed to both, upper and Adjustment by 1/...
- Seite 18 INSTALLATION AND TRANSPORT Table 2: Optical Specification of Exposure Lamps FUNCTION SPECIFICATION REMARKS OPTIONS Optics SUSS Diffraction Reducing Optics For high resolution Filters: i-line, g-line, Spectral Ranges UV400: 350 ...450 nm Micro Lenses (MO) h-line, g/h-line UV300: 280..350 nm...
- Seite 19 INSTALLATION AND TRANSPORT MJB4 Connections at the Rear Side for Machines with Serial Numbers < 179 1 Nitrogen 6 F3 - External power 2 CDA 7 F4 -Electronics 3 Outgoing air 8 Lamp power supply AC 200-240 V/6 A 4 Vacuum 9 External power AC 200-240 V/6 A 5 F2 - Lamp power supply 10 External power 2, monitor AC 200-240 V/6 A...
- Seite 20 INSTALLATION AND TRANSPORT MJB4 Connections at the Rear Side for Machines with Serial Numbers > 179 1 CDA 2 OFF Air 3 Vacuum 4 Nitrogen 5 Monitor Power Supply, AC 200-240 V/ 6 A 6 External, AC200-240 V/ 6 A 7 Lamp Power Supply, AC 200-240 V/ 10 A 8 Mains Connections, AC 200-240 V F1 - Main Power...
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Seite 21: Transporting The Mask Aligner
Users who transport the machine without a SUSS tainers MicroTec service technician or a person authorized by SUSS MicroTec do so at their own risk. • If shipping damage is suspected, do not open containers until a SUSS MicroTec service 2.2.1. - Seite 22 INSTALLATION AND TRANSPORT Warning! “Transporting the MJB4 using a cross beam”). The center of gravity is behind the mid- The cross beam ensures that the transport straps dle of the machine (lamp housing). do not lie against the machine and therefore We recommend the following procedure for lifting cannot exert any forces on the machine the machine:...
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Seite 23: Transportation Locks
INSTALLATION AND TRANSPORT 2.2.5. Transportation Locks The following transportation locks must be removed before commissioning the machine. Alignment Stage TSA Microscope Manipulator • Unscrew and remove screws 1 (2x) and remove • Remove screws 1 and 2. plastic plate. • Screw 1 secures the microscope stroke, and •... -
Seite 24: Taking The Machine Out Of Service
INSTALLATION AND TRANSPORT 2.2.6. Taking the Machine out of Service Before shutting down the machine for a longer period of time, you must be advised by a SUSS MicroTec service technician. We strongly recommend the following before long- term decommissioning: •... - Seite 27 SICHERHEIT UND INSTALLATION Mask Aligner MJB4 Labor Mask Aligner Rev09/ 17-03 www.suss.com...
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Seite 29: Vorwort Und Veröffentlichungshinweise
SUSS MicroTec ist um Aktualität bemüht, kann jedoch für die Richtigkeit, Vollständigkeit und Aktualität der Inhalte keine Gewähr übernehmen SUSS MicroTec behält sich das Recht vor, das Produkt zu ändern, Bauteile durch ähnliche oder gleichwer- tige Komponenten zu ersetzen oder Funktionen und Regelungen zu ändern, ohne dies in der Bedienungs- anleitung oder anderswo ausdrücklich zu erwähnen. - Seite 30 HAFTUNGSAUSSCHLUSS UND VERÖFFENTLICHUNGSHINWEISE VERÖFFENTLICHUNGSHINWEISE...
- Seite 31 INHALT INHALT 1. WARN- und SICHERHEITSHINWEISE ..............1 1.1. Arbeitsschutzrichtlinien ...................1 1.2. Vorgesehener Verwendungszweck ..............1 1.3. Definition der Gefahr- und Warnhinweise ............1 1.4. Hauptschalter mit Not-Aus Funktion ...............2 1.5. Gefahren ......................2 1.5.1. Körperliche Gefahren ................2 1.5.2. Thermische Gefahren ................2 1.5.3. Elektrische Gefahren................3 1.5.4.
- Seite 32 INHALT ÜBERSETZUNG DER ORIGINAL DOKUMENTATION SAFETY-INST MJB4 Rev09 17-03 INHALT...
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Seite 33: Warn- Und Sicherheitshinweise
Support Engineering der SUSS MicroTec Lithogra- richtet die Aufmerksamkeit auf spezielle technische phy abzustimmen. Bei Zuwiderhandlung übernimmt Produktinformationen, die selbst für Fachpersonal SUSS MicroTec weder für Fehlfunktionen noch für nicht unmittelbar offensichtlich sind. Personenschäden eine Haftung. OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE... -
Seite 34: Hauptschalter Mit Not-Aus Funktion
WARN- SICHERHEITSHINWEISE 1.4. Hauptschalter mit Warnung! Not-Aus Funktion Die Bewegung eines Direkteinblick-Mi- kroskops kann Sie an den Augen oder im Gesicht verletzen. Die Maschine ist mit einem Hauptschalter, kombi- Beenden Sie den Mikroskop-Einblick, niert mit einer Not-Aus Funktion versehen. Wird die- bevor Sie die Mikroskop-Bewegung ser auf die Position OFF gedreht, wird die Maschine starten! -
Seite 35: Elektrische Gefahren
WARN- SICHERHEITSHINWEISE 1.5.3. Elektrische Gefahren 1.5.5. Gefahr der Vergiftung 1.5.5.1 Quecksilberdämpfe nach Bei abgenommener Maschinenabdeckung können spannungsführende Teile zugänglich werden. Lampenbruch An Lampe und Lampenversorgung treten hohe Leis- Die größte Gefahr nach einer Lampenexplosion tungen und Ströme bis 50A auf. bzw. -
Seite 36: Arbeiten Mit Dem Mask Aligner Mjb4
Beim Hantieren einer Hochdrucklampe ist ein mechanischer Gesichts- bzw. Augenschutz zu tragen! Servicearbeiten an der Maschine dürfen nur durch SUSS MicroTec Mitarbeiter oder qualifiziertes und Bei Zerbrechen der Lampe die Be- ausgebildetes Personal ausgeführt werden. standteile nicht mit der Hand berühren und die Hg-Dämpfe nicht einatmen! -
Seite 37: Einstellvorschriften Lampenkühlung
Die folgenden Ausführungen setzen voraus, dass der Anschlüsse. Beauftragen Sie bei Unsicherheit die Installation des Mask Aligners ordnungsgemäß den Service der SUSS MicroTec mit der Überprü- durchgeführt wurde und das Gerät durch Einschal- fung! ten des Hauptschalters mit dem Stromversorgungs- Hinweis! netz verbunden wurde. -
Seite 38: Sicherheits-Überprüfungen
WARN- SICHERHEITSHINWEISE Folgende Druckwerte sollen an der Maschine anlie- gen: • Druckluft 5,5 - 7 bar (COMPRESSED AIR) • Stickstoff 2 - 3 bar (NITROGEN) • Vakuum -0,8 bar (bedeutet 0,2 bar absolut (VACUUM)) 1.6.3. Sicherheits-Überprüfungen Die wesentlichen Sicherheitsfunktionen der Maschi- ne sollen in regelmäßigen Abständen - d.h. -
Seite 39: Installation Und Transport
Beim Öffnen der Container mit den Systemteilen, die Installation oder der Transport der Maschine ohne Anwesenheit eines Servicetechnikers der SUSS MicroTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autorisierten Person geschieht auf eigenes Risiko des Anwenders. Die Anschlüsse für Energie und Versorgungsmedi- en (Druckluft, Nitrogen, etc.) müssen bei Installati-... -
Seite 40: Frontansicht
INSTALLATION TRANSPORT Abmessungen des Mask Aligners MJB4 FRONT ANSICHT OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT... - Seite 41 INSTALLATION TRANSPORT DRAUFSICHT mit empfohlenem Wartungsbereich Leistungsangaben: Gewicht: ca. 150 kg MJB4 Standard mit 800 VA ; 230 V AC ±10% ; 200 kg Untergestell CPC200: 50/60 Hz Standard mit 1000 VA ; 230 V AC ±10% ; CPC350: 50/60 Hz Standard mit 1300 VA ;...
- Seite 42 INSTALLATION TRANSPORT Versorgungsmedien: Leistungsübersicht: CPC200 = 300 VA (Max. Leistung) CPC350 = 500 VA Stickstoff: ca. 1.5 bar, 30 - 45 psi CIC1200 = 800 VA Maschine = 250 VA Verbrauch: abhängig vom Lampentyp, de- Ext. Power =250 VA (Stan- taillierte Werte siehe Tabelle 1.
- Seite 43 INSTALLATION TRANSPORT Tabelle 1: Einstellungen zur Lampenkühlung und Lampenhaus-Absaugung Anmerkungen Belichtungs- lampe Osram Osram Ushio Ushio Stickstoff [bar] ± 0,5 bar Hauptdruck Stickstoff [l/min] Einzustellen vom unterer Lam- Servicetechniker (gleichmäs- pensockel sig verteilt auf Mit 1/FM1-B10 ein- beide Lam- stellen. pensockel) Stickstoff oberer [l/min]...
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Seite 44: Funktion
UV400 rechteckig UV300/400 UV300/400 rechteckig UV250 UV250/300/400 Microlinsen (MO) Intensität/ Gemessen mit SUSS UV- Optometer Gleichäßigk. 200 W Lampe UV400, 100 mm rund: Alle Werte ± 10% 44 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 4% 18 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 4%... - Seite 45 INSTALLATION TRANSPORT MJB4 Anschlüsse an der Rückseite der Maschinen mit Seriennummern <179 Anschlüsse Rückseite MJB4 mit Herstellernummer <179 1 Stickstoff 6 F3 Externer Anschluss 2 CDA 7 F4 -Elektronik 3 Rückluft 8 Lampenvorschaltgerät 4 Vakuum 9 Externer Anschluss 5 F2 Lampenvorschaltgerät 10 Externer Anschluss OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT...
- Seite 46 INSTALLATION TRANSPORT MJB4 Anschlüsse an der Rückseite der Maschinen mit Seriennummern > 179 1 CDA 2 Abluft 3 Vakuum 4 Nitrogen 5 Monitor-Anschluss, AC 200-240 V/ 6 A 6 Extern, AC200-240 V/ 6 A 7 Lampenvorschaltgerät, AC 200-240 V/ 10 A 8 Netzanschlüsse, AC 200-240 V F1 - Hauptstromversorgung F3 - Lampenvorschaltgerät...
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Seite 47: Transport Der Maschine
Der Transport der Maschine und deren Installation hinweise beachten. müssen von einem Servicetechniker der SUSS Mi- • Transportbehälter keinesfalls kippen oder sto- croTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autori- ßen. sierten Person vorgenommen werden. • Prüfen der Transportverpackungen auf Spuren Der Transport der Maschine ohne Anwesenheit ei- von Transportschäden. - Seite 48 INSTALLATION TRANSPORT die Maschine den endgültigen Platz erreicht hat. • Transportverriegelungen der Maschine keines- falls lösen, bevor die Maschine den endgültigen Platz erreicht hat. • Die Maschine niemals direkt mit der Staplergabel unter der blanken Grundplatte anheben, da ext- reme Rutschgefahr besteht. •...
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Seite 49: Transportsicherung
INSTALLATION TRANSPORT 1.2.5. Transportsicherung Vor Inbetriebnahme der Maschine sind folgende Transportsicherungen zu entfernen: Justiertisch • Schrauben 1 (2x) lösen, entfernen und Kunst- stoffplatte entfernen. • Schrauben 2 (3x) lösen und entfernen (zwei von ihnen sind durch die Kunststoffplatte verdeckt) • Schrauben 3 (2x) lösen und entfernen. -
Seite 50: Außerbetriebsetzen
Mask Aligner vor Beschädigung zu schützen. Der Transport der Maschine und deren Installation müssen von einem Servicetechniker der SUSS Mi- croTec bzw. von einer von SUSS MicroTec autori- sierten Person vorgenommen werden. Der Transport der Maschine ohne Anwesenheit ei- nes Servicetechnikers der SUSS MicroTec bzw.