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Funktion; Spezifikation - SUSS MicroTec MJB4 Sicherheit Und Installation

Labor mask aligner
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2
INSTALLATION
Tabelle 2: Optische Spezifikation der Belichtungslampen

FUNKTION

Optik
Spectral-
bereiche
Typen
Intensität/
Gleichäßigk.
200 W Lampe
350 W Lampe
500 W Lampe
12
TRANSPORT
UND

SPEZIFIKATION

SUSS Beugungsreduzierende Optik
UV400: 350 ...450 nm
UV300: 280....350 nm
UV250: 240....260 nm
UV400
UV400 rechteckig
UV300/400
UV300/400 rechteckig
UV250
UV250/300/400
Microlinsen (MO)
UV400, 100 mm rund:
44 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 4%
18 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 4%
UV400, 100 mm rund:
75 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
30 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
UV400, 100 mm rechteckig:
90 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
35 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
UV300, 100 mm rund:
24 mW/cm² bei 320 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
MO-UV400, 100 mm rund:
65 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5%
24 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5%
UV400, 100 mm rund:
40 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
25 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
UV300, 100 mm rechteckig:
30 mW/cm² bei 320 nm, Gleichmäßigkeit ± 3.5%
UV250, 100 mm rund:
7.5 mW/cm² bei 240 nm, Gleichmäßigkeit ± 5%
MO-UV400, 100 mm rund:
36 mW/cm² bei 405 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5%
22 mW/cm² bei 365 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5%
MO-UV300, 100 mm rund:
30 mW/cm² bei 320 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5%
MO-UV250, 100 mm rund:
7 mW/cm² bei 240 nm, Gleichmäßigkeit ± 2.5%
BEMERKUNGEN
Für hohe Auflösung;
Mikrolinsen (MO)-Optik
für schnelles und einfa-
ches Einstellen von ver-
schiedenen Beleuchtungs-
winkeln durch austausch-
bare Filterplatten (IFP)
Gemessen mit SUSS UV-
Optometer
Alle Werte ± 10%
Definition der
Gleichmäßigkeit:
max-min
max+min
MO mit HR-IFP
(12 -Loch Blende)
MO mit HR-IFP
(12-Loch Blende)
OP MJB4 Rev09 17-03 INSTALLATION und TRANSPORT
OPTIONEN
Filter:
i-Linie, g-Linie,
h-Linie, g/h-Li-
nie und
Durchlässig-
keitsreduzier-
ung

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