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1. WARN-
UND
1.1. Arbeitsschutzrichtlinien
Diese Maschine wurde unter Beachtung der aktuel-
len Sicherheitsvorschriften und Standards entwi-
ckelt und hergestellt.
Vor Benutzung des Mask Aligners ist diese Bedie-
nungsanleitung zu lesen. Sie enthält alle Informatio-
nen, die zur sicheren und richtigen Benutzung der
Maschine notwendig sind.
In diesem Zusammenhang sind auch weitere, dieser
Anleitung beiliegende Bedienungsanleitungen zu le-
sen, z.B. für die Lampenvorschaltgeräte CIC1200,
CPC200 und CPC350.
Zur weiteren Vorbeugung gegen Unfälle ist das
Bedien- und Servicepersonal bei der Lieferung und
in regelmäßigen Abständen zu trainieren und schu-
len. Andernfalls können Verständigungsprobleme
und Fehlinterpretationen der Bedienungsanleitung
zu Verletzungen des Operators führen.
SUSS MicroTec kann keine Verantwortung über-
nehmen für Körper- oder Maschinen-Schäden, die
aus unkorrektem Umgang mit dieser Maschine und
Nichtbeachtung dieser Sicherheitshinweise resultie-
ren.
Warnung!
Die Instruktionen in dieser Bedie-
nungsanleitung sind nur für qualifizier-
tes Personal. Die Bedienung der
Maschine darf nur von dazu autorisier-
ten und ausgebildeten Personen erfol-
gen!
1.2. Vorgesehener
Verwendungszweck
Die Maschine ist ausschließlich zur Verwendung als
Justier- und/oder Belichtungs-Gerät für Substrate
der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik gedacht.
Jede andere Verwendungsart ist mit dem Product
Support Engineering der SUSS MicroTec Lithogra-
phy abzustimmen. Bei Zuwiderhandlung übernimmt
SUSS MicroTec weder für Fehlfunktionen noch für
Personenschäden eine Haftung.
OP MJB4 Rev09 17-03 WARN- und SICHERHEITSHINWEISE
SICHERHEITSHINWEISE
1.3. Definition der Gefahr- und
Die beim Betrieb dieser Maschine möglicherweise
entstehenden Gefahren sowie geeignete Vorsichts-
maßnahmen und empfohlene Handlungsweisen
sind in diesem Handbuch-Abschnitt beschrieben -
sowie in Warnhinweisen, die an der Maschine bzw.
ihren Baugruppen oder gegebenenfalls an der Ver-
packung angebracht sind.
Beide Arten von Warnhinweisen sind vom Betreiber
der Maschine zu verstehen und zu beachten. Warn-
hinweise sind normalerweise gegliedert in
•
•
Neben dem Warnhinweis ist ein Warn- und/oder Ge-
botszeichen angebracht.
Warnhinweise an der Maschine enthalten auch die
Schlüsselbegriffe Gefahr bzw. Warnung:
Gefahr!
Weist auf eine unmittelbare Gefahrensituation
hin, die zum Tod oder zu schweren Körperverlet-
zungen führen kann, wenn sie nicht vermieden
wird.
Warnung!
Weist auf eine potenzielle Gefahrensituation hin,
die zum Tod oder zu schweren Körperverletzun-
gen führen kann; - auch können erhebliche
Sachschäden entstehen, wenn nicht die entspre-
chenden Vorsichtsmaßnahmen getroffen wer-
den.
Vorsicht!
zeigt an, dass Verletzungen von Personen oder
Sachschäden die Folge sein können, wenn keine
ordnungsgemäßen Vorsichtsmaßnahmen ge-
troffen werden.
Hinweis!
richtet die Aufmerksamkeit auf spezielle technische
Produktinformationen, die selbst für Fachpersonal
nicht unmittelbar offensichtlich sind.
WARN-
SICHERHEITSHINWEISE
UND
Warnhinweise
eine Beschreibung der möglichen Gefährdung,
eine Aufforderung zur Gefahrvermeidung bzw.
zur richtigen Verhaltensweise bei Eintritt.
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