PI H-811 Serie Benutzerhandbuch Seite 61

10 Technische Daten
Bewegen und Positionieren
Aktive Achsen
Stellweg* in X, Y
Stellweg* in Z
Stellweg* in θ
Stellweg* in θ
Rechnerische Aktorauflösung
Kleinste Schrittweite X, Y
Kleinste Schrittweite Z
Kleinste Schrittweite θ
Kleinste Schrittweite θ
Umkehrspiel X, Y
Umkehrspiel Z
Umkehrspiel θ
Umkehrspiel θ
Wiederholgenauigkeit X, Y
Wiederholgenauigkeit Z
Wiederholgenauigkeit θ
Wiederholgenauigkeit θ
Max. Geschwindigkeit X, Y, Z
Max. Geschwindigkeit θ
Typ. Geschwindigkeit X, Y, Z
Typ. Geschwindigkeit θ
Justage
Scanzeit spiralförmiger
Flächenscan 500 µm Ø**
Scanzeit spiralförmiger
Flächenscan 100 µm Ø**
Scanzeit spiralförmiger
Flächenscan 10 µm Ø**
H-811 Hexapod Mikroroboter
H-811.F2
X, Y, Z, θ
±17, ±16
±6,5
, θ ±10, ±10
X Y
±21
Z
5
0,2
0,08
, θ 2
X Y
3
Z
0,2
0,06
, θ 2
X Y
3
Z
±0,15
±0,06
, θ ±2
X Y
±3
Z
20
, θ , θ 500
X Y Z
10
, θ , θ 240
X Y Z
<2
<0,5
<0,2
, θ , θ
X Y Z
MS235D
Einheit Toleranz
mm
mm
°
°
nm
µm typ.
µm typ.
µrad typ.
µrad typ.
µm typ.
µm typ.
µrad typ.
µrad typ.
µm typ.
µm typ.
µrad typ.
µrad typ.
mm/s
mrad/s
mm/s
mrad/s
s
s
s
Version: 2.3.0 57