PI H-811 Serie Benutzerhandbuch Seite 37
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5 Installation
Wenn notwendig: Vakuumdurchführungen installieren
Abbildung 9:
Vakuumdurchführung für die Datenübertragung (4668), Abmessungen in mm
B
4 Bohrungen Ø6 x 45° für M3 Senkkopfschraube
Bauen Sie die Vakuumdurchführung für die Datenübertragung (4668) so ein, dass sich
die Buchse HD D-Sub 78(f) in der Vakuumkammer befindet.
H-811 Hexapod Mikroroboter
MS235D
Version: 2.3.0
33
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