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PI P-­763 Benutzerhandbuch

Nanopositionierer
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Inhaltsverzeichnis
PZ258D
P­763 Nanopositionierer
Benutzerhandbuch
Version: 1.1.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 17.06.2020
Dieses Dokument beschreibt das folgende
Produkt:
P­763.22C
Kompakter XY-Nanopositionierer mit freier
Apertur, 200 µm × 200 µm, direkte
Positionsmessung, kapazitive Sensoren
Inhaltsverzeichnis
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Verwandte Anleitungen für PI P-­763

Inhaltszusammenfassung für PI P-­763

  • Seite 1  Kompakter XY-Nanopositionierer mit freier Apertur, 200 µm × 200 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 Die von PI gehaltenen Patente finden Sie in unserer Patentliste: https://www.physikinstrumente.de/de/ueber-pi/patente © 2020 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 Organisatorische Maßnahmen ................... 7 Produktbeschreibung Produktansicht ......................
  • Seite 4 Wartung Allgemeine Hinweise zur Wartung ................27 P-763 reinigen ......................27 Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ......................33 10.1.1 Datentabelle ....................33 10.1.2 Bemessungsdaten ..................34 10.2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ............34 10.3 Abmessungen ......................35 10.4 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............36 10.5 Pinbelegung ......................

  • Seite 5: Über Dieses Dokument

    1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ................1 Symbole und Kennzeichnungen ..................... 1 Abbildungen ........................... 2 Mitgeltende Dokumente ....................... 2 Handbücher herunterladen ......................3 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des P-763.

  • Seite 6: Abbildungen

    Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S. 3) bereit.

  • Seite 7: Handbücher Herunterladen

    Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten:  Wenden Sie sich an unseren Kundendienst (S. 31). Handbücher herunterladen 1. Öffnen Sie die Website www.pi.de. 2. Suchen Sie auf der Website nach der Produktnummer (z. B. P-763) oder der Produktfamilie (z. B. Nanopositionierer).

  • Seite 9: Sicherheit

    Montage. Die Bewegung erfolgt in zwei Achsen horizontal. Die bestimmungsgemäße Verwendung des P-763 ist nur in Verbindung mit geeigneter Elektronik (S. 11) möglich, die von PI angeboten wird. Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des P-763 enthalten. Die Elektronik muss die benötigten Betriebsspannungen bereitstellen. Außerdem muss sie in der Lage sein, die Signale der Positionssensoren auszulesen und weiterzuverarbeiten, damit die Servoregelung einwandfrei funktioniert.
  • Seite 10  Öffnen Sie den P-763 nicht.  Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des P-763: Schließen Sie den P-763 an die ausgeschaltete Elektronik von PI an, die mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist.  Ziehen Sie die Anschlussstecker nicht während des Betriebs von der Elektronik ab.

  • Seite 11: Organisatorische Maßnahmen

    2 Sicherheit Organisatorische Maßnahmen Benutzerhandbuch  Halten Sie dieses Benutzerhandbuch ständig am P-763 verfügbar. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S. 3) bereit.  Fügen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen, z. B. Ergänzungen und Technical Notes, zum Benutzerhandbuch hinzu.

  • Seite 13: Produktbeschreibung

    3 Produktbeschreibung Produktbeschreibung In diesem Kapitel Produktansicht ..........................9 Produktbeschriftung ........................10 Lieferumfang ..........................11 Geeignete Elektronik ........................11 Erforderliches Zubehör ........................ 11 Technische Ausstattung ....................... 12 Produktansicht Die Abbildung ist exemplarisch und kann von Ihrem Positionierermodell abweichen. Abbildung 1: Exemplarische Produktansicht eines P-763 Grundkörper Bewegungsplattform...

  • Seite 14: Produktbeschriftung

    2 und 3 = Herstellungsjahr 4 bis 9 = fortlaufende Nummer Herstellerlogo Warnzeichen "Handbuch beachten!" Altgeräteentsorgung (S. 39) Country of origin: Germany Herkunftsland WWW.PI.WS Herstelleradresse (Website) Konformitätszeichen CE Schutzleitersymbol, kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des P-763 (S. 16) Kabelabgang der X-Achse Kabelabgang der Y-Achse...

  • Seite 15: Lieferumfang

    3 Produktbeschreibung Lieferumfang Produktnummer Beschreibung P-763.22C Kompakter XY-Nanopositionierer mit freier Apertur, 200 µm × 200 µm, direkte Positionsmessung, kapazitive Sensoren 000036450 Schraubensatz M4 Schutzerde, bestehend aus: 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8, ISO 7045   2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben  PZ240 Kurzanleitung für Piezopositioniersysteme P-5xx / P-6xx / P-7xx Geeignete Elektronik...

  • Seite 16: Technische Ausstattung

    3 Produktbeschreibung Technische Ausstattung 3.6.1 PICMA® Piezoaktoren P-763-Positionierer werden von PICMA® Piezoaktoren angetrieben. PICMA® Aktoren sind vollkeramisch isoliert und daher konventionellen Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit überlegen. Der monolithische Piezokeramikblock ist durch die keramische Isolierschicht vor Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt. Auch unter extremen Umgebungsbedingungen wird so eine besonders hohe Zuverlässigkeit erreicht.

  • Seite 17: Auspacken

    4 Auspacken Auspacken HINWEIS Mechanische Überlastung durch falsche Handhabung! Unzulässige mechanische Belastung der Bewegungsplattform des P-763 kann zu Schäden an den Piezoaktoren, Sensoren und Festkörpergelenken des P-763 sowie zu Genauigkeitsverlusten führen.  Berühren Sie bei der Handhabung des P-763 keine empfindlichen Teile (z. B. Bewegungsplattform).

  • Seite 19: Installation

     Öffnen Sie den P-763 nicht.  Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des P-763: Schließen Sie den P-763 an die ausgeschaltete Elektronik von PI an, die mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist.  Ziehen Sie die Anschlussstecker nicht während des Betriebs von der Elektronik ab.

  • Seite 20: P-763 An Schutzleiter Anschließen

    HINWEIS Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden am P-763 und an der Elektronik verursachen.  Verwenden Sie für den Anschluss des P-763 an die Elektronik nur Kabel von PI. HINWEIS Schäden durch fehlerhafte Montage! Eine fehlerhafte Montage des P-763 oder falsch befestigte Teile können den P-763 beschädigen.
  • Seite 21 5 Installation Der P-763 hat eine Bohrung M4 für die Befestigung des Schutzleiters. Diese Bohrung ist mit dem Schutzleitersymbol gekennzeichnet. Die genaue Lage der Bohrung siehe "Abmessungen" (S. 35). Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 15). ...

  • Seite 22: P-763 Befestigen

    5 Installation P­763 befestigen HINWEIS Verspannen des P­763 durch Montage auf unebenen Flächen! Die Montage des P-763 auf unebener Oberfläche kann den P-763 verspannen. Ein Verspannen verringert die Genauigkeit.  Befestigen Sie den P-763 auf ebener Oberfläche. Die empfohlene Ebenheit der Oberfläche beträgt ≤20 µm.

  • Seite 23: Last Befestigen

    5 Installation Werkzeug und Zubehör Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt (erforderliche Lage und Tiefe der  Bohrungen siehe "Abmessungen" (S. 35)): Vier Durchgangsbohrungen für Schrauben M3 sind vorhanden. − − Die Ebenheit der Oberfläche ist ≤20 µm. − Bei Anwendungen mit großen Temperaturschwankungen: Die Unterlage besitzt möglichst dieselben Wärmeausdehnungseigenschaften wie der P-763 (z.
  • Seite 24 5 Installation HINWEIS Verspannen des P­763 durch Befestigen von Lasten mit unebener Kontaktfläche! Das Befestigen von Lasten mit unebener Kontaktfläche kann den P-763 verspannen. Ein Verspannen verringert die Genauigkeit.  Befestigen Sie auf dem P-763 nur Lasten, deren Kontaktfläche zur Bewegungsplattform des P-763 eine Ebenheit von mindestens 20 μm besitzt.
  • Seite 25 5 Installation Lastschwerpunkt an ungeeigneter Position: Abbildung 6: Hoher Aufbau und Lastschwerpunkt weit oberhalb der Bewegungsplattform Abbildung 7: Langer Hebel und Lastschwerpunkt seitlich der Bewegungsplattform Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 15).  Der P-763 ist nicht an der Elektronik angeschlossen. Werkzeug und Zubehör Schrauben von geeigneter Größe und Länge (S.

  • Seite 27: Inbetriebnahme Und Betrieb

    6 Inbetriebnahme und Betrieb Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb ..............23 P-763 betreiben ........................... 24 P-763 entladen ..........................25 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb VORSICHT Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter! Bei fehlendem oder nicht ordnungsgemäß angeschlossenem Schutzleiter können im Falle eines Fehlers oder Defekts gefährliche Berührungsspannungen am P-763 entstehen.

  • Seite 28: P-763 Betreiben

    Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung! Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Schäden am P-763 verursachen.  Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des P-763.  Überschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich (S. 34), für den der P-763 spezifiziert ist.

  • Seite 29: P-763 Entladen

    Temperaturstabilität eingeschaltet bleibt Vor Demontage (z. B. vor Reinigung und Transport des P-763 sowie bei Umbauten)  Der P-763 wird über den internen Entladewiderstand der Elektronik von PI entladen. An der Elektronik angeschlossenen Positionierer entladen Im geregelten Betrieb: 1. Schalten Sie am Controller den Servomodus aus.

  • Seite 31: Wartung

    7 Wartung Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ....................27 P-763 reinigen ..........................27 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Dejustage durch Lösen von Schrauben! Der P-763 ist wartungsfrei und erreicht seine Positioniergenauigkeit durch die optimierte Abstimmung von mechanischen Komponenten und Piezoaktoren. Gelöste Schrauben führen zum Verlust der Positioniergenauigkeit.

  • Seite 33: Störungsbehebung

    8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Keine oder Kabel nicht korrekt  Prüfen Sie die Kabelanschlüsse. eingeschränkte angeschlossen Bewegung Zu hohe Last  Überschreiten Sie nicht die maximal zulässigen Belastungen gemäß den Spezifikationen (S. 33). Nullpunktverschiebung des  Führen Sie einen Nullpunktabgleich des Sensors aus folgenden Sensors durch (siehe Controller- Gründen:...
  • Seite 34 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Positionierer Regelparameter falsch 1. Schalten Sie den Servomodus der beginnt zu eingestellt, da z. B. die Last betreffenden Bewegungsachsen schwingen oder geändert wurde unverzüglich aus. positioniert 2. Prüfen Sie die Einstellungen der ungenau Regelparameter am Controller. 3.

  • Seite 35: Kundendienst

    9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System −...

  • Seite 37: Technische Daten

    10 Technische Daten Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen ..........................33 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ................34 Abmessungen ..........................35 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ................36 Pinbelegung ..........................36 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle P­763.22C Einheit Toleranz Aktive Achsen X, Y Bewegung und Positionieren Integrierter Sensor Kapazitiv Stellweg in X, Y, geregelt...

  • Seite 38: Bemessungsdaten

    10 Technische Daten 10.1.2 Bemessungsdaten P-763-Positionierer sind für folgende Betriebsgrößen im Dauerbetrieb ausgelegt: Maximale Betriebsspannung Maximale Betriebsfrequenz Maximale (ohne Last) Leistungsaufnahme -20 bis +120 V 100 Hz (in X) 37,6 W (18,8 W pro Achse) 83 Hz (in Y) Um einen stabilen Betrieb zu gewährleisten, wurde die maximale Betriebsfrequenz als ungefähr ein Drittel der mechanischen Resonanzfrequenz definiert.

  • Seite 39: Abmessungen

    10 Technische Daten 10.3 Abmessungen Abmessungen in mm. Abbildung 8: P-763.22C P­763 Nanopositionierer PZ258D Version: 1.1.0...

  • Seite 40: Drehmoment Für Edelstahlschrauben (A2-70)

    10 Technische Daten 10.4 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2­70) Schraubengröße Minimales Drehmoment Maximales Drehmoment 4 Nm 6 Nm 2,5 Nm 3,5 Nm 1,5 Nm 2,5 Nm 0,8 Nm 1,1 Nm M2,5 0,3 Nm 0,4 Nm 0,15 Nm 0,2 Nm M1,6 0,06 Nm 0,12 Nm ...
  • Seite 41 10 Technische Daten Signal Funktion Piezospannung Probe Probe-Sensorsignal (unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors) Data ID-Chip Datenleitung für ID-Chip GND Target und ID-Chip Masse von Target und ID-Chip GND PZT Masse von Piezospannung (nicht verbunden) Target-Sensorsignal (beweglicher Teil des Target kapazitiven Sensors) Gehäuse Schirm P­763 Nanopositionierer...

  • Seite 43: Altgerät Entsorgen

    Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI-Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Auf der Römerstr.

  • Seite 45: Eu-Konformitätserklärung

    12 EU­Konformitätserklärung EU­Konformitätserklärung Für den P-763 wurde eine EU-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: Niederspannungsrichtlinie EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1 EMV: EN 61326-1 RoHS: EN 50581 oder EN IEC 63000 P­763 Nanopositionierer PZ258D Version: 1.1.0...

Diese Anleitung auch für:

P-763.22c

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