Inhaltsverzeichnis
2
Inhaltsverzeichnis
1
1.1
Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.1.1
Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.1.2
1.1.3
Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.2
Support von INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.3
Auspacken . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.3.1
Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.3.2
Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
1.4
1.4.1
1.4.2
Begriffserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.5
1.6
Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.6.1
Aufstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.6.2
1.6.3
1.6.4
1.6.5
E/A-Anschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
2
2.1
2.2
2.2.1
Vorvakuumpumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
2.2.2
2.2.3
Ventilhalterung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
2.2.4
Steuerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.3
2.3.1
2.3.2
2.3.3
3
3.1
Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.2
3.3
3.4
3.4.1
Standard-Modus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
3.4.2
I•Guide-Modus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.4.2.1
3.4.2.2
3.4.2.3