Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 3
Turbo-V 1K-G Retrofit Turbo-V 1K-G Retrofit Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 3/294...
Seite 4
Turbo-V 1K-G Retrofit 4/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa Manutenzione 27 Smaltimento Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch Wartung Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 5/294...
Seite 6
Mise au rebut Manual de istrucciones 57 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 59 Almacenamiento Preparación para la instalación 62 Instalación 63 Fijación de la bomba 64 Mantenimiento 69 Eliminación 70 6/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 7
Fixação da bomba Utilização Manutenção Eliminação 84 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86 Algemene informatie Opslag Uitpakken 90 Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Onderhoud 97 Afvalverwerking 98 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 7/294...
Seite 8
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information 115 Förvaring Förberedelser för installation 118 Installation 119 Fastsättning av pump Användning 122 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 129 8/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 9
10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Varastointi 145 Valmistelut asennusta varten146 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 155 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 156 Általános informáicó 157 Tárolás Előkészítés telepítésre Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 9/294...
Seite 10
Instalacja Mocowanie pompy 176 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 182 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace Uskladnění 187 Příprava k instalaci 188 Instalace Montáž vývěvy 190 10/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 11
Upevnenie vývevy Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila 211 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 212 Splošne informacije 213 Shranjevanje Priprava za montažo 216 Montaža Pritrjevanje črpalke 218 Uporaba Vzdrževanje 223 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 11/294...
Seite 12
Interconnections – Controller Model 9698978M004 How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller RS 232/RS 485 Communication Description 259 Inlet Screen Installation 269 Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Purge Valve Installation 280 12/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 13
Serial Cable Installation (for 9698978M004 Navigator Controller only) Turbo-V 1K-G Retrofit Navigator Controller Installation 281 Connection C - Electrical 284 Pump Used with Corrosive Gases 285 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 288 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 13/294...
Seite 14
Contents 14/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 22 Accensione ed Uso della Turbo-V 1K-G Retrofit Arresto della Turbo-V 1K-G Retrofit 26 Arresto di Emergenza 26 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
(45660 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 1K-G Retrofit è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Seite 18
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 19/294...
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 1K-G Retrofit e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La Turbo-V 1K-G Retrofit deve essere collegata ad una pompa prima- ria (vedere schema in "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Per le flange F le viti in acciaio devono essere di classe > 8.8 La Turbo-V 1K-G Retrofit può essere installata in qualsiasi posizione. AVVERTENZA! La Turbo-V 1K-G Retrofit non può essere fissata tramite la sua base. 22/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 23
(o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. La Turbo-V 1K-G Retrofit ha dei connettori per gli ingres- si/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. 24/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso della Turbo-V 1K-G Retrofit Le istruzioni seguenti si applicano alla Turbo-V 1K-G Retrofit usata in combinazione con il Navigator controller (modello 9698978M004). Riferirsi al manuale dell’unità per l’uso con gli altri modelli di controller (9699454M001 e 9699554M003).
Istruzioni per l’uso Arresto della Turbo-V 1K-G Retrofit Per arrestare la Turbo-V 1K-G Retrofit è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La Turbo-V 1K-G Retrofit non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der Turbo-V 1K-G Retrofit 39 Stoppen der Turbo-V 1K-G Retrofit Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 29/294...
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 30/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Die Turbo-V 1K-G Retrofit ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-Anwendungen. Die Pumpe eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, ist jedoch nicht für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln...
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 32/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 33/294...
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Modell Turbo-V 1K-G Retrofit kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Die Turbo-V 1K-G Retrofit ist an eine Primärpumpe anzu-schließen (siehe Schema in "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Für die Flansche F müssen die Stahlschrauben von der Klasse >8.8 sein Die Turbo-V 1K-G Retrofit kann in jeder beliebigen Position installiert werden. WARNUNG! Die Turbo-V 1K-G Retrofit kann nicht mittels ihres Sockels befestigt werden. 36/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 37
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Die Turbo-V 1K-G Retrofit mit Navigator Controller 9698978M004 gehört zur VORSICHT! zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Die Turbo-V 1K-G Retrofit hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die...
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder WARNUNG! radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. 38/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Sich auf das Handbuch der Einheit für den Gebrauch mit anderen Controller-Modellen (9699454M001 und 9699554M003) beziehen. Zur Einschaltung der Turbo-V 1K-G Retrofit ist sie mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung der Turbo-V 1K-G Retrofit in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. 40/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Turbo-V 1K-G Retrofit erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 42/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Stockage Preparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation Mise en marche et utilisation de la Turbo-V 1K-G Retrofit 53 Arrêt de la Turbo-V 1K-G Retrofit 54 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 56 Traduction de la mode d’emploi originale...
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 44/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
La pompe Turbo-V 1K-G Retrofit est une pompe turbomoléculaire pour applications à haut vide et ultra-haut vide. La pompe est en mesure de pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais elle n'est pas adaptée au pompage de liquides ou de particules...
Seite 46
Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 46/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 47/294...
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la Turbo-V 1K-G Retrofit et à ne pas l’exposer à des choces ou des vibrations. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". La Turbo-V 1K-G Retrofit doit être raccordée à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").
équipements environnants. Fixer la Turbo-V 1K-G Retrofit de façon stable en assurant la collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen d'une connexion en mesure de résister à un couple de 8900 Nm autour de son axe.
Seite 51
être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché à la Turbo-V 1K-G Retrofit a une isolation appropriée même en cas de panne individuelle conformément à la norme EN 61010-1.
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. 52/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
9698978M004). Consulter le manuel de l’appareil pour l’utilisation avec d’autres modèles de contrôleur (9699454M001 et 9699554M003). Pour allumer la Turbo-V 1K-G Retrofit il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Mode d’emploi Utilisation Arrêt de la Turbo-V 1K-G Retrofit Pour arrêter la Turbo-V 1K-G Retrofit, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Mode d’emploi Entretien Entretien La Turbo-V 1K-G Retrofit n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 56/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 62 Instalación Fijación de la bomba Encendido y Uso de Turbo-V 1K-G Retrofit 67 Parada de Turbo-V 1K-G Retrofit 68 Parada de Emergencia 68 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 58/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
(45660 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. Turbo-V 1K-G Retrofit no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuada para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Seite 60
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al no ¡ATENCIÓN! respetarse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 60/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 61/294...
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación Turbo-V 1K-G Retrofit se suministra en un embalaje espe-cial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. Turbo-V 1K-G Retrofit ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Fijar Turbo-V 1K-G Retrofit en posición estable, montando la brida de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con conexión capaz de resistir a un par de 8900 Nm en torno a su propio...
Seite 65
Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado a Turbo-V 1K-G Retrofit mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1.
“Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. 66/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Manual de istrucciones Encendido y Uso de Turbo-V 1K-G Retrofit Las siguientes instrucciones se aplican a Turbo-V 1K-G Retrofit utilizada conjuntamente con el Navigator controller (modelo 9698978M004). Consultar el manual de la unidad para el uso con otros modelos de controller (9699454M001 y 9699554M003).
Manual de istrucciones Parada de Turbo-V 1K-G Retrofit Para parar Turbo-V 1K-G Retrofit basta con desenchufarla de la corriente. El controller incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Turbo-V 1K-G Retrofit no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 70/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 78 Utilização Acendimento e Utilização da Turbo-V 1K-G Retrofit 81 Paragem da Turbo-V 1K-G Retrofit Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 71/294...
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 72/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
(45660 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. A Turbo-V 1K-G Retrofit é totalmente isenta de agentes contaminadores e, portanto, é adequada para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Seite 74
As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 74/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 75/294...
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a Turbo-V 1k-G Retrofit e para não submetê-la a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". A Turbo-V 1K-G Retrofit deve ser ligada a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
A classe de resistência dos parafusos de aço para as flanges "F" deve ser > 8.8 A Turbo-V 1K-G Retrofit pode ser instalada em qualquer posição. ATENÇAO! A Turbo-V 1K-G Retrofit não pode ser fixada por meio da sua base. 78/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 79
(ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. A Turbo-V 1K-G Retrofit tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão.
"Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. 80/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Refere-se ao manual da unidade para o uso com os demais modelos de controller (9699454M001 e 9699554M003). Para ligar a Turbo-V 1K-G Retrofit é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
Manual de Istruções Utilização Paragem da Turbo-V 1K-G Retrofit Para deter a Turbo-V 1K-G Retrofit é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que...
Manual de Istruções Manutenção Manutenção A Turbo-V 1K-G Retrofit não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 84/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik Inschakeling en gebruik van de Turbo-V 1K-G Retrofit 95 Afzetten van de Turbo-V 1K-G Retrofit Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 98 Vertaling van de originele instructies 85/294...
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 86/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
De Turbo-V 1K-G Retrofit is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen. De pomp is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Seite 88
Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 88/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 89/294...
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 1K-G Retrofit niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De Turbo-V 1K-G Retrofit moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
De klasse van de stalen schroeven voor de "F" flenzen moet > 8.8 zijn De Turbo-V 1K-G Retrofit kan in alle standen worden geïn-stalleerd. WAARSCHUWING! De Turbo-V 1K-G Retrofit kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. 92/294...
Seite 93
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp De Turbo-V 1K-G Retrofit met Navigator controller 9698978M004 behoort tot de VOORZICHTIG! tweede installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De Turbo-V 1K-G Retrofit bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten...
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. 94/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
9698978M004). Raadpleeg de handleiding van de unit voor het gebruik met de andere controllermodellen (9699454M001 en 9699554M003). Om de Turbo-V 1K-G Retrofit in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren. Noodstop Om de Turbo-V 1K-G Retrofit in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. 96/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 97/294...
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgørelse af pumpe 106 Anvendelse Start og anvendelse af Turbo-V 1K-G Retrofit 109 Stop af Turbo-V 1K-G Retrofit Nødstop 110 Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 99/294...
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 100/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (45660 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 1K-G Retrofit er helt uden skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. Hvis Turbo-V 1K-G Retrofit pumpen anvences med Navigator controlleren 9698978M004, er den udstyret med hjælpestik, der gør...
Seite 102
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 102/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 103/294...
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 1K-G Retrofit ikke tabes eller udsættes for stød eller vibrationer. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Figur 2 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. Turbo-V 1K-G Retrofit skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 105/294...
Montér Turbo-V 1K-G Retrofit i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm omkring dens egen akse.
Seite 107
(eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. Turbo-V 1K-G Retrofit er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele.
ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. 108/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Navigator controller (model 9698978M004). Der henvises til enhedens brugervejledning angående brug med andre controller modeller (9699454M001 og 9699554M003). For at starte Turbo-V 1K-G Retrofit er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Istruktionsbog Anvendelse Stop af Turbo-V 1K-G Retrofit For at afbryde Turbo-V 1K-G Retrofit er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 1K-G Retrofit behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 112/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pump 120 Användning Start och användning av Turbo-V 1K-G Retrofit 123 Att stänga av Turbo-V 1K-G Retrofit Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 113/294...
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 114/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Systemet Turbo-V 1K-G Retrofit är en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Pumpen kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte pumpen för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Seite 116
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 116/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 117/294...
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer OBSERVER! pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 1K-G Retrofit. Trots OBSERVERA det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Figur 2 I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbo-V 1K-G Retrofit måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Fäst Turbo-V 1K-G Retrofit i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på 8900 Nm kring sin axel.
Seite 121
åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till Turbo-V 1K-G Retrofit har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
(se bilagan “Technical information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 122/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Navigator controller (modell 9698978M004). Se handboken för ytterligare information om hur den används med andra controller-modeller (9699454M001 och 9699554M003). För att starta Turbo-V 1K-G Retrofit behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.
Bruksanvisning Användning Att stänga av Turbo-V 1K-G Retrofit Om du vill stänga av Turbo-V 1K-G Retrofit behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 1K-G Retrofit är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat...
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 126/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 128 Lagring Klargjøre til installasjon 132 Installasjon Festing av pumpen Bruk Starte og bruke Turbo-V 1K-G Retrofit 137 Stoppe Turbo-V 1K-G Retrofit Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 127/294...
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 128/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit er en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuum. Pumpen kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke egnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Seite 130
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 130/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 131/294...
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 1K-G Retrofit pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
FORSIKTIG! systemet. Figur 2 Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Turbo-V 1K-G Retrofit må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 133/294...
Dette kan føre til alvorlige skader eller død og/eller skader på annet utstyr i nærheten. Fest Turbo-V 1K-G Retrofit i en stabil posisjon, monter turbopumpens innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til å...
Seite 135
Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Turbo-V 1K-G Retrofit har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
(argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 136/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Navigator controller (modell 9698978M004). Se styreenhetens bruksanvisning for bruk med andre controller-modeller (9699454M001 og 9699554M003). Turbo-V 1K-G Retrofit startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen deaktiveres, slik at etterfølgende...
Instruksjon Manual Bruk Stoppe Turbo-V 1K-G Retrofit Turbo-V 1K-G Retrofit stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. ADVARSEL! Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet.
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 1K-G Retrofit er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 140/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 148 Käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin käynnistys ja käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin pysäyttäminen Hätäpysäytys 152 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 141/294...
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 142/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit -pumpussa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Kun Turbo-V 1K-G Retrofit -pumppua käytetään Navigator controller 9698978M004 -ohjaimen kanssa, siihen kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä...
Seite 144
Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 144/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 145/294...
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 1K-G Retrofit ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). HUOM On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. Turbo-V 1K-G Retrofit tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 147/294...
25 Nm ISO 200 F 25 Nm Laippojen F teräsruuvien tulee olla luokkaa > 8.8 Turbo-V 1K-G Retrofit voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. VAROITUS! Turbo-V 1K-G Retrofitia ei voida kiinnittää perustansa kautta. 148/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 149
Turbo-V 1K-G Retrofit laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että Turbo-V 1K-G Retrofit laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Ohjekäsikirja Käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin käynnistys ja käyttö Seuraavat ohjeet koskevat Turbo-V 1K-G Retrofit -pumppua, kun sitä käytetään yhdessä Navigator controller -ohjaimen (malli 9698978M004) kanssa. Ohjeita käytöstä muiden ohjainmallien (9699454M001 ja 9699554M003) kanssa on käyttöoppaassa. Turbo-V 1K-G Retrofitin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon.
Ohjekäsikirja Käyttö Turbo-V 1K-G Retrofitin pysäyttäminen Turbo-V 1K-G Retrofitin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 1K-G Retrofit ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 154/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 160 Telepítés A szivattyú rögzítése Használat A Turbo-V 1K-G Retrofit bekapcsolása és használata 165 A Turbo-V 1K-G Retrofit kikapcsolása 166 Vészleállítás 166 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 155/294...
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 156/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konk-rét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 1K-G Retrofit egy turbo-molekuláris szivattyú nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz. A szivattyú bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására.
Seite 158
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 158/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 159/294...
FIGYELEM! kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a Turbo-V 1K-G MEGJEGYZÉS Retrofitot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.
Ábra 2 Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A Turbo-V 1K-G Retrofitot primer szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 161/294...
Ebben az esetben fémrészecskék állhatnak ki a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly sérülést vagy halált és/vagy környezet károsodást okozhat. Rögzítse a Turbo-V 1K-G Retrofitot stabil helyen, a turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve, 8900 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással.
Seite 163
úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők. Győződjön meg róla, hogy a Turbo-V 1K-G Retrofithoz csatlakoztatott eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az RN 61010-1 direktíva szerint. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
(lásd “Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! 164/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
A Turbo-V 1K-G Retrofit bekapcsolása és használata Az alábbi utasításokat a Navigator controller (9698978M004 modell) együtt használt Turbo-V 1K-G Retrofit esetében kell alkalmazni. Vegye figyelembe a többi controllermodellek való együttes használatra vonatkozó utasításokban írottakat (9699454M001 és 9699554M003). A Turbo-V 1K-G Retrofit bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget.
Felhasználói Kézikönyv Használat A Turbo-V 1K-G Retrofit kikapcsolása A Turbo-V 1K-G Retrofit kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 1K-G Retrofit nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 168/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 170/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit jest pompą turbomolekularną stosowsaną w przypadku wysokiej i ultra- wysokiej próżni. Pompa jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowana do pompowania płynów lub stałych cząstek.
Seite 172
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 172/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 173/294...
Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit, nie może być uszkodzona poprzez wystawienie jej PRZYPIS na działanie atmosfery. W związku z tym zaleca się, aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej...
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit musi być podłączona do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Technical Information”) Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 175/294...
Dla kołnierzy F śruby stalowe muszą posiadać klasę > 8.8 Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji. ZAGROZENIE! Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit nie może być mocowana poprzez własną podstawę 176/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 177
9698978M004 należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część...
(Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical Information”). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. 178/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Włączenie i Użytkowanie pompy Turbo-V 1K-G Retrofit Niżej podane instrukcje mają zastosowanie w przypadku pompy Turbo-V 1K-G Retrofit stosowanej razem ze sterownikiem typu Navigator controller (model 9698978M004). Należy zapoznać się z instrukcjami jednostek stosowsanych z innymi modelami sterownikówr (9699454M001 i 9699554M003).
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa Turbo-V 1K-G Retrofit nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
, po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 182/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace 185 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití Zapnutí a používání vývěvy Turbo-V 1K-G Retrofit 193 Zastavení Turbo-V 1K-G Retrofit 194 Nouzové zastavení Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 183/294...
NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 184/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Turbo-V 1K-G Retrofit je turbomolekulární vývěva, určená pro aplikace s vysokým a velmi vysokým vakuem.Vývěva může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs, ale není vhodná na čerpání...
Seite 186
činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 186/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
10 měsíců ode dne doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 187/294...
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Turbo-V 1K-G Retrofit se nemůže poškodit tím, že zůstane jednoduše vystavena POZNÁMKA atmosférickým vlivům.Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Turbo-V 1K-G Retrofit se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz schéma v části "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
úlomky, které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení. Upevněte Turbo-V 1K-G Retrofit do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8900 Nm kolem své...
Seite 191
žádná elektrická součást nebyla přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k Turbo-V 1K-G Retrofit byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 192/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy Turbo-V 1K-G Retrofit Následující pokyny se aplikují na Turbo-V 1K-G Retrofit použitou v kombinaci se zařízením Navigator controller (model 9698978M004). Při použití s jinými modely zařízení controller (9699454M001 a 9699554M003) vycházejte z návodu k použití jednotky.
Návod k Použití Použití Zastavení Turbo-V 1K-G Retrofit Pro zastavení Turbo-V 1K-G Retrofit je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Návod k Použití Údržba Údržba Turbo-V 1K-G Retrofit nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 196/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy 198 Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Turbo-V 1K-G Retrofit 207 Zastavenie Turbo-V 1K-G Retrofit 208 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 197/294...
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 198/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. La Turbo-V 1K-G Retrofit je turbomolekulárna výveva, určená pre aplikácie s vysokým a veľmi vysokým vákuom.Výveva dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je však vhodná...
Seite 200
Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 200/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 201/294...
POZOR! budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu. Turbo-V 1K-G Retrofit se nemôže poškodiť tým, že zostane jednoducho vystavená POZNÁMKA atmosférickým vplyvom. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom.
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Turbo-V 1K-G Retrofit musí byť pripojená k primárnemu čerpadlu (viď schéma v časti "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo poškodiť ďalšie zariadenia. Upevnite Turbo-V 1K-G Retrofit do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému. Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8900 Nm okolo vlastnej osi.
Seite 205
žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k k Turbo-V 1K-G Retrofit má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.
, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. 206/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Turbo-V 1K-G Retrofit Nasledujúce pokyny sa aplikujú na Turbo-V 1K-G Retrofit použitú v kombinácii so zariadením Navigator controller (model 9698978M004). Pri použití s inými modelmi zariadenia controller (9699454M001 a 9699554M003) vychádzajte z návodu na použitie jednotky.
Návod na Obsluhu Použitie Zastavenie Turbo-V 1K-G Retrofit Ak chcete zastaviť Turbo-V 1K-G Retrofit, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...
“Request for Return”, Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia vývevy, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 209/294...
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 210/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave Turbo-V 1K-G Retrofit Izklop naprave Turbo-V 1K-G Retrofit Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 211/294...
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 212/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit je turbomolekularna črpalka za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Črpalka lahko črpa vse tipe plinov ali plinskih zmesi, vendar ni primerna za črpanje tekočin ali trdnih delcev.
Seite 214
če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 214/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 215/294...
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Turbo-V 1K-G Retrofit je dobavljen v posebni zaščitni embalaži; če je embalaža poškodovana zaradi transporta, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odstranjevanju embalaže pazite, da vam Turbo- V 1K-G Retrofit ne pade iz rok in da ni izpostavljen tresljajem ali udarcem.
V prisotnosti magnetnih polj mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Turbo-V 1K-G Retrofit mora biti priključena na primarno črpalko (glejte shemo v "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
25 Nm Razred jeklenih vijakov za “F” prirobnico mora biti > 8.8 Turbo-V 1K-G Retrofit lahko namestite v poljuben položaj. SVARILO! Turbo-V 1K-G Retrofit ne morete pritrditi z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. 218/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 219
POZOR! 9698978M004 v drugo kategorijo za nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priključite na napetost, ki je v skladu z zgornjo kategorijo. Naprava Turbo-V 1K-G Retrofit ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na Turbo-V 1K-G Retrofit, primerna tudi v primeru...
»Soft Start« zagona je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Technical Information«). Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 1K-G Retrofit, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Prižgana, brez utripanja: Črpalka se normalno vrti;...
Visoka napetost, ki je prisotna v krmilniku, lahko povzroči hude poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti, izvlecite napajalni kabel. Zaustavitev v sili Za takojšen izklop naprave Turbo-V 1K-G Retrofit je treba izključiti napetostni kabel iz krmilnika. 222/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave Turbo-V 1K-G Retrofit ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti pooblaščeno osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 224/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation 230 Installation Pump fixing Switching on and Use of Turbo-V 1K-G Retrofit 235 Turbo-V 1K-G Retrofit Switching off 236 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 225/294...
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 226/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
The Turbo-V 1K-G Retrofit is turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications. It can pump any type of gas or gas compound.
Seite 228
The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 228/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 229/294...
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The Turbo-V 1K-G Retrofit is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V 1K-G Retrofit must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Fix the Turbo-V 1K-G Retrofit in a stable position mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 8900 Nm around its axis.
Seite 233
Instructions for Use Pump fixing The Turbo-V 1K-G Retrofit with Navigator controller 9698978M004 belongs to the CAUTION! second installation (or overvoltage) category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the above category. The Turbo-V...
WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. 234/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
(9699454M001 and 9699554M003). To switch on the Turbo-V 1K-G Retrofit it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
Instructions for Use Turbo-V 1K-G Retrofit Switching off To switch off the Turbo-V 1K-G Retrofit it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see WARNING! orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 1K-G Retrofit does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 238/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual Technical Information Pump Description 9698978 Controller Description Technical Specification Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Interconnections – Controller Model 9698978M004 P3 - Vent P4 – External Fan J1 – In-Out Signal Description HOW to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller How to Connect the Outputs of the Controller 257 P2 –...
Seite 240
Turbo-V 1K-G Retrofit Navigator Controller Installation 281 Bottom Mounting Fore-Vacuum Pump Connection C - Electrical Pump Used with Corrosive Gases 285 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 240/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Select AIR COOLING setting (Navigator Controller: WIN 106 = “0”, Rack Controller: WIN 102 = “0”) if the water temperature is 22 °C ≤ T ≤ 30 °C (in this case the max power is 330 W). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 241/294...
AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (optional). 242/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
< 0.01 µm at inlet flange Lubricant permanent lubrication Cooling requirements Water Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) Temperature: +10 °C to +30 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 243/294...
Seite 244
ISO 200 flange 26.7 (58.9) Navigator Controller 5.4 (12) When the Turbo-V 1K-G Retrofit has been stored at a temperature less than NOTE 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. 244/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Technical Information Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Turbo-V 1K-G Retrofit Outline The following figures show the Turbo-V 1K-G Ret-rofit outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 3 8698961R001 (ISO 160 F inlet flange – KF25 foreline flange) Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 246
Technical Information Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Figure 4 8698962 (ISO 200 F inlet flange – KF40 foreline flange) 246/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 247
Turbo-V 1K-G Retrofit Outline Figure 5 Pumping speed diagram for 8698962 (ISO 200F flange) turbopump model, with a 36 m /h foreline pump Figure 6 Graph of compression ratio vs foreline pressure Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 247/294...
Technical Information Interconnections – Controller Model 9698978M004 Interconnections – Controller Model 9698978M004 The following figure shows the Turbo-V 1K-G Retrofit interconnections with Navigator controller (9698978M004). For Rack Controller models see the specific controller manuals. Figure 7 P3 - Vent Figure 8...
This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the Turbo-V 1K-G Retrofit. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 249/294...
+24 Vdc pin and the interlock (-) signal to the GROUND pin. Speed setting: PWM input signal to set the pump speed. The PWM signal characteristics must be the following: frequency: 100 Hz +/-20% 250/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 251
Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). Figure 12 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 251/294...
Seite 252
24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz). It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. 252/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 253
When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). MATING CONNECTOR Figure 14 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 253/294...
How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of Turbo-V 1K-G Retrofit to an external system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.
Seite 255
Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 16 Case 2 with relay utilisation Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 255/294...
Seite 256
Technical Information How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Figure 17 Case 2 with transistor utilisation 256/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
P2 – Serial Figure 19 9 pin connector This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 1K-G Retrofit. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 257/294...
Seite 258
Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection. NOTE A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). 258/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
(MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 259/294...
Seite 260
written into the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table: 260/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 261
Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> The controller can answers with the following response types: Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 261/294...
Seite 262
Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for ex-ample you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 262/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 263
RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 263/294...
Seite 264
RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 264/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Intercooling 0 = NO 1 = YES Active Stop (write only in 0 = NO stop) 1 = YES Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 265/294...
Seite 266
1 (see note 2.) Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc 266/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 267
(where “XXXX” are variable) Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 267/294...
Seite 268
2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 20 Window N. 206 Bit Description 268/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 269/294...
Seite 270
The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 24 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. 270/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 271
Technical Information Inlet Screen Installation ISO 160F DIMENSIONS: mm [inches] Figure 25 ISO 200F DIMENSIONS: mm [inches] Figure 26 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 271/294...
Water Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted. The Turbo-V 1K-G Retrofit must be always water cooled. The two model part numbers are: 9699825 and 9699826. Figure 27 Model 9699825...
Seite 273
The items of the kit 9699826 kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure. Figure 29 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. Figure 30 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 273/294...
Seite 274
200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 274/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 275/294...
Seite 276
Technical Information Vent Accessories Figure 32 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 33 276/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
This vent valve has a fixed delay time of about 5 sec. This value can be used only with rack controller. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 9699834 (see the above paragraph). Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 277/294...
The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). This value can be used only with rack controller. To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see figure below). Figure 36 278/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 279
Screw the flange mod. 9699108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Figure 37 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 279/294...
Figure 38 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 39 280/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
(for 9698978M004 Navigator Controller only) Serial Cable Installation (for 9698978M004 Navigator Controller only) The supplied serial cable must be installed when the Turbo-V 1K-G Retrofit or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer.
Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 41 282/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. The Turbo-V 1K-G Retrofit pump is characterized by its high compression ratio NOTE also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming.
If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. 284/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can’t be kept opened, the backing pump should be left operating. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 285/294...
Seite 286
Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 43 Purge layout 286/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B) 287/294...
Dry pump TriScroll 600, with 1 ph, worldwide motor PTS06001UNIV Dry pump TriScroll 600, with 3 ph, worldwide motor PTS06003UNIV Dry pump TriScroll 600 inverter, with 1 ph, worldwide motor PTS06001INV 288/294 Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)
Seite 294
Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...