Seite 1 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps Models 9696000 9696001 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...
Seite 2 Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 3 Turbo-V 2300 TwisTorr Turbo-V 2300 TwisTorr Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 3/260...
Seite 4 Turbo-V 2300 TwisTorr 4/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 25 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 32 Installation 34 Gebrauch Wartung Entsorgung 40 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 5/260...
Seite 6 Información general 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación 62 Uso 65 Mantenimiento 67 Eliminación 68 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais 71 Armazenagem 73 6/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 7 Algemene informatie Opslag Uitpakken 88 Installatie 90 Gebruik Onderhoud 95 Afvalverwerking 96 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 99 Opbevaring 101 Forberedelse før installation 102 Installation 104 Anvendelse 107 Vedligeholdelse 109 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 7/260...
Seite 8 Användning 121 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 125 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon 130 Installasjon 132 Bruk Vedlikehold 137 Eliminering 138 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 9 Általános Információ 155 Tárolás Előkészítés telepítésre 158 Telepítés Használat 163 Karbantartás Megsemmisítés 166 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 168 Ogólne informacje 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja Użytkowanie Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 9/260...
Seite 10 Použití Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 195 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 10/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 11 Preparation for Installation 228 Installation 230 Use 233 Maintenance Disposal Technical Information 237 Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr 238 Technical Specification 240 Turbo-V 2300 TwisTorr Outline Inlet Screen Installation 244 Water Cooling Connection Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 11/260...
Seite 12 Contents Pump Purging and Venting 247 High Vacuum Flange Connection 250 Fore-Vacuum Pump Connection 251 Connection C-Electrical 251 Pump used in Presence of Magnetic Fields Orderable Parts 253 12/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/260...
Seite 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 15: Informazioni Generali
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (33300 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 2300 TwisTorr è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Seite 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 17: Immagazzinamento
10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 17/260...
Seite 18: Preparazione Per L'installazione
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2300 TwisTorr e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è...
Seite 19 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Nell’imballo della Turbo-V 2300 TwisTorr sono compresi: pompa inlet screen (montato) questo manuale su CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 19/260...
Seite 20: Installazione
Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è stata ATTENZIONE! fissata al sistema. 20/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 21 In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La Turbo-V 2300 TwisTorr deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La Turbo-V 2300 TwisTorr deve essere installata in posizione verticale (con la flangia verso l’alto o verso il basso).
Seite 22 Istruzioni per l’uso Installazione AVVERTENZA! La Turbo-V 2300 TwisTorr non può essere fissata tramite la sua base. Il sistema può essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. AVVERTENZA! Il mancato rispetto di queste istruzioni d’installazione, nel caso in cui si verifichi un guasto al rotore, può...
Seite 23: Uso
(Azoto o Elio) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano ATTENZIONE! danneggiare i materiali interni alla pompa. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 23/260...
Seite 24 Azoto, Argon e gas più leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecnica della Agilent per informazioni. 24/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 25: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La Turbo-V 2300 TwisTorr non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Seite 26: Smaltimento
Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 26/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 27: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/260...
Seite 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 29: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Die Pumpen der Serie Turbo-V 2300 TwisTorr sind Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahoch- Vakuumanwendungen, und sind in der Lage, viele Gasearten oder gasförmge Zusammensetzungen zu pumpen. Sie sind nicht geeignet, um Flüssigkeiten oder solide Partikel zu pumpen.
Seite 30 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 30/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 31: Lagerung
Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 31/260...
Seite 32: Vor Der Installation
VORSICHT! Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die Turbo-V 2300 TwisTorr kann durch ledigliche Einwirkung von HINWEIS atmosphärischen Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten.
Seite 33 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Verpackungsinhalt der Turbo-V 2300 TwisTorr: Pumpe Inlet-Screen (montiert) Betriebsanleitung auf CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 33/260...
Seite 34: Installation
Gewindebohrungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind. Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das VORSICHT! System entfernt werden. Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen, wenn die Turbopumpe am System VORSICHT! befestigt ist. 34/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 35 Modell Turbo-V 2300 TwisTorr muss in aufrechter Position installiert werden (mit dem Flansch nach oben oder unten). Modell Turbo-V 2300 TwisTorr ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 40000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Seite 36 Gebrauchsanleitung Installation WARNUNG! Die Turbo-V 2300 TwisTorr kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. Zur Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO 250F verwendet werden. WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Anleitung, sollte sich ein Schaden am Rotor ergeben, kann zur Loslösung der Pumpe vom System führen mit Schäden an Dingen oder schweren Verletzungen oder zum Tod von Personen führen.
Seite 37: Gebrauch
(Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämpfen benutzen, weil VORSICHT! sie das Material im Innern der Pumpe beschädigen könnten. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 37/260...
Seite 38 Die Pumpe ist für einen hohen Durchsatz an Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert. Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist, die schwerer als Argon sind, ist mit dem Technischen Kundendienst von Agilent Rücksprache zu halten. 38/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 39: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell Turbo-V 2300 TwisTorr erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Seite 40: Entsorgung
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 40/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 41: Mode D'emploi
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales 43 Stockage Préparation pour l‘installation 46 Installation Utilisation Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 41/260...
Seite 42: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 42/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 43: Indications Générales
Les pompes de la série Turbo-V 2300 TwisTorr sont des pompes turbomoléculaires destinées à des applications en haut-vide ou ultra- haut vide, en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de composés gazeux.
Seite 44 Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. NOTE 44/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 45: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 45/260...
Seite 46: Préparation Pour L'installation
Mode d’emploi Préparation pour l‘installation Préparation pour l‘installation Le Turbo-V 2300 TwisTorr est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Seite 47 Mode d’emploi Préparation pour l‘installation La pompe Turbo-V 2300 TwisTorr comprend : Pompe Protection d’entrée (montée) CD-Rom contenant cette notice d’utilisation Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 47/260...
Seite 48: Installation
Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo ATTENTION! pompe au système. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe ATTENTION! au système. 48/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 49 Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 2300 TwisTorr doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le Turbo-V 2300 TwisTorr doit être installé en position verticale (avec la bride vers le haut ou vers le bas).
Seite 50 Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information". 50/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 51: Utilisation
à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (Azote ou Hélium) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 51/260...
Seite 52 La pompe est conçue pour garantir un transfert élevé de l’azote, de l’argon et des gaz plus légers. En cas de pompage de gaz plus lourds que l’argon, contacter le service technique Agilent pour informations. 52/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 53: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 2300 TwisTorr n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Seite 54: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 54/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 55: Manual De Istrucciones
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Información general Almacenamiento 59 Preparación para la instalación 60 Instalación Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 55/260...
Seite 56: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 56/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 57: Información General
Las bombas de la serie Turbo-V 2300 TwisTorr son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vacío, en grado de bombear muchos tipos de gases o de compuestos gaseosos.
Seite 58 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 58/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 59: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 59/260...
Seite 60: Preparación Para La Instalación
Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. La Turbo-V 2300 TwisTorr no puede sufrir daños sólo por quedar expuesta a la NOTA acción de la atmósfera. No obstante, se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación del mismo.
Seite 61 Manual de istrucciones Preparación para la instalación El embalaje de la Turbo-V 2300 TwisTorr contiene: bomba inlet screen (montado) el presente manual en CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 61/260...
Seite 62: Instalación
No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina ¡ATENCIÓN! al sistema. Quitar la protección de los conectores solamente después de haber fijado al ¡ATENCIÓN! sistema la turbobomba. 62/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 63 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 2300 TwisTorr ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El Turbo-V 2300 TwisTorr debe ser instalado en una posición vertical (con la brida hacia arriba o hacia abajo).
Seite 64 Manual de istrucciones Instalación ¡ADVERTENCIA! La Turbo-V 2300 TwisTorr no puede ser fijada por medio de su ba-se. El sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F. ¡ADVERTENCIA! El incumplimiento de estas instrucciones de instalación, en el caso de que se verifique una avería del rotor, puede provocar la separación de la bomba de la...
Seite 65: Uso
Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). Nunca usar la bomba en presencia de gases o vapores corrosivos que puedan ¡ATENCIÓN! dañar los materiales del interior de la bomba. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 65/260...
Seite 66 En caso de que deban bombearse gases más pesados que el argón se ruega tomar contacto con la Asistencia Técnica de Agilent a fin de recibir mayores informaciones. 66/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 67: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El Turbo-V 2300 TwisTorr no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Seite 68: Eliminación
Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 68/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 69: Manual De Istruções
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 69/260...
Seite 70: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 70/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 71: Informações Gerais
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (31800 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 2300 TwisTorr é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Seite 72 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 72/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 73: Armazenagem
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 73/260...
Seite 74: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 2300 TwisTorr é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Seite 75 Manual de Istruções Preparação para a instalação A embalagem da Turbo-V 2300 TwisTorr contém: bomba inlet screen (montado) este manual em CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 75/260...
Seite 76: Instalação
Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema. CUIDADO! Retirar a protecção dos conectores somente depois que a turbobomba estiver CUIDADO! fixada ao sistema. 76/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 77 (consultar esquema em "Technical Information"). O Turbo-V 2300 TwisTorr deve ser instalado na posição vertical (com a flange para cima ou para baixo). Fixar o Turbo-V 2300 TwisTorr em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 40000 Nm ao redor do próprio eixo.
Seite 78 Manual de Istruções Instalação ATENÇAO! A Turbo-V 2300 TwisTorr não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. ATENÇAO! O desrespeito a estas instruções de instalação, no caso em que se verifique um defeito no rotor, pode implicar no desengate da bomba do sistema com danos às coisas ou sérios danos ou a morte das pessoas.
Seite 79: Utilização
(Azoto ou Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). Jamais usar a bomba na presença de gases ou vapores corrosivos que possam CUIDADO! danificar os materiais no interior da bomba. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 79/260...
Seite 80 Azoto, Argon e gases mais leves. Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que o Argon, aconselha-se a entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para obter maiores informações. 80/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 81: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 2300 TwisTorr não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Seite 82: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 82/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 83: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Onderhoud Afvalverwerking 96 Vertaling van de originele instructies 83/260...
Seite 84: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 84/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 85: Algemene Informatie
De pompen van de serie Turbo-V 2300 TwisTorr zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultra-hoge vacuümtoepassingen, en kunnen vele soorten gas of gasvormige verbindingen verpompen.
Seite 86 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 86/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 87: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 87/260...
Seite 88: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2300 TwisTorr niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp aan het systeem is bevestigd.
Seite 89 Bedrijfshandleiding Uitpakken In de verpakking van de Turbo-V 2300 TwisTorr zijn aanwezig: pomp inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 89/260...
Seite 90: Installatie
Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem VOORZICHTIG! wordt verbonden. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp VOORZICHTIG! aan het systeem is bevestigd. 90/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 91 De Turbo-V 2300 TwisTorr moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical Information"). De Turbo-V 2300 TwisTorr moet rechtop (met de flens naar boven of naar beneden) worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 2300 TwisTorr in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 40000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Seite 92 Bedrijfshandleiding Installatie WAARSCHUWING! De Turbo-V 2300 TwisTorr kan niet bevestigd worden via zijn basis. Het systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F flens. WAARSCHUWING! Indien deze installatie-instructies niet worden opgevolgd kan bij optreden van een defect aan de rotor de pomp van het systeem losraken met als gevolg schade aan voorwerpen of ernstig letsel of levensgevaar voor personen.
Seite 93: Gebruik
(zie bijlage “Technical Information”). Gebruik de pomp nooit bij corrosieve gassen of dampen die het materiaal aan de VOORZICHTIG! binnenkant van de pomp kunnen beschadigen. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 93/260...
Seite 94 Argon en lichtere gassen ontworpen. Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan Argon te pompen, wordt u verzocht om contact op te nemen met de Technische Service van Agilent voor informatie. 94/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 95: Onderhoud
Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 95/260...
Seite 96: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 96/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 97: Istruktionsbog
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/260...
Seite 98: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 98/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 99: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (33000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 2300 TwisTorr er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af...
Seite 100 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 100/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 101: Opbevaring
 forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 101/260...
Seite 102: Forberedelse Før Installation
Turbo-V 2300 TwisTorr leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 2300 TwisTorr ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet fastgjort til systemet.
Seite 103 Istruktionsbog Forberedelse før installation Emballagen med Turbo-V 2300 TwisTorr indeholder: Pumpe Indgangsflange (monteret) Cd-rom med denne manual Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 103/260...
Seite 104: Installation
Benyt øjeboltene, der er fastspændt i gevindhullerne på pumpehuset. Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til FORSIGTIG! systemet. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet FORSIGTIG! fastgjort til systemet. 104/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 105 Turbo-V 2300 TwisTorr skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 2300 TwisTorr må installeres i oppreist stilling (med flensen oppover eller nedover). Fastgør Turbo-V 2300 TwisTorr i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på...
Seite 106 Istruktionsbog Installation ADVARSEL! Turbo-V 2300 TwisTorr pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens sokkel. Pumpen kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F flange. ADVARSEL! Den manglende overholdelse af installationsanvisningerne, hvis der opstår en fejl på rotoren, kan forårsage frakobling af pumpen fra systemet, og medføre beskadigelser til udstyr og alvorlige kvæstelser eller dødsfald.
Seite 107: Anvendelse
ædelgasser (kvælstof eller helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan FORSIGTIG! beskadige pumpens indvendige dele. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 107/260...
Seite 108 Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for kvælstof, argon og lettere gasarter. Kontakt Agilents tekniske servicecenter vedrørende yderligere oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er tungere end argon. 108/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 109: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 2300 TwisTorr behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Seite 110: Bortskaffelse
For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 110/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 111: Bruksanvisning
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 112 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 116 Installation Användning Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 111/260...
Seite 112: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 112/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 113: Allmän Information
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V 2300 TwisTorr, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Seite 114 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 114/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 115: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 115/260...
Seite 116: Förberedelser För Installationen
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p OBSERVER! g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Pumpen Turbo-V 2300 TwisTorr skadas inte av normal luftpåverkan. Det OBSERVERA rekommenderas dock att hålla pumpen stängd och förseglad tills den installeras i systemet.
Seite 117 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Turbo-V 2300 TwisTorr förpackning innehåller: Pump Intagsfläns (monterad) Denna bruksanvisning på CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 117/260...
Seite 118: Installation
Använd lyftöglorna som är fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset. Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. OBSERVER! Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på OBSERVER! systemet. 118/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 119 ANT. ÅTDRAGNINGS-MOMENT ISO 250 F M10 bult 30 Nm VARNING! Turbo-V 2300 TwisTorr kan inte fästas med hjälp av sitt fundament. Systemet kan endast fästas med hjälp av flänsen ISO 250F. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 119/260...
Seite 120 Om dessa installtionsinstruktioner inte iakttas, om det uppstår skada på rotorn, kan det medföra att pumpen lossnar från systemet med följande materialskador eller allvarliga eller livshotande skador för personer. Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information”. 120/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 121: Användning
ädelgas (Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se bilagan “Technical Information”). Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor som kan skada OBSERVER! pumpens invändiga material. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 121/260...
Seite 122 Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve, argon och lättare gaser. Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon, kontakta Agilents tekniska service för information. 122/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 123: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 2300 TwisTorr är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Seite 124: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 124/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 125: Instruksjon Manual
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 127 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 125/260...
Seite 126: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 126/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 127: Generell Informasjon
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 33000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 2300 TwisTorr har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å...
Seite 128 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 128/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 129: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres FORSIKTIG! til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 129/260...
Seite 130: Klargjøre Til Installasjon
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 2300 TwisTorr pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Seite 131 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon I esken med Turbo-V 2300 TwisTorr finnes følgende: Pumpe Inngangsflens (montert) Denne veiledningen på CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 131/260...
Seite 132: Installasjon
Bruk øyeboltene som er strammet til i de gjengete hullene på pumpehuset. Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til FORSIKTIG! systemet. 132/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 133 Turbo-V 2300 TwisTorr må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr skal installeres i opret stilling (med flangen opad eller nedad). Fest Turbo-V 2300 TwisTorr i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 40000 Nm rundt aksen.
Seite 134 Manglende respekt for disse installeringsinstruksene kan føre til feil på rotor og dermed til at pumpa løsner fra systemet. Dette kan føre til alvorlig skade på ting eller personer. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information". 134/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 135: Bruk
å bruke for å mate pumpen med en strømning av uvirksom gass (nitrogen eller helium) for å beskytte lagrene (se vedlegget "Technical Information"). Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan skade materiale FORSIKTIG! inne i pumpen. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 135/260...
Seite 136 Pumpen er utviklet for å pumpe store mengder med nitrogen, argon og lettere gasser. Hvis det er nødvendig å pumpe gasser som er tyngre enn argon, vennligst kontakt Agilent’s tekniske service for informasjon. 136/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 137: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 2300 TwisTorr er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Seite 138: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 138/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 139: Ohjekäsikirja
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 139/260...
Seite 140: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 140/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 141: Yleisiä Tietoja
"puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 141/260...
Seite 142 Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 142/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 143: Varastointi
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 143/260...
Seite 144: Valmistelut Asennusta Varten
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 2300 TwisTorr ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin HUOM suositeltavaa säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten estetään järjestelmän likaantuminen.
Seite 145 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo-V 2300 TwisTorr -pumpun pakkauksessa on: pumppu sisääntulon laippa (asennettu) tämä ohjekirja CD-ROM:lla Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 145/260...
Seite 146: Asennus
Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin. Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä HUOMIO! järjestelmään. Poista liittimien suoja ainoastaan sen jälkeen, kun turbopumppu on kiinnitetty HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 146/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 147  Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. Turbo-V 2300 TwisTorr tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Turbo-V 2300 TwisTorr on asennettava pystyasentoon (laipan ylös- tai alaspäin). Kiinnittäkää Turbo-V 2300 TwisTorr vakaaseen asentoon liittämällä...
Seite 148 Ohjekäsikirja Asennus VAROITUS! Turbo-V 2300 TwisTorr -pumppua ei voida kiinnittää perustasta. Järjestelmä voidaan kiinnittää ainoastaan ISO 250F laippaa käyttämällä. VAROITUS! Näiden asennusohjeiden noudattamatta jättäminen saattaa mahdollisen roottorivian sattuessa johtaa pumpun irtoamiseen järjestelmästä, mistä voi esinevahinkojen lisäksi seurata vakavia henkilövahinkoja ja jopa kuolemanvaara.
Seite 149: Käyttö
(Typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). Älä käytä pumppua syövyttävien kaasujen tai höyryjen läheisyydessä: ne HUOMIO! saattavat vahingoittaa pumpun sisämateriaaleja. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 149/260...
Seite 150 Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria määriä typpeä, argonia ja kevyitä kaasuja. Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja, pyydä lisätietoja Agilentin teknisestä palvelusta. 150/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 151: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 2300 TwisTorr ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Seite 152: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 152/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 153: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános Információ 155 Tárolás Előkészítés telepítésre 158 Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 166 Az eredeti utasítás fordítása 153/260...
Seite 154: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
– esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 154/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 155: Általános Információ
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konk-rét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 2300 TwisTorr sorozat szivattyúi olyan magas vagy ultramagas vákuumalkalmazáshoz való turbomolekuláris szivattyúk, amelyek képesek sok gáztípust vagy vagy gázszerű összetételt szivattyúzni.
Seite 156 VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 156/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 157: Tárolás
 szállítás dátumától. Ha bármely okból kifolyólag a tárolási idő ezt meghaladja, vissza kell küldeni a FIGYELEM! szivattyút a gyárba. Valamennyi információ elérése érdekében kéretik kapcsolatba lépni, a Agilent helyi képviselőjével. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 157/260...
Seite 158: Előkészítés Telepítésre
Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a Torbo-V 3K-G-t. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos azt zárva és tömítve tartani, amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a rendszer szennyeződését. 158/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 159 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre A Turbo-V 2300 TwisTorr csomag a következőket tartalmazza: szivattyú bemeneti szűrő (felszerelve) a kézikönyv CD-ROM-on Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 159/260...
Seite 160: Telepítés
Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú már FIGYELEM! rögzítve van a rendszerhez. 160/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 161 Information”. A Turbo-V 2300 TwisTorr-t elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). A Turbo-V 2300 TwisTorr kell telepíteni álló helyzetben (a karima felfelé vagy lefelé). Rögzítse a Turbo-V 2300 TwisTorr-t stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 33000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Seite 162 Felhasználói Kézikönyv Telepítés VESZÉLY! A Turbo-V 2300 TwisTorr nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak ISO 250F karimával rögzíthető. VESZÉLY! Ezen installációs utasítások figyelmen kívül hagyása, a rotor meghibásodása esetén, a rendszerből a szivattyú leválását eredményezheti, ami dologi kárt vagy komoly személyi sérülést vagy halált okozhat.
Seite 163: Használat
érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében FIGYELEM! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 163/260...
Seite 164 Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút N , Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Agilent műszaki támogatáshoz. 164/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 165: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 2300 TwisTorr nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Seite 166: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 166/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 167: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 167/260...
Seite 168: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 168/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 169: Ogólne Informacje
Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o wysokiej prędkości (max. 33000 obr./min) napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. Turbo-V 2300 TwisTorr jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i dlatego też jest odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.
Seite 170 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 170/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 171: Magazynowanie
 miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 171/260...
Seite 172: Przygotowanie Do Instalacji
UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Turbo-V 2300 TwisTorr nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała dobrze zamknięta. Jest to w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu.
Seite 173 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji ć W opakowaniu zespołu Turbo-V 2300 TwisTorr znajdują się: pompa inlet screen (zamontowany) instrukcja na CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 173/260...
Seite 174: Instalacja
Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed podłączeniem turbopompy UWAGA! do systemu. Zdjąć obudowę konektorów tylko wtedy, gdy turbopompa została przymocowana UWAGA! do systemu. ć 174/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 175 (patrz schemat w “ Technical Information”). Turbo-V 2300 TwisTorr musi być zainstalowany w pozycji pionowej (z kołnierzem w górę lub w dół). Zamocować Turbo-V 2300 TwisTorr w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 40000 Nm wokół własnej osi.
Seite 176 Podrecznik Instrukcji Instalacja ZAGROZENIE! Turbo-V 2300 TwisTorr nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. System może być zamocowany tylko poprzez własny kołnierz ISO 250F. ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie podanych instrukcji dotyczących instalacji, w przypadku wystąpienia usterki wirnika, może spowodować odłączenie pompy od układu, co z kolei może być...
Seite 177: Użytkowanie
(Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében UWAGA! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 177/260...
Seite 178 Pompa jest zaprojektowana aby posiadała wysoki przepływ Azotu, Argonu i innych lżejszych gazów. W przypadku kiedy zaistnieje potrzeba pompowania cięższych gazów od Argonu, w celu informacji, należy skontaktować się z Serwisem Technicznym firmy Agilent. 178/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 179: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Zespół Turbo-V 2300 TwisTorr nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania., otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 °C.
Seite 180: Przetworstwo Odpadow
, po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 180/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 181: Návod K Použití
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 182 Všeobecné informace 183 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 191 Údržba Likvidace 194 Překlad originálního návodu 181/260...
Seite 182: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 182/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 183: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěvy řady Turbo-V 2300 TwisTorr jsou turbomolekulární vývěvy pro aplikace vysokého a ultra vysokého vakua, schopné čerpat mnohé druhy plynů nebo plynných sloučenin. Nejsou vhodné pro čerpání kapalin nebo pevných částic.
Seite 184 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 184/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 185: Uskladnění
10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 185/260...
Seite 186: Příprava K Instalaci
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 2300 TwisTorr nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému. Tím se zamezí znečištění tohoto zařízení.
Seite 187 Návod k Použití Příprava k instalaci Balení Turbo-V 2300 TwisTorr obsahuje: vývěvu vstupní síto (namontováno) tento návod k použití na CD-ROM Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 187/260...
Seite 188: Instalace
Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů v tělese vývěvy. Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Odejměte zakrytí konektorů až poté, co bude turbovývěva připevněná k systému. POZOR! 188/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 189 Vývěva Turbo-V 2300 TwisTorr se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). Turbo-V 2300 TwisTorr musí být instalován ve svislé poloze (s přírubou směrem nahoru nebo dolů). Vývěvu Turbo-V 2300 TwisTorr upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné...
Seite 190 Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě poškození rotoru způsobit odpojení čerpadla od systému s následnými škodami na majetku nebo ublížením na zdraví osob, či dokonce jejich usmrcením. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information". 190/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 191: Použití
(dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz “Technical Information"). Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by POZOR! mohly poškodit materiály použité uvnitř vývěvy. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 191/260...
Seite 192 Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je určena pro vysoce výkonné odčerpávání N , Ar a lehčího plynu. Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší než Ar, kontaktujte technickou podporu firmy Agilent a žádejte informace. 192/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 193: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Zařízení Turbo-V 2300 TwisTorr nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Seite 194: Likvidace
Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 194/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 195: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 197 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 200 Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 195/260...
Seite 196: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 196/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 197: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Vývevy rady Turbo-V 2300 TwisTorr sú turbomolekulárne vývevy pre vytvorenie vysokého a ultra vysokého vákua a sú schopné čerpať veľa druhov plynov alebo plynných zlúčenín. Nie sú vhodné pre čerpanie kvapalín alebo pevných častíc.
Seite 198 Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 198/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 199: Uchovávanie
 dňa dodania. Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 199/260...
Seite 200: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 2300 TwisTorr je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Seite 201 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Súprava Turbo-V 2300 TwisTorr zahrňuje: vývevu vstupná mriežka tento návod na použitie na CD Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 201/260...
Seite 202: Inštalácia
Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese vývevy. Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Kryty z konektorov odstráňte až po pripevnení turbovývevy k sústave. POZOR! 202/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 203 „Technical Information“. Zariadenie Turbo-V 2300 TwisTorr sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Turbo-V 2300 TwisTorr musí byť inštalovaný vo zvislej polohe (s prírubou smerom nahor alebo nadol). Upevnite Turbo-V 2300 TwisTorr do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala...
Seite 204 Návod na Obsluhu Inštalácia NEBEZPEČÍE! Turbo-V 2300 TwisTorr nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. Systém možno upevniť len pomocou vlastnej ISO príruby 250F. NEBEZPEČÍE! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže v prípade poškodenia rotora spôsobiť odpojenie čerpadla od systému, s následnými škodami na majetku alebo ublížením na zdraví...
Seite 205: Použitie
(dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). Nikdy nepoužívajte vývevu v pre korozívne plyne alebo výpary, ktoré by mohli POZOR! poškodiť materiály, použité vo vnútri vývevy. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 205/260...
Seite 206 Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých plynov. Ak potrebujete čerpať plyn ťažší ako argón, informujte sa u technickej podpory firmy Agilent. 206/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 207: Údržba
Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 207/260...
Seite 208: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 208/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 209: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 210 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 209/260...
Seite 210: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 210/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 211: Splošne Informacije
Črpalke serije Turbo-V 2300 TwisTorr so turbomolekularne črpalke za visoki in ultra visoki vakuum, ki lahko črpajo številne vrste plinov ali plinastih zmesi. Niso primerne za črpanje tekočin in trdnih delcev.
Seite 212 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. OPOMBA 212/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 213: Shranjevanje
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 213/260...
Seite 214: Priprava Za Montažo
POZOR! boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Turbo-V 2300 TwisTorr OPOMBA naprave. Vendarle je priporočljivo, da je naprava zaprta, dokler je ne namestite v sistem. S tem boste onemogočili onesnaženje sistema.
Seite 215 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Turbo-V 2300 TwisTorr paket vsebuje: črpalka zaslon (vgrajen) navodila za uporabo na CD-ROMu Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 215/260...
Seite 216: Montaža
Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke. Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na POZOR! sistem. 216/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 217 PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE NAVOR ISO 250 F M10 vijaki 30 Nm SVARILO! Naprave Turbo-V 2300 TwisTorr ni moč pritrditi s svojo osnovo. Sistem lahko pritrdite samo preko ISO 250F prirobnice. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 217/260...
Seite 218 Če teh namestitvenih navodil ne upoštevate, ob okvari rotorja, črpalka lahko odstopi od sistema s posledičnim poškodovanjem stvari oziroma hudimi poškodbami oseb ali celo smrtjo. Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«. 218/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 219: Uporaba
(Dušik ali Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). Črpalke nikoli ne uporabljajte v prisotnosti razjednih plinov ali hlapov, ki bi lahko POZOR! poškodovali inertne materiale črpalke. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 219/260...
Seite 220 Črpalka je narejena za hitro črpanje N , Ar in lažjih plinov. Če želite črpati pline, ki so težji od Ar, prosimo, da kontaktirate Agilent tehnično podporo za več informacij. 220/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 221: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Turbo-V 2300 TwisTorr ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Seite 222: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 222/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 223: Instructions For Use
Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information Storage Preparation for Installation 228 Installation Maintenance Disposal Original Instructions 223/260...
Seite 224: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 224/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 225: General Information
The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 33000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 2300 TwisTorr is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
Seite 226 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 226/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 227: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 227/260...
Seite 228: Preparation For Installation
Always use gloves or other appropriate protection. Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo-V 2300 TwisTorr. NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed and sealed until it is installed in the system.
Seite 229 Instructions for Use Preparation for Installation The Turbo-V 2300 TwisTorr package includes: pump Purge/Vent Device (integrated) Water cooling hose tail connector (mounted) This instruction manual on CD-Rom Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 229/260...
Seite 230: Installation
Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of the pump body. Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump to the system. CAUTION! Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system. CAUTION! 230/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 231 ISO 250 F M10 bolts 30 Nm WARNING! The Turbo-V 2300 TwisTorr cannot be fixed by means of its base. The system can only be fixed through its ISO 250F flange. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 231/260...
Seite 232 Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. For installation of optional accessories, see "Technical Information". 232/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 233: Use
, He) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the internal CAUTION! materials of the pump. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 233/260...
Seite 234 The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for information. 234/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 235: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 2300 TwisTorr does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Seite 236: Disposal
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 236/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 237: Technical Information
Inlet Screen Installation Water Cooling Connection Pump Purging and Venting Pump used with Corrosive Gases 247 How to Purge the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump 247 How to Vent the Turbo-V 2300 TwisTorr Pump 248 High Vacuum Flange Connection Fore-Vacuum Pump Connection...
Seite 238: Description Of The Turbo-V 2300 Twistorr
Technical Information Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr Description of the Turbo-V 2300 TwisTorr The Turbo-V 2300 TwisTorr pump is available in two versions. They are: Model 9696000 with ISO 250 F high vacuum flange   Model 9696001 with ConFlat 12” external diameter high vacuum...
Seite 239: Pump Description
0.01 µm. The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 239/260...
Seite 240: Technical Specification
< 0.01 µm at inlet flange Lubricant permanent lubrication Cooling requirements Water Coolant water Recommended flow: ≥ 200 l/h Temperature: +15 °C to +30 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) 240/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 241 Weight kg (lbs) ISO 250: 54.2 (119.5) CF 12”: 55.3 (121.9) When the Turbo-V 2300 TwisTorr has been stored at a temperature less than NOTE 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump.
Seite 242 Technical Information Technical Specification 242/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 243: Turbo-V 2300 Twistorr Outline
Technical Information Turbo-V 2300 TwisTorr Outline Turbo-V 2300 TwisTorr Outline The following figure shows the Turbo-V 2300 TwisTorr outlines (dimensions are in mm [inches]). Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 243/260...
Seite 244: Inlet Screen Installation
The following figure shows the ISO 250 F pump flange section with the protection screen fitted on it. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. 244/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 245 The maximum temperature allowed for the ISO 250 inlet flange is 80 °C and for the CF 12” is 120 °C. Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 245/260...
Seite 246: Water Cooling Connection
(9699348) or me-tallic model (9699338). The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 246/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 247: Pump Purging And Venting
Technical Information Pump Purging and Venting Pump Purging and Venting The Turbo-V 2300 TwisTorr is equipped with an integrated purging and venting valve device. Both valves are fed through a single gas port, with 1/8 NPT thread or Swagelok connector.
Seite 248: How To Vent The Turbo-V 2300 Twistorr Pump
Close the process gases flowing into the system. Leaving the Turbo-V 2300 TwisTorr pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the process gases from the system (e.g. to reach the typical basic process pressure).
Seite 249 Technical Information Pump Purging and Venting VACUUM TECHNOLOGIES Purge gas line Pressure regulator Purge and vent port Forevacuum pump Turbopump Water line Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 249/260...
Seite 250: High Vacuum Flange Connection
Technical Information High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 2300 TwisTorr pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures (12 x M10 steel bolts for ISO F flange).
Seite 251: Fore-Vacuum Pump Connection
Fore-Vacuum Pump Connection Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo-V 2300 TwisTorr pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Seite 252: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is greater, than the case should be carefully reviewed by Agilent’s special-ist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 252/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 253: Orderable Parts
Water cooling kit for 3/8 in. ID flexible tube (metallic model) 9699338 Triscroll 600 dry scroll primary pump, single phase motor PTS06001UNIV Triscroll 600 dry scroll primary pump, three phase motor PTS06003UNIV Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01 253/260...
Seite 254 Technical Information Orderable Parts 254/260 Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps User Manual / 87-901-017-01...
Seite 260 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105-116 Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421 - USA...

Diese Anleitung auch für:

9696000 969600

Agilent Technologies Turbo-V 2300 TwisTorr Bedienungshandbuch

Verfügbare Sprachen

Quicklinks

Kapitel

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies Turbo-V 2300 TwisTorr

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies Turbo-V 2300 TwisTorr