Použití - Agilent Technologies Turbo-V 1K-G Bedienungshandbuch

13 Návod k Použití
Použití
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby
nesmí překročit 80 °C.
NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře nebo nemá-li utaženou zavírací přírubu. Během
zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte.
Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly
POZOR!
by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než
2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto
vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
Information").
NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních
plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
192/294
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical
2
Turbo-V 1K-G Retrofit User Manual / 87-900-996-01 (B)