Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Agilent Technologies Varian TV 1001SEM Bedienungshandbuch
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Agilent Technologies Anleitungen
  4. Pumpen
  5. Varian TV 1001SEM
  6. Bedienungshandbuch

Agilent Technologies Varian TV 1001SEM Bedienungshandbuch

Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Verfügbare Sprachen
  • DE

Verfügbare Sprachen

  • DEUTSCH, seite 11

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
TV 1001
Pump models:
769-8931
869-8932
869-8946
Controller model:
969-8978
87-900-973-01(E)
OCTOBER 2008
SEM
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies Varian TV 1001SEM

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies Varian TV 1001SEM

  • Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies TV 1001 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Pump models: MANUAL DE INSTRUCCIONES 769-8931 MANUAL DE INSTRUÇÕES 869-8932...
  • Seite 2 TV 1001 SEM...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................5 MODE D’EMPLOI ...............................9 INSTRUCCIONES DE USO ..........................13 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................21 BRUGSANVISNING ............................15 BRUKSANVISNING............................29 BRUKERVEILEDNING .............................33 KÄYTTÖOHJEET .............................37 PDHGIES CRHSEWS ............................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................45 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM..................69...
  • Seite 6 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION..................83 Single Damper ........................83 Double Damper........................83 PURGE VALVE INSTALLATION ....................84 SERIAL CABLE INSTALLATION....................84 TV 1001 SEM CONTROLLER INSTALLATION ................84 Bottom mounting........................84 Side mounting ........................85 Connection A – HIGH VACUUM FLANGE ................85 Connection B – FORE-VACUUM PUMP................85 Connection configurations ....................86 Connection C –...

  • Seite 7: Indicazioni Di Sicurezza

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

  • Seite 8: Informazioni Generali

    ISTRUZIONI PER L'USO disperdere l'imballo nell'ambiente. materiale è INFORMAZIONI GENERALI completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti- per la tutela dell'ambiente. lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i- struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura.

  • Seite 9: Fissaggio Della Pompa

    ISTRUZIONI PER L'USO FISSAGGIO DELLA POMPA ATTENZIONE! Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopom- PERICOLO! pa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia esente da polvere o particelle.

  • Seite 10: Smaltimento

    ISTRUZIONI PER L'USO MANUTENZIONE SMALTIMENTO La TV 1001 SEM non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette  PERICOLO! Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità...

  • Seite 11: Sicherheitshinweise

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
  • Seite 12 GEBRAUCHSANLEITUNG 1001 SEM ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem ALLGEMEINE INFORMATIONEN Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu 85/399/EWG für Umweltschutz.

  • Seite 13: Befestigung Der Pumpe

    GEBRAUCHSANLEITUNG BEFESTIGUNG DER PUMPE   GEFAHR! GEFAHR! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.

  • Seite 14: Wartung

    GEBRAUCHSANLEITUNG HINWEIS  Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den GEFAHR! Umtauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestell- die örtliche Verkaufsstelle zu senden.

  • Seite 15: Normes De Sécurité

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

  • Seite 16: Indications Generales

    MODE D’EMPLOI Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout INDICATIONS GENERALES particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 1001 SEM et à Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. professionnelle.

  • Seite 17: Fixation De La Pompe

    MODE D’EMPLOI FIXATION DE LA POMPE ATTENTION!  DANGER! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - détériorer. système pourrait être soumise à un couple très important. Si la Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la gaz inerte exempt de poussière ou de particules.
  • Seite 18 MODE D’EMPLOI ENTRETIEN MISE AU REBUT Le TV 1001 SEM n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc- ...

  • Seite 19: Indicaciones De Seguridad

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

  • Seite 20: Información General

    INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no INFORMACIÓN GENERAL se caiga el TV 1001 SEM y de no someterlo a golpes o Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer vibraciones. atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier No abandonar el embalaje en el medio ambiente.

  • Seite 21: Fijación De La Bomba

    INSTRUCCIONES DE USO FIJACIÓN DE LA BOMBA ¡ATENCIÓN!  Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la ¡PELIGRO! turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el dañarse. sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin estas circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par polvo o partículas.
  • Seite 22 INSTRUCCIONES DE USO MANTENIMIENTO ELIMINACIÓN El TV 1001 SEM no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en obser- ...

  • Seite 23: Indicações De Segurança

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

  • Seite 24: Instalação

    INSTRUÇÕES PARA O USO tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para INFORMAÇÕES GERAIS não submetê-lo a choques ou vibrações. Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas completamente reciclável e em conformidade com a norma as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de...
  • Seite 25 INSTRUÇÕES PARA O USO FIXAÇÃO DA BOMBA ATENÇÃO!  Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da PERIGO! turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema sofrer danos. corre o risco de sofrer um torque muito grande.

  • Seite 26: Manutenção

    INSTRUÇÕES PARA O USO MANUTENÇÃO ELIMINAÇÃO O TV 1001 SEM não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directi- ...

  • Seite 27: Veiligheidsinstructies

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
  • Seite 28 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE UITPAKKEN Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De De TV 1001 SEM wordt in een speciale beschermende gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen het apparaat in gebruik te nemen.
  • Seite 29 GEBRUIKSAANWIJZINGEN In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op  GEVAAR! passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De TV 1001 SEM moet op Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten information").

  • Seite 30: Afvalverwerking

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Noodstop AFVALVERWERKING Om de TV 1001 SEM in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. ONDERHOUD Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeen- De TV 1001 SEM is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden stemming met de EG-richtlijn "WEEE".

  • Seite 31: Sikkerhedsanvisninger

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
  • Seite 32 BRUGSANVISNING Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og GENEREL INFORMATION opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning anden yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke VIGTIGT! ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må...
  • Seite 33 BRUGSANVISNING FASTGØRELSE AF PUMPE VIGTIGT!  Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i ADVARSEL! forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og beskadigelse af lejerne. systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke forbindelsen ikke...

  • Seite 34: Vedligeholdelse

    BRUGSANVISNING VEDLIGEHOLDELSE BORTSKAFFELSE TV 1001 SEM behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det  ADVARSEL! såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, Inden der foretages noget som helst indgreb på...

  • Seite 35: Säkerhetsanvisningar

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
  • Seite 36 BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION VIKTIGT! Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd.
  • Seite 37 BRUKSANVISNING FASTSÄTTNING AV PUMP VIKTIGT!  VARNING! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och skadade. systemet utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från inte tål ovannämnda vridmoment kan pumpen lossna från damn eller andra partiklar.

  • Seite 38: Underhåll

    BRUKSANVISNING UNDERHÅLL BORTSKAFFNING TV 1001 SEM är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-  VARNING! direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Innan något arbete utförs på...

  • Seite 39: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Seite 40 BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON FORSIKTIG! Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene.
  • Seite 41 BRUKERVEILEDNING FESTING AV PUMPEN FORSIKTIG!  ADVARSEL! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av systemet utsettes for et betydelig dreiemoment.
  • Seite 42 BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 1001 SEM er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-  ADVARSEL! direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske Før noe arbeid gjøres på...

  • Seite 43: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37/87 87-900-973-01(E)
  • Seite 44 KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA HUOMIO! Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden muuta sopivaa suojausta.
  • Seite 45 KÄYTTÖOHJEET PUMPUN KIINNITYS HUOMIO!  VAARA! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen Ellei liitäntä...
  • Seite 46 KÄYTTÖOHJEET HUOLTO HÄVITTÄMINEN TV 1001 SEM ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-  VAARA! direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) Ennen minkään tyyppistä...

  • Seite 47: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Seite 48 ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikÒ anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj. qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parÒntoj egceir∂diou odhgièn kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ...
  • Seite 49 ODHGIES CRHSHS ΣΤΕΡΕΩΣΗ ΤΗΣ ΑΝΤΛΙΑΣ PROSOCH  Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ apovtomeÇ KINDUNOS! metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva. Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta. Αν παρουσιαστεί ζημιά στον ρότορα, η σύνδεση ανάμεσα στην Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂te a◊ra ˇ αντλία...
  • Seite 50 ODHGIES CRHSHS SUNTHRHSH To TV 1001 SEM de crei£zetai kamm∂a suntˇrhsh. Opoiadˇpote Χώνευση ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apÒ eidikeum◊no proswpikÒ. Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες.  Το παρακάτω σύμβολο εφαρμόζεται σύμφωνα με την KINDUNOS! ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονομάζεται "WEEE". Prin epiceirˇsete opoiadˇpote...

  • Seite 51: Biztonsági Útmutató

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Seite 52 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt.
  • Seite 53 HASZNÁLATI UTASÍTÁS A SZIVATTYÚ RÖGZÍTÉSE FIGYELEM  VIGYÁZAT! Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyúnak a rendszerhez való és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a csatlakozása jelentős nyomatéknak lehet kitéve.
  • Seite 54 HASZNÁLATI UTASÍTÁS KARBANTARTÁS MEGSEMMISÍTÉS A TV 1001 SEM nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. elvégeznie. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irán- yelvével összhangban kerül alkalmazásra.  VIGYÁZAT! Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országai- ban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható,...

  • Seite 55: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Seite 56 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną OGÓLNE INFORMACJE uwagę aby nie spowodować upadku pompy TV 1001SEM ani Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. nie poddawać jej uderzeniom lub wibracjom. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje instrukcję...
  • Seite 57 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA MOCOWANIE POMPY UWAGA!  NIEBEZPIECZEŃSTWO! Unikać uderzeń, wahań gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska. W przypadku uszkodzenia na wirniku, połączenie między Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub pompą systemem może być poddane odpowiednio obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek.

  • Seite 58: Konserwacja

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA KONSERWACJA PRZETWORSTWO ODPADOW Pompa TV 1001 SEM nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo upoważniony personel. “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia  “WEEE” Unii Europejskiej. NIEBEZPIECZEŃSTWO! Symbol (prawomocny tylko w krajach Unii Europe-...

  • Seite 59: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...

  • Seite 60: Všeobecné Informace

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE VAROVÁNÍ Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli ruce při manipulaci s komponenty, které...
  • Seite 61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ MONTÁŽ VÝVĚVY VAROVÁNÍ  VÝSTRAHA! Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska. Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který mohlo být vystaveno velkému točivému momentu.
  • Seite 62 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ ÚDRŽBA LIKVIDACE Vývěva TV 1001 SEM nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným  VÝSTRAHA! "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který...

  • Seite 63: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
  • Seite 64 NÁVOD K POUŽITIU Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. 85/399. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť...
  • Seite 65 NÁVOD K POUŽITIU UPEVNENIE VÝVEVY UPOZORNENIE  Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená VAROVANIE! nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude poškodiť ložiská. vystavené silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu, dostatočne pevné, aby točivému momentu odolalo, môže sa zbaveného prachu a častíc.
  • Seite 66 NÁVOD K POUŽITIU ÚDRŽBA LIKVIDÁCIA Zariadenie 1001 nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE".  VAROVANIE! Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, Skôr než...

  • Seite 67: Varnostna Navodila

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
  • Seite 68 NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE POZOR Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
  • Seite 69 NAVODILA ZA UPORABO PRITRJEVANJE ČRPALKE POZOR  OPOZORILO! Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Če pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez črpalke s sistemom pride do velikega navora.

  • Seite 70: Odlaganje Opadkov

    NAVODILA ZA UPORABO VZDRŽEVANJE ODLAGANJE OPADKOV Naprave TV 1001 SEM ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod  imenom "WEEE". OPOZORILO! Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,...

  • Seite 71: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.

  • Seite 72: General Information

    INSTRUCTIONS FOR USE Do not dispose of the packing materials in an unauthorized GENERAL INFORMATION manner. The material is 100% recyclable and complies with This equipment is destined for use by professionals. The user EEC Directive 85/399. should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment.

  • Seite 73: Pump Fixing

    INSTRUCTIONS FOR USE PUMP FIXING CAUTION  WARNING! Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the Use air or inert gas free from dust or particles for venting the system could be subjected to a significant torque.
  • Seite 74 INSTRUCTIONS FOR USE MAINTENANCE DISPOSAL The TV 1001 SEM does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized Meaning of the "WEEE" logo found in labels personnel. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.

  • Seite 75: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM Pump Description The TV 1001 SEM pumping system consists of a The pump consists of a high frequency motor driv- pump with a dedicated controller fixed to it. The ing a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 system is available in two models that differ in the Macrotorr stages.

  • Seite 76: Controller Description

    TECHNICAL INFORMATION Controller Description Lubricant permanent lubrication The dedicated controller is a solid-state frequency Cooling Water converter which is driven by a single chip micro- requirements computer and is composed of two PCBs which in- Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) clude power supply and 3-phase output, analog Temperature: +10 °C to +20 °C and input/output section, microprocessor and digi-...
  • Seite 77 TECHNICAL INFORMATION Typical Vibration Spectrum 71/87 87-900-973-01(E)

  • Seite 78: Tv 1001 Sem Outline

    TECHNICAL INFORMATION TV 1001 SEM OUTLINE The following figure shows the TV 1001 SEM outlines (dimensions are in mm [inches]). bo V 1001 Macro Torr Layout with CFF Flange Turbo 1001 Macro Torr Turbo - 1001 Macro Torr Layout with ISO Flange 72/87 87-900-973-01(E)
  • Seite 79 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 73/87 87-900-973-01(E)

  • Seite 80: Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J1 - IN-OUT The following figure shows the TV 1001 SEM in- terconnections. Turbo V 1001 Macro Torr This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 1001 SEM. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use.
  • Seite 81 TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the For example: − pump speed. The PWM signal characteristics must reference quantity: frequency − be the following: threshold: 500 Hz − frequency: 100 Hz +/-20% hysteresis: 1% − ampitude: 24 V max activation type: "high level"...

  • Seite 82: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Controller

    TECHNICAL INFORMATION How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TV 1001 SEM to an exter- nal system. Two cases are considered: 1. the customer supplies the 24 Vdc 2.

  • Seite 83: How To Connect The Outputs Of The Controller

    TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2.
  • Seite 84 TECHNICAL INFORMATION − <DATA> = an alphanumeric ASCII string with Examples: the data to be written into the window. In case Command: START of a reading command this field is not present. Source: PC The field length is variable according to the Destination: Controller data type as per the following table: FIELD...

  • Seite 85: Window Meanings

    TECHNICAL INFORMATION Window Meanings Read/ Data Description Admitted Write Type Values Read/ Data Description Admitted Write Type Values Analog out- 0 = frequency put type: 1 = power Start/Stop Start = 1 output volt- (in remote Stop = 0 (default = 0) age signal mode the proportional...

  • Seite 86: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION Read/ Data Description Admitted Write Type Values Cycle time 0 to 999999 in minutes (zeroed by the reset command) Cycle num- 0 to 9999 ber (zeroed by the reset command) Pump life in 0 to 999999 The inlet screen mod.

  • Seite 87: Water Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di- CAUTION mensions with the protection screen fitted on pump with ISO 200F flange and pump with ISO The items of the plastic model kit must be assem- 200K flange. bled as shown in the following figure The assembled kit must be screwed into the suit- able holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm.

  • Seite 88: Vent Accessories

    TECHNICAL INFORMATION The water temperature must be between +10°C Then screw the vent valve into the pump and and +20°C, with an inlet pressure between 3 and 5 tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a bar. This allows a flow of about 200 l/h. torque of 2.5 Nm.

  • Seite 89: Vent Device Mod. 969-9831

    TECHNICAL INFORMATION Vent Device mod. 969-9831 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Single Damper Two vibration isolators for ISO 200K and ISO 200F inlet flange version pumps are available as acces- sories. The two model part numbers are the following: − model 969-9346 for ISO 200K flange; −...

  • Seite 90: Purge Valve Installation

    TECHNICAL INFORMATION PURGE VALVE INSTALLATION TV 1001 SEM CONTROLLER INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump The controller can be mounted in two position: − bearings against particulate and corrosive gases bottom mounting (as per the complete system) −...

  • Seite 91: Side Mounting

    TECHNICAL INFORMATION Side mounting Connection A – HIGH VACUUM FLANGE For ISO-K flange connections, fix the two flanges NOTE with the clamps as shown in the figure. The L-shaped bracket (P/N 969-9298) is available as an option. See the following figure. 1.

  • Seite 92: Connection Configurations

    TECHNICAL INFORMATION Connection configurations Connection C – ELECTRICAL PUMP USED WITH CORROSIVE GASES To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.

  • Seite 93: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    TECHNICAL INFORMATION 5. When the Turbo-V pump and the backing In general, therefore, an increase in pump current pump are stopped and the system is at at- can be expected. mospheric pressure, for a better bearing pro- If this increase is lower than 50% of the current tection it is advisable to leave the purge gas value drawn by the motor in high vacuum opera- flowing into the Turbo-V pump, with the cham-...
  • Seite 94 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
  • Seite 95 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Seite 96 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)

Diese Anleitung auch für:

Varian 769-8931Varian 869-8932Varian 869-8946Varian 969-8978

Inhaltsverzeichnis